Карбонитриды титана, полученные вакуумно-дуговым осаждением

• Опубліковано в: : Вопросы атомной науки и техники
• Дата: 2001
• Автори: Кунченко, В.В., Андреев, А.А.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2001
• Теми: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78357
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Карбонитриды титана, полученные вакуумно-дуговым осаждением / В.В. Кунченко, А.А. Андреев // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 116-120. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.

Приведены результаты изучения состава, текстуры, макронапряжений, микротвердости и ее стабильности со временем длительной выдержки для покрытий на основе титана, полученных методом вакуумно-дугового осаждения, в зависимости от давления и соотношения компонентов активного газа (C2H2:N2). Найденные за...