Использование вторично-ионной эмиссии для изучения процессов формирования покрытий Cr-N на алюминии
Приведены результаты изучения покрытий системы CrN - алюминий, формируемых в условиях осаждения хрома с одновременным облучением ионами азота с энергией 30 кэВ при температуре 300°C. Показано, что при использовании определённых методических подходов метод вторично-ионной масс-спектрометрии может б...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2003 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2003
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78421 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Использование вторично-ионной эмиссии для изучения процессов формирования покрытий Cr-N на алюминии / В.Д. Вирич, А.Г. Гугля, В.А. Шкуропатенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 6. — С. 102-106. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-78421 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Вирич, В.Д. Гугля, А.Г. Шкуропатенко, В.А. 2015-03-16T20:00:32Z 2015-03-16T20:00:32Z 2003 Использование вторично-ионной эмиссии для изучения процессов формирования покрытий Cr-N на алюминии / В.Д. Вирич, А.Г. Гугля, В.А. Шкуропатенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 6. — С. 102-106. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78421 621.384.6:543.51 Приведены результаты изучения покрытий системы CrN - алюминий, формируемых в условиях осаждения хрома с одновременным облучением ионами азота с энергией 30 кэВ при температуре 300°C. Показано, что при использовании определённых методических подходов метод вторично-ионной масс-спектрометрии может быть с успехом применён для детального анализа распределения металлических и газообразных примесей внедрения в переходной зоне покрытие-подложка. Обнаружено, что ионная бомбардировка в процессе осаждения приводит к формированию широкой переходной зоны между подложкой и покрытием, свободной от газообразных примесей и щелочных металлов. В роботі наведені результати вивчення системи покриття Cr-N - алюміній, сформованого за умов осадження хрома с одночасним опроміненням іонами азота с енергією 30 кеВ при температурі 300°С. Показано, що при використанні певних методичних підходів метод вторинно-іонної мас-спектрометрії може бути з успіхом використан для детального аналізу розподілу металевих та газуватих домішок проникнення в перехідній зоні покриття-підкладка. Знайдено, що іонне бомбардування в процесі осадження призводить до формування широкої перехідної зони між підкладкою і покриттям, вільної від газуватих домішок та лужних металів. In activity the outcomes of analysis of a system coating Cr-N - aluminium, chromium, reshaped in mode of depositions, with simultaneous irradiation by nitrogen ions with energy 30 keV are adduced at temperature 300°С. It was shown, that at definite modification the method of the secondary - ion mass spectrometry can with success be applied for indepth study of distribution of metal and gaseous interstitial impurities in a transition zone a cover substrate. It is revealed, that the ionic bombardment during a deposition results in formation of a broad zone between a substrate and coating, free from gaseous impurity and alkaline metals. Работа выполнена при поддержке гранта НТЦУ №2050. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Использование вторично-ионной эмиссии для изучения процессов формирования покрытий Cr-N на алюминии Використовування вторинно-іонної емісії для вивчення процесів формування покриття Cr-N на Al Usage of the secondary - ion emission for analysis processes of formation of coatings Cr-N on Al Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Использование вторично-ионной эмиссии для изучения процессов формирования покрытий Cr-N на алюминии |
| spellingShingle |
Использование вторично-ионной эмиссии для изучения процессов формирования покрытий Cr-N на алюминии Вирич, В.Д. Гугля, А.Г. Шкуропатенко, В.А. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title_short |
Использование вторично-ионной эмиссии для изучения процессов формирования покрытий Cr-N на алюминии |
| title_full |
Использование вторично-ионной эмиссии для изучения процессов формирования покрытий Cr-N на алюминии |
| title_fullStr |
Использование вторично-ионной эмиссии для изучения процессов формирования покрытий Cr-N на алюминии |
| title_full_unstemmed |
Использование вторично-ионной эмиссии для изучения процессов формирования покрытий Cr-N на алюминии |
| title_sort |
использование вторично-ионной эмиссии для изучения процессов формирования покрытий cr-n на алюминии |
| author |
Вирич, В.Д. Гугля, А.Г. Шкуропатенко, В.А. |
| author_facet |
Вирич, В.Д. Гугля, А.Г. Шкуропатенко, В.А. |
| topic |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| publishDate |
2003 |
| language |
Russian |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Використовування вторинно-іонної емісії для вивчення процесів формування покриття Cr-N на Al Usage of the secondary - ion emission for analysis processes of formation of coatings Cr-N on Al |
| description |
Приведены результаты изучения покрытий системы CrN - алюминий, формируемых в условиях осаждения хрома с одновременным облучением ионами азота с энергией 30 кэВ при температуре 300°C. Показано, что при использовании
определённых методических подходов метод вторично-ионной масс-спектрометрии может быть с успехом применён
для детального анализа распределения металлических и газообразных примесей внедрения в переходной зоне покрытие-подложка. Обнаружено, что ионная бомбардировка в процессе осаждения приводит к формированию широкой переходной зоны между подложкой и покрытием, свободной от газообразных примесей и щелочных металлов.
