Карбонитриды титана, полученные вакуумно-дуговым осаждением
Приведены результаты изучения состава, текстуры, макронапряжений, микротвердости и ее стабильности со временем длительной выдержки для покрытий на основе титана, полученных методом вакуумно-дугового осаждения, в зависимости от давления и соотношения компонентов активного газа (C2H2:N2). Найденные за...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2001 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2001
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78357 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Карбонитриды титана, полученные вакуумно-дуговым осаждением / В.В. Кунченко, А.А. Андреев // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 116-120. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859947344800251904 |
|---|---|
| author | Кунченко, В.В. Андреев, А.А. |
| author_facet | Кунченко, В.В. Андреев, А.А. |
| citation_txt | Карбонитриды титана, полученные вакуумно-дуговым осаждением / В.В. Кунченко, А.А. Андреев // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 116-120. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Приведены результаты изучения состава, текстуры, макронапряжений, микротвердости и ее стабильности со временем длительной выдержки для покрытий на основе титана, полученных методом вакуумно-дугового осаждения, в зависимости от давления и соотношения компонентов активного газа (C2H2:N2). Найденные закономерности объясняются с позиций конфигурационной модели вещества.
Наведено результати вивчення складу, текстури, макронапружень, мікротвердості та її стабільності за час тривалої витримки для покриттів на основі титану, одержаних методом вакуумно-дугового осадження, в залежності від тиску та співвідношення компонентів активного газу (С2Н2:N2). Знайдені закономірності пояснюються з позицій конфігураційної моделі речовини.
Results are reported from studies into the composition texture, macrostresses, microhardness (and its behavior with prolonged time of exposure to normal conditions) of titanium-base coatings produced by vacuum-arc deposition. The mentioned characteristics were studied as functions of pressure and active gas components ratoi (C2H2:N2). The established regularities are explained in terms of the configuration model of substance.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:15:00Z |
| format | Article |
| fulltext |
УДК 533.9
КАРБОНИТРИДЫ ТИТАНА, ПОЛУЧЕННЫЕ
ВАКУУМНО-ДУГОВЫМ ОСАЖДЕНИЕМ
В.В. Кунченко, А.А. Андреев
Национальный научный центр «Харьковский физико-технический институт»,
г.Харьков, Украина,
E-mail: belous@kipt.kharkov.ua, тел./факс: (0572) 350-755
Наведено результати вивчення складу, текстури, макронапружень, мікротвердості та її стабільності за
час тривалої витримки для покриттів на основі титану, одержаних методом вакуумно-дугового осадження, в
залежності від тиску та співвідношення компонентів активного газу (С2Н2:N2). Знайдені закономірності
пояснюються з позицій конфігураційної моделі речовини.
Приведены результаты изучения состава, текстуры, макронапряжений, микротвердости и ее стабильно-
сти со временем длительной выдержки для покрытий на основе титана, полученных методом вакуумно-ду-
гового осаждения, в зависимости от давления и соотношения компонентов активного газа (C2H2:N2).
Найденные закономерности объясняются с позиций конфигурационной модели вещества.
Results are reported from studies into the composition texture, macrostresses, microhardness (and its behavior
with prolonged time of exposure to normal conditions) of titanium-base coatings produced by vacuum-arc deposi-
tion. The mentioned characteristics were studied as functions of pressure and active gas components ratoi (C2H2:N2).
The established regularities are explained in terms of the configuration model of substance.
1. ВВЕДЕНИЕ
В последние годы возрос интерес к созданию и
изучению свойств многокомпонентных покрытий на
основе нитридов, карбидов, карбонитридов переход-
ных металлов [1,2]. Такие композиты обладают зна-
чительными преимуществами по сравнению с уже
ставшими традиционными материалами, получае-
мыми физическими (PVD) методами осаждения [3].
Условия синтеза таких соединений в процессе кон-
денсации, как правило, далеки от равновесных. Для
получаемых покрытий это обусловливает неравно-
весность состояния, определяющего деградацию их
свойств во времени и/или в процессе эксплуатации
при повышенных температурах [4,5].
