Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги
Проведены исследования работы прямолинейного сепаратора углеродной плазмы вакуумной дуги. Показано, что эффективность работы прямолинейного сепаратора зависит от формы катода, используемого в источнике плазмы. Величина ионного тока на выходе сепаратора составляет 1,4 А - для стандартного катода и 1,...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2001 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2001
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78359 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги / И.И. Аксенов, В.А. Белоус, В.В. Васильев, Ю.Я. Волков, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 127-130. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859917771079417856 |
|---|---|
| author | Аксенов, И.И. Белоус, В.А. Васильев, В.В. Волков, Ю.Я. Стрельницкий, В.Е. |
| author_facet | Аксенов, И.И. Белоус, В.А. Васильев, В.В. Волков, Ю.Я. Стрельницкий, В.Е. |
| citation_txt | Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги / И.И. Аксенов, В.А. Белоус, В.В. Васильев, Ю.Я. Волков, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 127-130. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Проведены исследования работы прямолинейного сепаратора углеродной плазмы вакуумной дуги. Показано, что эффективность работы прямолинейного сепаратора зависит от формы катода, используемого в источнике плазмы. Величина ионного тока на выходе сепаратора составляет 1,4 А - для стандартного катода и 1,7 А - для профилированного катода при токе дуги 130 А. Скорость роста однородного по толщине титанового и алмазоподобного углеродного покрытий составила 4,8 и 3 мкм/ч, соответственно, на диаметре 18 см при использовании профилированного катода. Данные результаты по величине ионного тока в четыре раза, а по диаметру равнотолщинного покрытия на порядок величины превосходят результаты, полученные ранее для криволинейного сепаратора.
Проведено дослідження роботи прямолінійного сепаратора вуглецевої плазми вакуумної дуги. Показано, що ефективність роботи прямолінійного сепаратора залежить від форми катода, використовуваного в джерелі плазми. Розмір іонного струму на виході сепаратора складає 1,4 А - для стандартного катода і 1,7 А - для профілованого катода при струмі дуги 130 А. Швидкість росту однорідного по товщині титанового й алмазоподібного вуглецевого покриттів склала 4,8 і 3 мкм/годину, відповідно на діаметрі 18 см при використанні профілованого катода. Дані результати по величині іонного струму в чотири рази, а по діаметру рівнотовщинного покриття на порядок величини перевищують результати, отримані раніше для криволінійного сепаратора.
The researches of the rectilinear filter of a vacuum arc carbon plasma were carried out. It was shown that the effectiveness of the rectilinear filter depends on the cathode shape used in a plasma source. The value of an ion current at the filter output makes 1,4 A - for the standard cathode and 1,7 A - for the profiled cathode at the arc current of 130 А. The growth rate of the uniform thickness titanium and diamond-like carbon coatings has made 4,8 and 3 mm/h, accordingly, on a diameter of 18 сm under using of the profile cathode. The given results on the ion current value in twice, and on a diameter of the uniform thickness coating on the order of value surpass results received earlier for curvilinear filter.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:06:17Z |
| format | Article |
| fulltext |
УДК 533.9
ПРЯМОЛИНЕЙНЫЙ СЕПАРАТОР УГЛЕРОДНОЙ ПЛАЗМЫ
ВАКУУМНОЙ ДУГИ
И. И. Аксенов, В. А. Белоус, В. В. Васильев, Ю. Я. Волков, В. Е. Стрельницкий
Национальный научный центр «Харьковский физико-технический институт»,
г. Харьков, Украина
Проведено дослідження роботи прямолінійного сепаратора вуглецевої плазми вакуумної дуги. Показано,
що ефективність роботи прямолінійного сепаратора залежить від форми катода, використовуваного в
джерелі плазми. Розмір іонного струму на виході сепаратора складає 1,4 А - для стандартного катода і 1,7 А
- для профілованого катода при струмі дуги 130 А. Швидкість росту однорідного по товщині титанового й
алмазоподібного вуглецевого покриттів склала 4,8 і 3 мкм/годину, відповідно на діаметрі 18 см при
використанні профілованого катода. Дані результати по величині іонного струму в чотири рази, а по
діаметру рівнотовщинного покриття на порядок величини перевищують результати, отримані раніше для
криволінійного сепаратора.
