Buchumschlag

Травление поверхности металлов в плазме аргона

Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном разряде аргона.Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, от вкладываемой в разряд мощности, от потенциала на подложке. Досліджено процес обробки поверхні...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2001
ISSN:	1562-6016
Hauptverfasser:	Капустин, В.Л., Широков, Б.М.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2001
Schlagworte:	Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78356
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 114-115. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Травление поверхности металлов в плазме аргона
von: Капустин, В.Л., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Модификация поверхности урана ионами титана, никеля, молибдена
von: Дикий, Н.П., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Влияние добавки аргона в водородометановую смесь на синтез алмазоподобного покрытия в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем
von: Пашнев, В.К., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Осаждение из газовой фазы оксидных и металлооксидных покрытий на топливные частицы
von: Патокин, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Излучательная способность металлокерамических покрытий
von: Патокин, А.П., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Оценка степени диссоциации молекулярного водорода в импульсно-периодическом высокочастотном разряде низкого давления
von: Крышталь, П.Г., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Влияние аргона на структуру и свойства Ti-Si-N-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении в газовой смеси «азот + аргон»
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Кинетика пиролиза летучих соединений металлов при нанесении покрытий в вакууме
von: Поляков, Ю.И., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Исследование зависимости предела прочности границы соединения в твердой фазе разнородных металлов от их пластичности
von: Борц, Б.В.
Veröffentlicht: (2010)

Модифицирование стальной поверхности при нагреве плазменным импульсом
von: Чабак, Ю.Г., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора
von: Журавлев, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Микроиндентирование поверхности жесткого диска с углеродным алмазоподобным покрытием
von: Камышанченко, Н.В., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Формирование аморфизированного наплава при воздействии импульсного трубчатого пучка электронов на поверхность металлов
von: Базалеев, Н.И., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Ускоренное формирование силицидных слоев на молибдене
von: Литовченко, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2001)

О повышении стабильности высокотемпературных термоэлектрических преобразователей
von: Журавлев, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации
von: Гончаров, И.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»
von: Торяник, И.Н., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Радиационно-пучковое воздействие – метод создания градиентного структурно-фазового состояния в материалах атомной техники
von: Калин, Б.А., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Получение металлического кальция высокой чистоты
von: Таланов, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Пути повышения радиационной стойкости неорганических сцинтилляционных кристаллов для физики высоких энергий
von: Глобус, М.Е., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Особенности сцинтилляционного процесса в органических сцинтилляторах
von: Галунов, Н.З., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Исследование поцессов сварки многослойных структур из кристаллитов различного химическоо состава, получаемых горячей прокаткой в вакууме, для атомной энергетики
von: Борц, Б.В., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Особенности пространственного распределения пылевых масс и адсорбированных химических элементов в фильтрах АЭС
von: Леденёв, О.П., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Влияние лазерной обработки, карбонитрации и их сочетания с вакуумно-плазменным покрытием tin на некоторые свойства стали Р6М5
von: Мацевитый, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Комплекс радиационной обработки на базе ускорителя электронов «Электроника У-003»
von: Ташметов, М.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Получение методом горячей прокатки в вакууме слоистых и композиционных материалов типа медь-сталь и исследование их свойств
von: Ильченко, Н.И., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Разделение вещества на элементы, основанное на физических принципах пучково-плазменного и отражательного разрядов
von: Скибенко, Е.И., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Конструктивные и технологические особенности концептуального проекта ионно-атомного сепарирующего устройства на основе пучково-плазменного разряда
von: Скибенко, Е.И., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Мощностная закономерность образования локализованных и делокализованных зарядов в γ-облученном оксиде бериллия
von: Алиев, М.М., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Метод визуальной ИК-радиометрии электронных потоков
von: Базалеев, Н.И., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Стимулирование неоднородностей в сильноточных пучках электронов и их влияние на процессы массо- переноса в облучаемых мишенях
von: Арсенюк, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Применение усовершенствованного избирательного гамма-радиометра РК-АГ-О2М на основе сцинтилляционного монокристалла силиката гадолиния для измерения активности америция-241 в чернобыльских пробах различной плотности
von: Рыжиков, В.Д., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Исследование поведения профилей залегания имплантированных ионов Ti⁺ в наноструктурной пленке Nb в зависимости от угла падения ионов при низкотемпературном облучении. Компьютерное моделирование по программе SPURT.CRIS
von: Павленко, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Экстремальные импульсные воздействия энергии на малоактивируемые аустенитные стали
von: Пименов, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Плазменная сепарация ОЯТ - один из возможных путей решения проблемы замкнутого ядерного топливного цикла
von: Юферов, В.Б., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Изменение механических свойств и структуры объемных металлических стекол на основе циркония под действием высокочастотной обработки
von: Бакай, С.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Высокочастотная технология защиты зерна от амбарных вредителей
von: Кутовой, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах
von: Марченко, И.Г., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Пучковые и ионно-плазменные технологи
von: Ворогушин, М.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Радионуклиды европия как источники излучения для гамма-радиационных технологий: моделирование распределений поглощенной дозы в гомогенных средах
von: Дюльдя, С. В., et al.
Veröffentlicht: (2004)