Травление поверхности металлов в плазме аргона

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2001
• Main Authors: Капустин, В.Л., Широков, Б.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2001
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78356
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Травление поверхности металлов в плазме аргона / В.Л. Капустин, Б.М. Широков // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 114-115. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Исследован процесс обработки поверхности металлов в несамостоятельном высокочастотном индукционном разряде аргона.Определена зависимость скорости травления Mo, W, Ta, стали Х18Н10Т от давления в камере, от вкладываемой в разряд мощности, от потенциала на подложке. Досліджено процес обробки поверхні...