Использование вторично-ионной эмиссии для изучения процессов формирования покрытий Cr-N на алюминии

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2003
• Main Authors: Вирич, В.Д., Гугля, А.Г., Шкуропатенко, В.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2003
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78421
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Использование вторично-ионной эмиссии для изучения процессов формирования покрытий Cr-N на алюминии / В.Д. Вирич, А.Г. Гугля, В.А. Шкуропатенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 6. — С. 102-106. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Приведены результаты изучения покрытий системы CrN - алюминий, формируемых в условиях осаждения хрома с одновременным облучением ионами азота с энергией 30 кэВ при температуре 300°C. Показано, что при использовании
 определённых методических подходов метод вторично-ионной масс-спектрометрии...