Проведены исследования работы прямолинейного сепаратора углеродной плазмы вакуумной дуги. Пока-
зано, что эффективность работы прямолинейного сепаратора зависит от формы катода, используемого в ис-
точнике плазмы. Величина ионного тока на выходе сепаратора составляет 1,4 А - для стандартного катода и
1,7 А - для профилированного катода при токе дуги 130 А. Скорость роста однородного по толщине титано-
вого и алмазоподобного углеродного покрытий составила 4,8 и 3 мкм/ч, соответственно, на диаметре 18
см при использовании профилированного катода. Данные результаты по величине ионного тока в четыре
раза, а по диаметру равнотолщинного покрытия на порядок величины превосходят результаты, полученные
ранее для криволинейного сепаратора.
The researches of the rectilinear filter of a vacuum arc carbon plasma were carried out. It was shown that the ef-
fectiveness of the rectilinear filter depends on the cathode shape used in a plasma source. The value of an ion current
at the filter output makes 1,4 A - for the standard cathode and 1,7 A - for the profiled cathode at the arc current of
130 А. The growth rate of the uniform thickness titanium and diamond-like carbon coatings has made 4,8 and 3 µ
m/h, accordingly, on a diameter of 18 сm under using of the profile cathode. The given results on the ion current
value in twice, and on a diameter of the uniform thickness coating on the order of value surpass results received ear-
lier for curvilinear filter.
1. ВВЕДЕНИЕ
Одним из наиболее перспективных методов син-
теза алмазоподобных пленок углерода (АПУ) яв-
ляется метод, основанный на применении вакуумно-
дугового разряда с графитовым катодом [1-2].
Именно такой метод обеспечивает возможность по-
лучения АПУ с рекордными характеристиками, при-
ближающимися к характеристикам природного ал-
маза [3-6]. Однако в связи с тем, что используемые
для синтеза потоки углеродной плазмы, генерируе-
мые дуговым разрядом с катодным пятном на гра-
фите, содержат значительное количество макроча-
стиц этого материала, источники плазмы, работаю-
щие в режиме постоянного тока, должны быть осна-
щены устройствами для сепарации плазменных по-
токов. За последние два десятилетия разработаны
различные методы подавления «капельной» состав-
ляющей плазменных потоков [4,7-10]. Из них метод,
основанный на разделении траекторий ионных и
капельных потоков в криволинейной транспортиру-
ющей системе со скрещенными электрическим и
магнитным полями, обеспечивает наиболее полную
очистку плазмы [4]. Однако это качество криволи-
нейного сепаратора обеспечивается ценой больших
потерь плазмы на стенках сравнительно длинного и
узкого плазмовода. Кроме того, плазменный поток
на выходе устройства достаточно узок и неодноро-
ден по плотности, так что площадь покрытия с бо-
лее или менее равномерным распределением толщи-
ны составляет всего несколько квадратных санти-
метров. Вместе с тем, криволинейные сепараторы
громоздки и сложны в изготовлении, что заметно
удорожает технологическое оборудование. Все это,
несмотря на высокое качество получаемых с помо-
щью таких сепараторов покрытий, ограничивает
практическое применение этих устройств лишь теми
редкими случаями, когда ни производительность, ни
стоимость оборудования не имеют решающего зна-
чения.
В связи с выше изложенным представляется це-
лесообразным решить проблему повышения эффек-
тивности формирования сепарированных потоков
углеродной плазмы путем совершенствования заве-
домо более простого технического решения, ка-
ковым является предложенный ранее так называе-
мый, прямолинейный сепаратор [11].
Однако описанный в литературе прямолинейный
сепаратор не пригоден для нанесения углеродных
покрытий, так как при использовании графитового
катода данный сепаратор выходит из строя из-за
проплавления водоохлаждаемой стенки анода вслед-
127
ВОПРОСЫ АТОМНОЙ НАУКИ И ТЕХНИКИ. 2001. №2.
Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение (79), с. 127-130.
ствие медленного перемещения катодного, а следо-
вательно, и анодного пятна дуги.
Целью данной работы является исследование
разработанного нами прямолинейного сепаратора
для очистки углеродной плазмы вакуумно-дугового
разряда.