Настоящая работа посвящена изучению влия-
ния состава и давления смеси активных газов N2 и
C2H2 на состав, структурные, текстурные характери-
стики, микротвердость и ее изменение со временем
выдержки в нормальных условиях для покрытий,
получаемых методом вакуумно-дугового осаждения.
2. ЭКСПЕРИМЕНТЫ, МЕТОДЫ
ИССЛЕДОВАНИЯ
Покрытия получены методом вакумно-дугового
осаждения с использованием установки типа "Бу-
лат". Титан (ВТ-1-0) испарялся в атмосфере чистых
N2 и C2H2 и смеси их в отношениях 10, 20, 50 объем-
ных % C2H2 при различных давлениях в интервале
~10-3...1Па. Температура подложки (образцы
14х19х2 мм из нержавеющей стали Х18Н10Т) со-
ставляла 500 оС, скорость конденсации ~
10 мкм/час, толщина покрытий ~ 15 мкм, ток дуги −
Iд= 90 А, ускоряющий потенциал − Uп = −150 В. Ми-
кротвердость измерялась при помощи микротвердо-
мера ПМТ-3 с нагрузкой на индентор 100 г; рентген-
дифрактометрические исследования проводились на
дифрактометре ДРОН-3,0 с использованием λCuKα-
излучения. Текстурные характеристики (плотность
полюсов) рассчитывались по методу обратных по-
люсных фигур; количество азота (СN) и углерода
(Сс) в конденсате определялось ядерно-физическими
методами [6,7]. Оценка величины макронапряжений
(σϕ), действующих в плоскости конденсатов, прове-
дена с использованием sin2ψ метода и межплос-
костного расстояния d(333) ГЦК-решетки изучае-
мых соединений, а также значений модуля Юнга (Е)
для TiC и TiN, соответственно равном 47⋅104 и 43⋅
104 МПа [8]; влияние термических напряжений (Gт)
определено по формуле:
G
Е
ТТ к п=
−
− ⋅
1 µ
α α( ) ∆ ,
где αк − коэффициент термического расширения
(к.т.р.) конденсата; αп − к.т.р. подложки, при этом α
TiC= 7⋅10-6 град-1, αTiN= 5⋅10-6град-1, αп=13⋅10-6 град-1, µ
=0,25 и ∆Т=500 оС.
3. РЕЗУЛЬТАТЫ, ОБСУЖДЕНИЕ
В результате осаждения Ti при давлении в каме-
ре ~ 1⋅10-3 Па образуется покрытие, состоящее из
мелкокристаллического Ti с размером областей ко-
герентного рассеяния (о.к.р.) ~ 40 нм и параметрами
решетки ао= 0,2950 нм, со= 0,4683 нм. Увеличение
давления реакционного газа приводит к уширению
дифракционных максимумов, что свидетельствует о
дальнейшем измельчении субструктуры и о повы-
шении уровня микроискажений кристаллической ре-
116 ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2001. №2.
Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение (79), с. 116-120.
шетки Ti вследствие образования второй фазы −
нитридов, карбидов, карбонитридов. Рентгеногра-
фически эти фазы обнаруживаются на образцах, по-
лученных при давлении соответствующего газа
(смеси) выше ~ 4⋅10-3 Па.
Значения параметров ГЦК-решетки покрытий на
основе нитридов и карбидов, осажденных соответ-
ственно в атмосфере N2 и C2H2, оказываются выше
приведенных в литературе для равновесных соеди-
нений. Причиной таких различий являются термиче-
ские и структурные напряжения в плоскости кон-
денсатов. Их величины составляют для нитрида ти-
тана σϕ=− 2,5⋅103 МПа, при этом σТ = − 2⋅103 Мпа;
для TiC − σϕ= − 3,0⋅103 МПа и σТ = − 1,8⋅103 МПа.
