Травление поверхности металлов в плазме аргона
Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном разряде аргона.Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, от вкладываемой в разряд мощности, от потенциала на подложке. Досліджено процес обробки поверхні...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2001 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2001
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78356 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 114-115. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-78356 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Капустин, В.Л. Широков, Б.М. 2015-03-13T21:41:59Z 2015-03-13T21:41:59Z 2001 Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 114-115. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78356 621.793.14 Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном разряде аргона.Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, от вкладываемой в разряд мощности, от потенциала на подложке. Досліджено процес обробки поверхні металів в несамостійнім високочастотнім індукційнім розряді аргону. Визначена залежність швидкості травлення Mo, W, Ta, сталі Х18Н10Т від тиску в камері, вкладеної у розряд потужності потенціалу на підкладці. The treatment process of a metals surface in the dependent high-frequency induction discharge of argon is investigated. The dependence of an etching velosity of Mo, W, Ta and steel Õ18Í10Ò from a chamber pressure in the induction discharge power and a potential on a substrate is determined. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Травление поверхности металлов в плазме аргона Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Травление поверхности металлов в плазме аргона |
| spellingShingle |
Травление поверхности металлов в плазме аргона Капустин, В.Л. Широков, Б.М. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title_short |
Травление поверхности металлов в плазме аргона |
| title_full |
Травление поверхности металлов в плазме аргона |
| title_fullStr |
Травление поверхности металлов в плазме аргона |
| title_full_unstemmed |
Травление поверхности металлов в плазме аргона |
| title_sort |
травление поверхности металлов в плазме аргона |
| author |
Капустин, В.Л. Широков, Б.М. |
| author_facet |
Капустин, В.Л. Широков, Б.М. |
| topic |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| publishDate |
2001 |
| language |
Russian |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| description |
Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном разряде аргона.Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, от вкладываемой в разряд мощности, от потенциала на подложке.
Досліджено процес обробки поверхні металів в несамостійнім високочастотнім індукційнім розряді аргону. Визначена залежність швидкості травлення Mo, W, Ta, сталі Х18Н10Т від тиску в камері, вкладеної у розряд потужності потенціалу на підкладці.
The treatment process of a metals surface in the dependent high-frequency induction discharge of argon is investigated. The dependence of an etching velosity of Mo, W, Ta and steel Õ18Í10Ò from a chamber pressure in the induction discharge power and a potential on a substrate is determined.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78356 |
| citation_txt |
Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 114-115. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT kapustinvl travleniepoverhnostimetallovvplazmeargona AT širokovbm travleniepoverhnostimetallovvplazmeargona |
| first_indexed |
2025-12-07T13:34:52Z |
| last_indexed |
2025-12-07T13:34:52Z |
| _version_ |
1850856694391767040 |