2. МЕТОДИКА И УСЛОВИЯ
ЭКСПЕРИМЕНТА
Разработанный вариант прямолинейного сепара-
тора для осаждения АПП содержит заслонку, вы-
полненную из тугоплавкого материала (графита) в
виде круга диаметром большим, чем диаметр распы-
ляемого катода, а также систему графитовых колец
с отверстиями конической формы, расположенных
вдоль оси прямолинейного плазмовода. Использова-
ние заслонки и системы колец-ловушек, выполнен-
ных из тугоплавкого материала, обеспечивает в от-
личие от [11] надежную защиту анода от проплавле-
ния анодным пятном дуги.
Схематическое изображение электродугового ис-
точника углеродной плазмы с прямолинейным сепа-
ратором показано на рис. 1.
Проведены измерения максимального ионного
тока на выходе сепаратора, распределения по радиу-
су подложки максимальной плотности ионного тока
насыщения и толщины осаждаемого покрытия по
радиусу подложки в зависимости от расстояния
между подложкой и выходным срезом плазмовода.
Рис. 1. Схематическое изображение электроду-
гового источника плазмы с прямолинейным сепара-
тором: 1 - анод; 2 - графитовое кольцо; 3 - элек-
тромагнитная катушка; 4 - заслонка;
5 и 6 - изоляторы; 7 - графитовый катод;
8 - катододержатель;9 - 12-пристыковочные флан-
цы.
Распределение максимума ионного тока насы-
щения по радиусу подложки измерялось с помощью
плоского одиночного электрического зонда, на кото-
рый подавался потенциал -100 В.
Максимальный ионный ток на выходе сепарато-
ра измерялся с помощью плоского коллектора, пере-
крывающего все сечение сепаратора.
Толщина наносимых покрытий измерялась с по-
мощью интерференционого микроскопа МИИ-4 по
ступеньке, организуемой в покрытии с помощью ло-
кального экрана из суспензии микропорошка графи-
та-аквадага.
Максимальный ток на подложку устанавливался
путем подбора экспериментальным путем соотно-
шения токов в соленоидах сепаратора и источника
плазмы, обеспечивающих оптимальную конфигура-
цию магнитного поля плазмооптической системы.
3. РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ
Измерения максимального выхода полного
ионного тока насыщения на коллектор, полностью
перекрывающего выходное отверстие сепаратора,
показали, что при токе дуги 130 А максимальная ве-
личина выходного ионного тока составляла 1,4 А.
При работе с графитовым катодом было замече-
но, что почти 50% времени работы источника плаз-
мы дуга горела на заслонку, находящуюся под по-
тенциалом анода. При этом полный ионный ток на
выходе сепаратора был близок к 0. Это связано с
тем, что при нахождении катодного пятна дуги в
центральной области торцевой поверхности катода
силовые линии магнитного поля, проходящие через
эту область, одновременно пересекают заслонку.
Вследствие этого дуге в этом случае выгодно гореть
только на заслонку. Когда катодное пятно дуги слу-
чайным образом выходит из этой области, дуга на-
чинает гореть на кольца сепаратора, и плазма вдоль
силовых линий магнитного поля (ввиду замагничен-
ности электронов) огибает заслонку и движется на
выход сепаратора. В этом случае ионный ток насы-
щения на коллектор, установленный напротив сепа-
ратора, имеет максимальную величину. Из-за малой
скорости перемещения катодного пятна на графито-
вом катоде (2…3 см/мин), выполнить измерения
распределения по радиусу подложки ионного тока
насыщения не представляется возможным. Поэтому
для облегчения процесса измерения данных пара-
метров и получения более достоверных эксперимен-
тальных результатов по прохождению плазменных
потоков через прямолинейный сепаратор вместо
графитового катода был использован металличе-
ский (титановый) катод, на котором скорость дви-
жения катодного пятна на два порядка величины
превосходит скорость движения пятна на графито-
вом катоде. Ниже приведены радиальные распреде-
ления ионных токов насыщения, полученные с ис-
пользованием титанового катода.