Полученные результаты свидетельствуют о суще-
ственном вкладе термической составляющей в сум-
марные значения сжимающих напряжений. Уровень
микроискажений решетки TiNx составляет (2...3)⋅
10-3 и размер о.к.р. ~ 30...40 мкм. Учет влияния де-
формации кристаллической решетки под воздей-
ствием макронапряжений позволяет получить зави-
симость параметров кристаллической решетки (ао*)
от состава покрытия (рис.1).
Рис.1. Зависимости от отношения атомных долей
углерода (х) и азота (y) в конденсатах микро-
твердости (Н 0,1), параметра кристаллической ре-
шетки (ао
*), сжимающих напряжений (σϕ). ао − та-
бличные значения
Эта зависимость носит линейный характер, сви-
детельствуя о взаимной неограниченной раствори-
мости компонентов системы. Однако полученные
значения параметров оказываются выше (рис.2) при-
водимых в литературе [9].
Это может быть обусловлено влиянием не-
контролируемых примесей в составе конденсатов.
Так, например, изменение содержания азота в ТiС0,8
от 0,02 до 0,05 ( в атомных долях) приводит к соот-
ветствующему изменению параметра от 0,4340 до
0,4325 нм, что совпадает с усредненными значения-
ми по данным многих авторов [10] (см. рис.2,
сплошная линия).
Рис.2. Зависимость параметра решетки (ао) карби-
дов титана от изменения отношения содержания
углерода к титану. Сплошная кривая по данным
[10]
Повышение давления ацетилена в процессе кон-
денсации приводит практически к линейному росту
значений микротвердости получаемых конденсатов
(рис.3, кривая 1), что обусловлено образованием мо-
нокарбидов TiCx c возрастающим соответственно
давлению С2Н2 содержанием углерода.
Рис.3. Зависимость микротвердости покрытий от
давления активного газа различного состава
Карбиды металлов IV − VI групп с позиций кон-
фигурационной модели вещества [11, 12] характе-
ризуются самым высоким статистическим весом sp3
− конфигураций, образуемых атомами углерода и
максимальной их стабильностью. В результате взаи-
модействия Ме-С в соединении часть валентных d−
электронов металла возбуждается в sp−состояния,
образуя ковалентные связи с конфигурациями ато-
мов углерода. Донорно-акцeпторные взаимодей-
ствия Ме-С, обусловливающие частичный переход
электронов от металла к углероду, характеризуют
ионный компонент указанной связи, а частичная
117 ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2001. №2.
Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение (79), с. 116-120.
коллективизация электронов металла − ее металли-
ческую составляющую. Поскольку направленная ко-
валентная связь, осуществляемая sp3−конфигурация-
ми, наиболее сильна, прочность связи в карбидах
определяется в основном статистическим весом ато-
мов стабильной конфигурации (СВАСК) d Me
5 , а ста-
бильность d Me
5 , характеризующая долю ковалент-
ной связи Ме-Ме, играет второстепенную роль. В
связи с этим микротвердость карбидов (Н) на основе
Ti имеет наиболее высокие значения среди карби-
дов, так как его валентные электроны слабо связаны
в d− подоболочке и способны возбуждаться для уча-
стия в ковалентной связи Ме-С и в коллективизиро-
ванное состояние. Увеличение содержания углерода
в карбиде титана способствует повышению СВАСК
sp3 и, следовательно, усилению связи Ме-С, наибо-
лее сильной в этом соединении. При этом повыше-
ние СВАСК sp3 вызвано как непосредственным уве-
личением в решетке относительного количества ато-
мов С, обладающих sp3-конфигурациями, так и паде-
нием СВАСК d5 и ослаблением связи Ме-Ме.
Следствием изменений характера межатомных
связей в зависимости от содержания атомов С в TiCx
являются изменения типа и степени совершенства
текстуры получаемых покрытий (рис.4).
Из полученных результатов следует, что для до-
стехиометрического состава карбидов в плоскости
конденсации преимущественно ориентируются
плоскости (100). По мере увеличения концентрации
С в соединении характер текстуры меняется: повы-
шенная плотность полюсов смещается в направле-
ние (311). В то же время в условиях реактивного ис-
парения для стехиометрического TiC формируется
(100) текстура [13].
