Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги

Проведены исследования работы прямолинейного сепаратора углеродной плазмы вакуумной дуги. Показано, что эффективность работы прямолинейного сепаратора зависит от формы катода, используемого в источнике плазмы. Величина ионного тока на выходе сепаратора составляет 1,4 А - для стандартного катода и 1,...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Вопросы атомной науки и техники
Дата:2001
Автори: Аксенов, И.И., Белоус, В.А., Васильев, В.В., Волков, Ю.Я., Стрельницкий, В.Е.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2001
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78359
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги / И.И. Аксенов, В.А. Белоус, В.В. Васильев, Ю.Я. Волков, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 127-130. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862687613892165632
author Аксенов, И.И.
Белоус, В.А.
Васильев, В.В.
Волков, Ю.Я.
Стрельницкий, В.Е.
author_facet Аксенов, И.И.
Белоус, В.А.
Васильев, В.В.
Волков, Ю.Я.
Стрельницкий, В.Е.
citation_txt Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги / И.И. Аксенов, В.А. Белоус, В.В. Васильев, Ю.Я. Волков, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 127-130. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Вопросы атомной науки и техники
description Проведены исследования работы прямолинейного сепаратора углеродной плазмы вакуумной дуги. Показано, что эффективность работы прямолинейного сепаратора зависит от формы катода, используемого в источнике плазмы. Величина ионного тока на выходе сепаратора составляет 1,4 А - для стандартного катода и 1,7 А - для профилированного катода при токе дуги 130 А. Скорость роста однородного по толщине титанового и алмазоподобного углеродного покрытий составила 4,8 и 3 мкм/ч, соответственно, на диаметре 18 см при использовании профилированного катода. Данные результаты по величине ионного тока в четыре раза, а по диаметру равнотолщинного покрытия на порядок величины превосходят результаты, полученные ранее для криволинейного сепаратора. Проведено дослідження роботи прямолінійного сепаратора вуглецевої плазми вакуумної дуги. Показано, що ефективність роботи прямолінійного сепаратора залежить від форми катода, використовуваного в джерелі плазми. Розмір іонного струму на виході сепаратора складає 1,4 А - для стандартного катода і 1,7 А - для профілованого катода при струмі дуги 130 А. Швидкість росту однорідного по товщині титанового й алмазоподібного вуглецевого покриттів склала 4,8 і 3 мкм/годину, відповідно на діаметрі 18 см при використанні профілованого катода. Дані результати по величині іонного струму в чотири рази, а по діаметру рівнотовщинного покриття на порядок величини перевищують результати, отримані раніше для криволінійного сепаратора. The researches of the rectilinear filter of a vacuum arc carbon plasma were carried out. It was shown that the effectiveness of the rectilinear filter depends on the cathode shape used in a plasma source. The value of an ion current at the filter output makes 1,4 A - for the standard cathode and 1,7 A - for the profiled cathode at the arc current of 130 А. The growth rate of the uniform thickness titanium and diamond-like carbon coatings has made 4,8 and 3 mm/h, accordingly, on a diameter of 18 сm under using of the profile cathode. The given results on the ion current value in twice, and on a diameter of the uniform thickness coating on the order of value surpass results received earlier for curvilinear filter.
first_indexed 2025-12-07T16:06:17Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-78359
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1562-6016
language Russian
last_indexed 2025-12-07T16:06:17Z
publishDate 2001
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
record_format dspace
spelling Аксенов, И.И.
Белоус, В.А.
Васильев, В.В.
Волков, Ю.Я.
Стрельницкий, В.Е.
2015-03-13T21:45:41Z
2015-03-13T21:45:41Z
2001
Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги / И.И. Аксенов, В.А. Белоус, В.В. Васильев, Ю.Я. Волков, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2001. — № 2. — С. 127-130. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
1562-6016
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78359
533.9
Проведены исследования работы прямолинейного сепаратора углеродной плазмы вакуумной дуги. Показано, что эффективность работы прямолинейного сепаратора зависит от формы катода, используемого в источнике плазмы. Величина ионного тока на выходе сепаратора составляет 1,4 А - для стандартного катода и 1,7 А - для профилированного катода при токе дуги 130 А. Скорость роста однородного по толщине титанового и алмазоподобного углеродного покрытий составила 4,8 и 3 мкм/ч, соответственно, на диаметре 18 см при использовании профилированного катода. Данные результаты по величине ионного тока в четыре раза, а по диаметру равнотолщинного покрытия на порядок величины превосходят результаты, полученные ранее для криволинейного сепаратора.
Проведено дослідження роботи прямолінійного сепаратора вуглецевої плазми вакуумної дуги. Показано, що ефективність роботи прямолінійного сепаратора залежить від форми катода, використовуваного в джерелі плазми. Розмір іонного струму на виході сепаратора складає 1,4 А - для стандартного катода і 1,7 А - для профілованого катода при струмі дуги 130 А. Швидкість росту однорідного по товщині титанового й алмазоподібного вуглецевого покриттів склала 4,8 і 3 мкм/годину, відповідно на діаметрі 18 см при використанні профілованого катода. Дані результати по величині іонного струму в чотири рази, а по діаметру рівнотовщинного покриття на порядок величини перевищують результати, отримані раніше для криволінійного сепаратора.
The researches of the rectilinear filter of a vacuum arc carbon plasma were carried out. It was shown that the effectiveness of the rectilinear filter depends on the cathode shape used in a plasma source. The value of an ion current at the filter output makes 1,4 A - for the standard cathode and 1,7 A - for the profiled cathode at the arc current of 130 А. The growth rate of the uniform thickness titanium and diamond-like carbon coatings has made 4,8 and 3 mm/h, accordingly, on a diameter of 18 сm under using of the profile cathode. The given results on the ion current value in twice, and on a diameter of the uniform thickness coating on the order of value surpass results received earlier for curvilinear filter.
ru
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги
Article
published earlier
spellingShingle Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги
Аксенов, И.И.
Белоус, В.А.
Васильев, В.В.
Волков, Ю.Я.
Стрельницкий, В.Е.
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
title Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги
title_full Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги
title_fullStr Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги
title_full_unstemmed Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги
title_short Прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги
title_sort прямолинейный сепаратор углеродной плазмы вакуумной дуги
topic Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
topic_facet Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78359
work_keys_str_mv AT aksenovii prâmolineinyiseparatoruglerodnoiplazmyvakuumnoidugi
AT belousva prâmolineinyiseparatoruglerodnoiplazmyvakuumnoidugi
AT vasilʹevvv prâmolineinyiseparatoruglerodnoiplazmyvakuumnoidugi
AT volkovûâ prâmolineinyiseparatoruglerodnoiplazmyvakuumnoidugi
AT strelʹnickiive prâmolineinyiseparatoruglerodnoiplazmyvakuumnoidugi