Generating of low energy intensive ion streams in conditions of low pressure

• Veröffentlicht in: Вопросы атомной науки и техники
• Datum: 2000
• Hauptverfasser: Zinoviev, D.V., Tseluyko, A.F., Chunadra, A.G., Yunakov, N.N.
• Format: Artikel
• Sprache: Englisch
• Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2000
• Schlagworte: Plasma dynamics and plasma-wall interaction
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78537
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Generating of low energy intensive ion streams in conditions of low pressure / D.V. Zinoviev, A.F. Tseluyko, A.G. Chunadra, N.N. Yunakov // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 6. — С. 103-105. — Бібліогр.: 3 назв. — англ.

In the work the method of forming of low energy ion streams near the sample surface with separating the generation area of plasma and the acceleration area of ion is offered. It allows to lower pressure in acceleration area essentially (0.01 Pa and below). The separating of the areas takes place at...