Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги
Проведены исследования работы прямолинейного сепаратора углеродной плазмы вакуумной дуги. Показано, что эффективность работы прямолинейного сепаратора зависит от формы катода, используемого в источнике плазмы. Величина ионного тока на выходе сепаратора составляет 1,4 А - для стандартного катода и 1,...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2001 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2001
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78359 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги / И.И. Аксенов, В.А. Белоус, В.В. Васильев, Ю.Я. Волков, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 127-130. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-78359 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Аксенов, И.И. Белоус, В.А. Васильев, В.В. Волков, Ю.Я. Стрельницкий, В.Е. 2015-03-13T21:45:41Z 2015-03-13T21:45:41Z 2001 Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги / И.И. Аксенов, В.А. Белоус, В.В. Васильев, Ю.Я. Волков, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 127-130. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78359 533.9 Проведены исследования работы прямолинейного сепаратора углеродной плазмы вакуумной дуги. Показано, что эффективность работы прямолинейного сепаратора зависит от формы катода, используемого в источнике плазмы. Величина ионного тока на выходе сепаратора составляет 1,4 А - для стандартного катода и 1,7 А - для профилированного катода при токе дуги 130 А. Скорость роста однородного по толщине титанового и алмазоподобного углеродного покрытий составила 4,8 и 3 мкм/ч, соответственно, на диаметре 18 см при использовании профилированного катода. Данные результаты по величине ионного тока в четыре раза, а по диаметру равнотолщинного покрытия на порядок величины превосходят результаты, полученные ранее для криволинейного сепаратора. Проведено дослідження роботи прямолінійного сепаратора вуглецевої плазми вакуумної дуги. Показано, що ефективність роботи прямолінійного сепаратора залежить від форми катода, використовуваного в джерелі плазми. Розмір іонного струму на виході сепаратора складає 1,4 А - для стандартного катода і 1,7 А - для профілованого катода при струмі дуги 130 А. Швидкість росту однорідного по товщині титанового й алмазоподібного вуглецевого покриттів склала 4,8 і 3 мкм/годину, відповідно на діаметрі 18 см при використанні профілованого катода. Дані результати по величині іонного струму в чотири рази, а по діаметру рівнотовщинного покриття на порядок величини перевищують результати, отримані раніше для криволінійного сепаратора. The researches of the rectilinear filter of a vacuum arc carbon plasma were carried out. It was shown that the effectiveness of the rectilinear filter depends on the cathode shape used in a plasma source. The value of an ion current at the filter output makes 1,4 A - for the standard cathode and 1,7 A - for the profiled cathode at the arc current of 130 А. The growth rate of the uniform thickness titanium and diamond-like carbon coatings has made 4,8 and 3 mm/h, accordingly, on a diameter of 18 сm under using of the profile cathode. The given results on the ion current value in twice, and on a diameter of the uniform thickness coating on the order of value surpass results received earlier for curvilinear filter. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги |
| spellingShingle |
Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги Аксенов, И.И. Белоус, В.А. Васильев, В.В. Волков, Ю.Я. Стрельницкий, В.Е. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title_short |
Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги |
| title_full |
Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги |
| title_fullStr |
Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги |
| title_full_unstemmed |
Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги |
| title_sort |
прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги |
| author |
Аксенов, И.И. Белоус, В.А. Васильев, В.В. Волков, Ю.Я. Стрельницкий, В.Е. |
| author_facet |
Аксенов, И.И. Белоус, В.А. Васильев, В.В. Волков, Ю.Я. Стрельницкий, В.Е. |
| topic |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| publishDate |
2001 |
| language |
Russian |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| description |
Проведены исследования работы прямолинейного сепаратора углеродной плазмы вакуумной дуги. Показано, что эффективность работы прямолинейного сепаратора зависит от формы катода, используемого в источнике плазмы. Величина ионного тока на выходе сепаратора составляет 1,4 А - для стандартного катода и 1,7 А - для профилированного катода при токе дуги 130 А. Скорость роста однородного по толщине титанового и алмазоподобного углеродного покрытий составила 4,8 и 3 мкм/ч, соответственно, на диаметре 18 см при использовании профилированного катода. Данные результаты по величине ионного тока в четыре раза, а по диаметру равнотолщинного покрытия на порядок величины превосходят результаты, полученные ранее для криволинейного сепаратора.
Проведено дослідження роботи прямолінійного сепаратора вуглецевої плазми вакуумної дуги. Показано, що ефективність роботи прямолінійного сепаратора залежить від форми катода, використовуваного в джерелі плазми. Розмір іонного струму на виході сепаратора складає 1,4 А - для стандартного катода і 1,7 А - для профілованого катода при струмі дуги 130 А. Швидкість росту однорідного по товщині титанового й алмазоподібного вуглецевого покриттів склала 4,8 і 3 мкм/годину, відповідно на діаметрі 18 см при використанні профілованого катода. Дані результати по величині іонного струму в чотири рази, а по діаметру рівнотовщинного покриття на порядок величини перевищують результати, отримані раніше для криволінійного сепаратора.
The researches of the rectilinear filter of a vacuum arc carbon plasma were carried out. It was shown that the effectiveness of the rectilinear filter depends on the cathode shape used in a plasma source. The value of an ion current at the filter output makes 1,4 A - for the standard cathode and 1,7 A - for the profiled cathode at the arc current of 130 А. The growth rate of the uniform thickness titanium and diamond-like carbon coatings has made 4,8 and 3 mm/h, accordingly, on a diameter of 18 сm under using of the profile cathode. The given results on the ion current value in twice, and on a diameter of the uniform thickness coating on the order of value surpass results received earlier for curvilinear filter.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78359 |
| citation_txt |
Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги / И.И. Аксенов, В.А. Белоус, В.В. Васильев, Ю.Я. Волков, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 127-130. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT aksenovii prâmolineinyiseparatoruglerodnoiplazmyvakuumnoidugi AT belousva prâmolineinyiseparatoruglerodnoiplazmyvakuumnoidugi AT vasilʹevvv prâmolineinyiseparatoruglerodnoiplazmyvakuumnoidugi AT volkovûâ prâmolineinyiseparatoruglerodnoiplazmyvakuumnoidugi AT strelʹnickiive prâmolineinyiseparatoruglerodnoiplazmyvakuumnoidugi |
| first_indexed |
2025-12-07T16:06:17Z |
| last_indexed |
2025-12-07T16:06:17Z |
| _version_ |
1850866220219236352 |