Рис.4. Зависимость текстуры карбидов ти-
тана TiCx от их состава
Переход от карбидов к нитридам связан с изме-
нением СВАСК неметаллического компонента из-за
соответственного повышения СВАСК s2p6 и увели-
чения доли ионной связи в нитридах по сравнению с
карбидами, что способствует относительному сни-
жению их микротвердости (см. рис.3, кривая 5). Из-
менение микротвердости в области гомогенности
карбонитридов по изодефектному сечению Ti(CxNy)
при х+y=0,94 ±0,06 (полученному из рис.3 для зна-
чения давления смеси азот-ацетилен, равного ~ 6⋅10-
2 Па) в зависимости от отношения С/С+N имеет не-
монотонный характер (см. рис.1). Объясняется это
зависимостью микротвердости от концентрации ва-
лентных электронов (КЭВ) в области гомогенности.
Максимальные значения соответствуют КВЭ
8,24...8,40 [14, 15]. Такой характер зависимости от-
ражает повышение прочности связи в определенной
области составов карбонитридов и обусловлен до-
полнительной стабилизацией s2p3-конфигураций в
сфере атомов неметалла в результате перераспреде-
ления электронов в связях Ме-С, Ме-N. Максималь-
ные значения микротвердости смещены в сторону
нестехиометрических составов [14, 16, 17].
Отличительной особенностью полученной кон-
центрационной зависимости микротвердости яв-
ляется размытие максимума в сторону больших зна-
чений отношения С/С+N. Это может быть следстви-
ем неодинаковой степени неравновесности струк-
турного состояния получаемых конденсатов в вы-
бранном сечении в зависимости от давления реакци-
онного газа в процессе конденсации. Действительно,
со временем выдержки в нормальных условиях в
течение трех лет наблюдаются различные значения
изменений микротвердости покрытий, полученных
при различных давлениях и для различных составов
активного газа - С2Н2 и смеси N2+C2H2 (рис.5-8).
Рис.5
118
Рис.6
Рис.7
Рис.8
Анализ результатов свидетельствует о том, что мак-
симально стабильными во времени оказываются по-
крытия, получаемые при конденсации Ti в атмосфе-
ре смеси азота с ~ 10 вес.% С2Н2 во всем интервале
давлений (от ~ 10-3 до 6,6⋅10-1 Па) (см. рис.8). С уве-
личением относительного содержания ацетилена в
смеси газов до 50 вес.% покрытия, получаемые в об-
ласти давлений 6,6⋅10-2 Па, со временем выдержки
теряют свои первоначальные свойства. Стабильны-
ми оказываются лишь те, что получены при давле-
нии ~ 10-1 Па (см. рис.6,7) и в области малых давле-
ний 6⋅10-3 Па (см. рис.6).
Карбидная фаза, синтезированная при давлении
ацетилена 6,6⋅10-3Па, также стабильна во времени;
покрытия, полученные при более высоких давлени-
ях, теряют со временем свойства (изменение микро-
твердости достигает ∆Н ~ 50 %).
Такое изменение свойств конденсатов в зависи-
мости от состава коррелирует с соответствующим
изменением сил и характера межатомных связей в
решетке карбонитридов, характеризуемых величи-
ной среднеквадратичного смещения атомов из поло-
жения равновесия для квазикомплектных карбонит-
ридов (х+y)=1,0. В области значений малых давле-
ний смеси газов с малым содержанием С2Н2 (~10 %)
стабильность покрытий определяется свойствами
покрытий на основе нитридов титана, "легирован-
ных" углеродом. Причем, стабилизирующую роль в
сохранении свойств покрытий при длительном хра-
нении играет углерод, так как покрытия TiNx, полу-
ченные в этой области давлений и аналогичных
условиях осаждения без добавки С2Н2, нестабильны.
Для нитридов титана уровень микроискажений мак-
симален в случае конденсации в области давлений
азота (10-2...2,6⋅10-2) Па и составляет 〈 〉 =ε
_
/1 2 3.10-3,
размер о.к.р. ~ 30 нм, что обусловлено гетерофазно-
стью получаемого покрытия. Все это в совокупно-
сти обусловливает высокие значения их микро-
твердости ( ~ 40⋅103 МПа) и нестабильность состоя-
ния со временем выдержки, в результате которой ве-
личина микротвердости снижается [8].
