Травление поверхности металлов в плазме аргона - Капустин, В.Л.; Широков, Б.М. (Вопросы атомной науки и техники, 2001)
Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном разряде аргона.Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, от вкладываемой в разряд мощности, от потенциала на подложке. Досліджено процес обробки поверхні металів в несамостійнім високочастотнім індукційнім розряді аргону. Визначена залежність швидкості травлення Mo, W, Ta, сталі Х18Н10Т від тиску в камері, вкладеної у розряд потужності потенціалу на підкладці. The treatment process of a metals surface in the dependent high-frequency induction discharge of argon is investigated. The dependence of an etching velosity of Mo, W, Ta and steel Õ18Í10Ò from a chamber pressure in the induction discharge power and a potential on a substrate is determined.