Замена графитового катода на титановый не при-
вела к заметному изменению максимальной величи-
ны ионного тока насыщения. Однако из-за быстрого
перемещения катодного пятна по поверхности като-
да частота колебаний ионного тока от Ii=0 до
Ii=Ii MAX резко увеличилась. Это позволило значи-
тельно быстрее и точнее проводить измерение мак-
симальных величин ионного тока насыщения, что
особенно важно для проведения зондовых измере-
ний.
128
0
10
20
30
40
50
0 2 4 6 8 10 12
расстояние от центра подложки, см
пл
от
но
ст
ь
ио
нн
ог
о
то
ка
, м
а/
см
1
2
3
2
Рис. 2. Радиальное распределение плотности
ионного тока для стандартного катода:
1-Z=3 cм; 2-Z=6 cм; 3-Z=9 cм
На рис.2 представлены радиальные профили
мак-симальных плотностей ионного тока насыще-
ния на различных расстояниях Z от торца сепарато-
ра для стандартного катода из титана.
Как видно из рисунка, данные профили имеют
провал в центре. С увеличением расстояния от торца
сепаратора профиль ионного тока расплывается. Од-
нако провал максимальной плотности ионного тока
в центральной области подложки остаётся близким
к 100% и изменяется в пределах от 90 до 95% , а от-
носительная амплитуда колебаний ионного тока со-
ставляла величину, равную 100% .
Как было уже сказано выше, испытание работы
сепаратора с источником углеродной плазмы пока-
зало, что значительную часть времени ∼50% источ-
ник плазмы работает вхолостую. Т.е. на выходе се-
паратора в течение этого периода времени нет пото-
ков плазмы на подложку.
Для устранения этого недостатка был предло-
жен профилированный катод, который отличается
от стандартного конической выемкой в центральной
его части. Силовые линии магнитного поля , пересе-
кающие коническую поверхность выемки? образуют
острый угол с образующей конуса. Это создаёт
условия выталкивания катодного пятна дуги на тор-
цевую часть катода, если оно случайным образом
попадёт на коническую поверхность выемки. Поэто-
му катодное пятно дуги большую часть времени бу-
дет перемещаться по наружной части торцевой по-
верхности катода, имеющей форму кольца.
На рис.3 и 4 представлены радиальные распре-
деления плотностей ионных токов и их флуктуаций
соответственно на различных расстояниях Z от тор-
ца сепаратора для профилированного катода из ти-
тана. Из этих рисунков видно, что предложенная
форма катода существенно улучшила однородность
радиальных профилей плотности ионного тока на
подложку и существенно уменьшила флуктуации
ионных токов. Последний факт говорит о том, что
только незначительная часть плазмы, обходящей
заслонку, попадает на неё. Судя по измеренным
флуктуациям ионного тока насыщения на выходе
сепаратора (см.рис.4), эта часть составляет от 4 до
16% в зависимости от расстояний от центра
подложки и от торца сепаратора, на которых эти
токи измеряются.
Измерения максимального выхода полного
ионного тока насыщения на коллектор, полностью
перекрывающий выходное отверстие сепаратора,
показал и что при токе дуги 130 А максимальная ве-
личина выходного ионного тока для профилирован-
ного катода составила величину 1,7 А . Это на 21%
больше, чем для обычного катода при том же токе
дуги.
0
2
4
6
8
0 2 4 6 8 10
Расстояние от центра подложки, см
То
лщ
ин
а
по
кр
ы
ти
я,
м
км 1
2
Рис. 5. Радиальное распределение плотности ионно-
го тока для стандартного катода из Ti:
1-Z=6 cм; 2-Z=9 cм
На рис.5 представлены радиальные распределе-
ния толщины титанового покрытия на различных
129
0
10
20
30
0 2 4 6 8 10 12
расстояние от центра подложки, см
пл
от
но
ст
ь
ио
нн
ог
о
то
ка
,
м
а/
см
1
2
3
2
Рис. 3. Радиальное распределение плотности ионно-
го тока для профилированного катода: 1-Z=3 cм;
2-Z=6 cм; 3-Z=9 cм
0
4
8
12
16
20
0 2 4 6 8 10 12
Расстояние от центра подложки, см
Ф
лю
кт
уа
ци
я
ио
нн
ог
о
то
ка
, %
1
2
3
Рис. 4. Радиальное распределение плотности ионно-
го тока для профилированного катода из Ti:
1-Z=3 cм; 2-Z=6 cм; 3-Z=9 cм
расстояниях Z от торца сепаратора для стандартного
катода. Осаждение покрытий проводилось в течение
одного часа. Из рисунка видно, что несмотря на
сильно неоднородные радиальные профили макси-
мальных плотностей ионных токов на подложку (см.