С повышением давления азота при конденсации
до ~ 10-1 Па получаемый материал находится в более
равновесном состоянии (фазово-однородном). Уро-
вень микроискаженийй снижается, и микро-
твердость покрытий со временем практически не из-
меняется.
Если учесть эту закономерность, то в связи со
смещением максимума значений микротвердости
получаемых покрытий с увеличением отношения
С/С+N в сторону больших значений давления смеси
газов, следует ожидать увеличения вклада неравно-
весности состояния в повышение значений микро-
твердости на различных сериях образцов, получен-
ных при одинаковом давлении смеси газов
~ 6,5⋅10-2 Па соответственно от микротвердости нит-
ридов до микротвердости карбидов титана (см.
рис.3).
Следствием изменения характера межатомных
связей для различных по составу карбонитридов,
как и карбидов, является изменение типа и степени
совершенства текстуры получаемых покрытий
(рис.9).
Рис.9. Зависимость текстуры карбонитридов ти-
тана от их основы
Для материалов некомплектных, достехиометриче-
ского состава Ti(C0,68N0,04) характерными являются
полюса (100), для квазикомплектных − Ti(C0,9N0,04) −
(311). По мере увеличения атомной доли азота в со-
единении Ti(CхNy) текстура "размывается" в направ-
лении (111), что свойственно в большинстве случаев
конденсатам, близким к стехиометрическим TiN.
119 ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2001. №2.
Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение (79), с. 116-120.
Таким образом, как и для TiNx-покрытий харак-
тер текстуры TiCx, Ti(CxNy)-конденсатов определя-
ется параметрами осаждения [3, 13, 20] и, как следу-
ет из данной работы, составом формирующегося со-
единения.
ЛИТЕРАТУРА
1. D. William. Sproul. Multilayer, multicomponent ,
and multiphase physical vapor deposition coatings
for enhanced performance // J.Vac.Technol. 1994,
v. A 12(4) Jul/Aug), р.1595-1601.
2. E.J. Bieng, H.Reitz, N.J.Mikkelsen. Wear and fric-
tion properties of hard PVD coatings // Surf.and
Coat. Technol. 1995, v. 76-77, р.475-480.
3. R. Bertoncello, A. Casagrande, M. Casarin et.all.
TiN, TiC and Ti(CN) Film Charaoterization and its
Relationship to Tribological Behaviour // Surf and
Interface Analysis. 1992, v.18, р.525-531.
4. E. Vancoille, J.P.Celis and J.K.Roos. Mechanical
properties of heat treated and worn PVD TiN, (Ti,
Al)N, (Ti, Nb)N and Ti(CN) coatings as measured
by nanoindentation // Thin Sol.Films. 1993, v. 224,
р.168-176.
5. M.L.Mc Connell, D.P. Dowling, N. Donnelly, R.V.
Flood. The effect of thermal treatnnants on the tri-
bological properties of PVD hard coatings// Sur-
f.and Coatings Technol. 1999, v. 116-119, р.1133-
1137.
6. Ю.П. Антуфьев и др. // Вопросы атомной науки
и техники. Серия «Общая и ядерная физика».
1979, вып.2(8), с.37.
7. Ю.П. Антуфьев и др. // Атомная энергия. 1980,
т.49, вып.5, с.332-333.
8. Р.Б. Котельников и др. Особо тугоплавкие эле-
менты и соединения. М.: «Металлургия», 1969,
376 с.
9. Н.А.Иванов и др. // Изв. АН СССР, Неорганиче-
ские материалы. 1976, т.12, №7, с.1209-1211.
10. Э. Стормс. Тугоплавкие карбиды. М.: «Атомиз-
дат», 1970, 304 с.
11. Г.В. Самсонов, И.Ф. Прядко, Л.Ф. Прядко.
