Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением

• Дата: 2008
• Автор: Соболь, О.В.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2008
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7856
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением / О.В. Соболь // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 20-36. — Бібліогр.: 48 назв. — рос.

Рассмотрен механизм формирования конденсата из ионно-плазменных потоков, который включает два основных процесса: приповерхностную имплантацию, сопровождающуюся перемешиванием, как результат действия высокоэнергетических осаждаемых частиц, и конденсацию низкоэнергетических частиц, при которой, в зависимости от температуры осаждения, проходится последовательность структурных состояний: аморфно-кластерное – кристаллическое β-мета-стабильной фазы – кристаллическое α-стабильной фазы. Розглянутий механізм формування конденсату з іонно-плазмових потоків, який включає два основних процеси: приповерхневу імплантацію, яка супроводжується атомним перемішуванням, як наслiдок дiї високоенергетичних часток, що осаджуються, та конденсацію низькоенергетичних частинок при якої у залежності від температури осадження має мiсце утворення структурних станів у послiдовностi: аморфно-кластерний – кристалічної β-метастабільної фазикристалічної α-стабільної фази. The mechanism of condensate formation from ionplasma fluxes was proposed which included two main processes: sub-surface implantation accompanied intermixing– for high-energy deposited particles, and low-energy particle condensation at which the consequence of structure states: amorphous-cluster – crystalline metastable β-phase – crystalline stable α-phase passes depending on the deposition temperature.