рис. 3), профили толщины покрытий являются до-
вольно однородными на диаметрах 120 и 160 мм для
Z=60 и Z=90 мм соответственно. Это говорит о том,
что усредненные по времени значения плотностей
ионных токов насыщения на вышеуказанных диа-
метрах также должны быть равными.
На рис.6 представлены радиальные распределе-
ния толщины титановых покрытий, полученных на
различных расстояниях Z от торца сепаратора для
профилированного катода. Время осаждения покры-
тий было такое же, как и для покрытий, полученных
при использовании обычного катода (см. рис.5). Из
рис. 5 и 6 видно, что скорость осаждения покрытий
для случая профилированного катода на 20% выше,
чем для обычного. Это соответствует увеличению
максимума полного ионного тока насыщения на
коллектор для профилированного катода по сравне-
нию с непрофилированным.
0
2
4
6
8
0 2 4 6 8 10
Расстояние от центра подложки, см
То
лщ
ин
а
по
кр
ы
ти
я,
м
км
1
2
Рис. 6. Радиальное распределение толщины ти-
танового покрытия для стандартного катода
из Ti: 1-Z=6 cм; 2-Z=9 cм
Из этих рисунков также видно, что форма катода
не влияет на однородность получаемых покрытий.
Для исследуемого типа прямолинейного сепара-
тора были получены однородные покрытия на диа-
метре D=12 см при расстоянии подложки Z от торца
сепаратора равном Z=6 см и D=18 см при располо-
жении подложки от торца сепаратора равном
Z=9 см.
Проведены осаждения АПП с использованием
профилированного графитового катода на охлажда-
емую подложку. Скорость осаждения АПП на рас-
стоянии 9 см от торца сепаратора составила 3
мкм/ч, неоднородность по толщине АПП составляла
±5%. Средняя высота микровыступов на поверхно-
сти покрытия толщиной 1 мкм, характеризующая
эффективность очистки эрозионной плазмы от ма-
крочастиц, составила ≈0,1 мкм.
4. ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Исследование работы прямолинейного сепара-
тора для нанесения алмазоподобных углердных по-
крытий показало, что эффективность его работы за-
висит от формы используемого катода в электроду-
говом источнике плазмы.
Экспериментально показано, что использование
профилированного катода позволяет увеличить эф-
фективность работы сепаратора не менее чем на
20% по сравнению с использованием катода обыч-
ной формы. Скорость роста однородного по толщи-
не покрытия, полученная при работе источника с
профилированным катодом, составила 3 мкм/ч на
диаметре 18 см. Данные результаты по величине
ионного тока в четыре раза, а по диаметру достигае-
мой равнотолщинности покрытия на порядок ве-
личины превосходят результаты, полученные ранее
для криволинейного сепаратора. В этой связи созда-
ние прямолинейных фильтрующих систем описан-
ного типа можно рассматривать как заметный шаг к
расширению области практического применения ва-
куумно-дугового метода осаждения высококаче-
ственных алмазоподобных углеродных покрытий.
ЛИТЕРАТУРA
1. А. С. Бакай, В. Е. Стрельницкий. Структурные и
физические свойства углеродных конденсатов,
полученных осаждением потоков быстрых ча-
стиц: Обзор. М.: ЦНИИатоминформ, 1984, 87 с.
2. D. M. Sanders, D. B. Boercer, S. Falabela, Coating
technology based on the vacuum arc-a review.-//
IEEE transactions on plasma science, 1990,
v. 18(6), p. 883-894.
3. В. Е. Стрельницкий, В. Г. Падалка, С. И. Ваку-
ла// ЖТФ. 1978, т. 48 (2), с. 377.
4. И. И. Аксёнов, С. И. Вакула, В. Г. Падалка и
др.// ЖТФ. 1980, т. 50 (9), с. 2000.
5. I. I. Aksenov, V. E. Strel`nitskij // Surface and
Coatings Technology. 1991 v. 47 (1-3), p. 98.