Электронная локализация в твердом теле. М.:
«Наука», 1976.
12. Г.В. Самсонов, И.Ф. Прядко, Л.Ф. Прядко. Кон-
фигурационная модель вещества. Киев: «Науко-
ва думка», 1971.
13. B.E. Jacobson Microstructure and Hardness of
Ti(CN) Coatings Steel Prepared by the Activated
Reactive Evaporation Technique// Thin Solid Films
v. 118, 1984, р. 285-292.
14. Ю.Н. Вильк. О характере изменения микро-
твердости в поле гомогенности карбонитридов.
// Порошковая металлургия. 1978, №6(186),
с.70-74.
15. U. König. Deposition and properties of multicom-
ponent hard coatings// Surf.and Coat. Technol.
1987, v. 33, р.91-103.
16. М.Д. Смолин и др. Электро- и теплофизические
свойства сплавов системы TiCxN1-x, ZrxN1-xC //
Изв. АН СССР Неорганические материалы.
1978, т.14, №12,, с.2194-2197.
17. Р.А. Андриевский и др. Исследование физико-
механических свойств карбида титана с добав-
ками TiN // Порошк.мет. 1980, №9(213), с.35-
38.
18. В.В. Кунченко и др. О взаимосвязи структурно-
го состояния материала покрытия и характера
акустической эмиссии, возникающей при де-
формации сосредоточенной нагрузкой // Дефек-
тоскопия. 1994, №3, с.85-89.
19. J.-E.Sundgren. Structure and Properties of TiN
Coatings // Thin.Sol.Films. 1985, v.128, р.21-44.
20. H.Randhawa // Thin Sol. Films. 1987, v. 153,
р.209.
120
УДК 533.9
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-78357 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:15:00Z |
| publishDate | 2001 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Кунченко, В.В. Андреев, А.А. 2015-03-13T21:43:04Z 2015-03-13T21:43:04Z 2001 Карбонитриды титана, полученные вакуумно-дуговым осаждением / В.В. Кунченко, А.А. Андреев // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 116-120. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78357 533.9 Приведены результаты изучения состава, текстуры, макронапряжений, микротвердости и ее стабильности со временем длительной выдержки для покрытий на основе титана, полученных методом вакуумно-дугового осаждения, в зависимости от давления и соотношения компонентов активного газа (C2H2:N2). Найденные закономерности объясняются с позиций конфигурационной модели вещества. Наведено результати вивчення складу, текстури, макронапружень, мікротвердості та її стабільності за час тривалої витримки для покриттів на основі титану, одержаних методом вакуумно-дугового осадження, в залежності від тиску та співвідношення компонентів активного газу (С2Н2:N2). Знайдені закономірності пояснюються з позицій конфігураційної моделі речовини. Results are reported from studies into the composition texture, macrostresses, microhardness (and its behavior with prolonged time of exposure to normal conditions) of titanium-base coatings produced by vacuum-arc deposition. The mentioned characteristics were studied as functions of pressure and active gas components ratoi (C2H2:N2). The established regularities are explained in terms of the configuration model of substance. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Карбонитриды титана, полученные вакуумно-дуговым осаждением Article published earlier |
| spellingShingle | Карбонитриды титана, полученные вакуумно-дуговым осаждением Кунченко, В.В. Андреев, А.А. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title | Карбонитриды титана, полученные вакуумно-дуговым осаждением |
| title_full | Карбонитриды титана, полученные вакуумно-дуговым осаждением |
| title_fullStr | Карбонитриды титана, полученные вакуумно-дуговым осаждением |
| title_full_unstemmed | Карбонитриды титана, полученные вакуумно-дуговым осаждением |
| title_short | Карбонитриды титана, полученные вакуумно-дуговым осаждением |
| title_sort | карбонитриды титана, полученные вакуумно-дуговым осаждением |
| topic | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78357 |
| work_keys_str_mv | AT kunčenkovv karbonitridytitanapolučennyevakuumnodugovymosaždeniem AT andreevaa karbonitridytitanapolučennyevakuumnodugovymosaždeniem |