В роботі наведені результати вивчення системи покриття Cr-N - алюміній, сформованого за умов осадження хрома с одночасним опроміненням іонами азота с енергією 30 кеВ при температурі 300°С. Показано, що при використанні певних методичних підходів метод вторинно-іонної мас-спектрометрії може бути
з успіхом використан для детального аналізу розподілу металевих та газуватих домішок проникнення в перехідній зоні покриття-підкладка. Знайдено, що іонне бомбардування в процесі осадження призводить до формування широкої перехідної зони між підкладкою і покриттям, вільної від газуватих домішок та лужних металів.
In activity the outcomes of analysis of a system coating Cr-N - aluminium, chromium, reshaped in mode of depositions, with simultaneous irradiation by nitrogen ions with energy 30 keV are adduced at temperature 300°С. It was shown, that at definite modification the method of the secondary - ion mass spectrometry can with success be
applied for indepth study of distribution of metal and gaseous interstitial impurities in a transition zone a cover substrate. It is revealed, that the ionic bombardment during a deposition results in formation of a broad zone between a substrate and coating, free from gaseous impurity and alkaline metals.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78421 |
| citation_txt |
Использование вторично-ионной эмиссии для изучения процессов формирования покрытий Cr-N на алюминии / В.Д. Вирич, А.Г. Гугля, В.А. Шкуропатенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 6. — С. 102-106. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT viričvd ispolʹzovanievtoričnoionnoiémissiidlâizučeniâprocessovformirovaniâpokrytiicrnnaalûminii AT guglâag ispolʹzovanievtoričnoionnoiémissiidlâizučeniâprocessovformirovaniâpokrytiicrnnaalûminii AT škuropatenkova ispolʹzovanievtoričnoionnoiémissiidlâizučeniâprocessovformirovaniâpokrytiicrnnaalûminii AT viričvd vikoristovuvannâvtorinnoíonnoíemísíídlâvivčennâprocesívformuvannâpokrittâcrnnaal AT guglâag vikoristovuvannâvtorinnoíonnoíemísíídlâvivčennâprocesívformuvannâpokrittâcrnnaal AT škuropatenkova vikoristovuvannâvtorinnoíonnoíemísíídlâvivčennâprocesívformuvannâpokrittâcrnnaal AT viričvd usageofthesecondaryionemissionforanalysisprocessesofformationofcoatingscrnonal AT guglâag usageofthesecondaryionemissionforanalysisprocessesofformationofcoatingscrnonal AT škuropatenkova usageofthesecondaryionemissionforanalysisprocessesofformationofcoatingscrnonal |
| first_indexed |
2025-12-07T15:34:53Z |
| last_indexed |
2025-12-07T15:34:53Z |
| _version_ |
1850864245414035456 |