6. I. I. Aksenov, V. E. Strel`nitskij // Surface and
Coatints Technology. v.47 (13), p. 252.
7. S. Falabela, D. M. Sanders: US Patent 5279723,
Jan.1994.
8. D. M. Sanders, S. Falabela: US Patent 5282944,
Feb. 1994.
9. Shi Xu, B. K. Tay, H. S. Tan, Li Zhong, Y. Q. Tu
and et. al. // J. Appl. Phys. 1996, v. 79 (9), p. 7234.
10.T. Schulke, A. Anders, P. Siemroth // IEEE Trans-
actions on plasma science. 1997, v. 25 (4), p. 660.
11. Aksenov, V. A. Belous, V. G. Padalka, V. M.
Khoroshikh: US Patent №4551221, Nov. 1985.
130
эксперимента
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-78359 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:06:17Z |
| publishDate | 2001 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Аксенов, И.И. Белоус, В.А. Васильев, В.В. Волков, Ю.Я. Стрельницкий, В.Е. 2015-03-13T21:45:41Z 2015-03-13T21:45:41Z 2001 Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги / И.И. Аксенов, В.А. Белоус, В.В. Васильев, Ю.Я. Волков, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 127-130. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78359 533.9 Проведены исследования работы прямолинейного сепаратора углеродной плазмы вакуумной дуги. Показано, что эффективность работы прямолинейного сепаратора зависит от формы катода, используемого в источнике плазмы. Величина ионного тока на выходе сепаратора составляет 1,4 А - для стандартного катода и 1,7 А - для профилированного катода при токе дуги 130 А. Скорость роста однородного по толщине титанового и алмазоподобного углеродного покрытий составила 4,8 и 3 мкм/ч, соответственно, на диаметре 18 см при использовании профилированного катода. Данные результаты по величине ионного тока в четыре раза, а по диаметру равнотолщинного покрытия на порядок величины превосходят результаты, полученные ранее для криволинейного сепаратора. Проведено дослідження роботи прямолінійного сепаратора вуглецевої плазми вакуумної дуги. Показано, що ефективність роботи прямолінійного сепаратора залежить від форми катода, використовуваного в джерелі плазми. Розмір іонного струму на виході сепаратора складає 1,4 А - для стандартного катода і 1,7 А - для профілованого катода при струмі дуги 130 А. Швидкість росту однорідного по товщині титанового й алмазоподібного вуглецевого покриттів склала 4,8 і 3 мкм/годину, відповідно на діаметрі 18 см при використанні профілованого катода. Дані результати по величині іонного струму в чотири рази, а по діаметру рівнотовщинного покриття на порядок величини перевищують результати, отримані раніше для криволінійного сепаратора. The researches of the rectilinear filter of a vacuum arc carbon plasma were carried out. It was shown that the effectiveness of the rectilinear filter depends on the cathode shape used in a plasma source. The value of an ion current at the filter output makes 1,4 A - for the standard cathode and 1,7 A - for the profiled cathode at the arc current of 130 А. The growth rate of the uniform thickness titanium and diamond-like carbon coatings has made 4,8 and 3 mm/h, accordingly, on a diameter of 18 сm under using of the profile cathode. The given results on the ion current value in twice, and on a diameter of the uniform thickness coating on the order of value surpass results received earlier for curvilinear filter. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги Article published earlier |
| spellingShingle | Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги Аксенов, И.И. Белоус, В.А. Васильев, В.В. Волков, Ю.Я. Стрельницкий, В.Е. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title | Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги |
| title_full | Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги |
| title_fullStr | Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги |
| title_full_unstemmed | Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги |
| title_short | Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги |
| title_sort | прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги |
| topic | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78359 |
| work_keys_str_mv | AT aksenovii prâmolineinyiseparatoruglerodnoiplazmyvakuumnoidugi AT belousva prâmolineinyiseparatoruglerodnoiplazmyvakuumnoidugi AT vasilʹevvv prâmolineinyiseparatoruglerodnoiplazmyvakuumnoidugi AT volkovûâ prâmolineinyiseparatoruglerodnoiplazmyvakuumnoidugi AT strelʹnickiive prâmolineinyiseparatoruglerodnoiplazmyvakuumnoidugi |