Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением
Рассмотрен механизм формирования конденсата из ионно-плазменных потоков, который включает два основных процесса: приповерхностную имплантацию, сопровождающуюся перемешиванием, как результат действия высокоэнергетических осаждаемых частиц, и конденсацию низкоэнергетических частиц, при которой, в зави...
Saved in:
| Date: | 2008 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2008
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7856 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением / О.В. Соболь // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 20-36. — Бібліогр.: 48 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862560420904042496 |
|---|---|
| author | Соболь, О.В. |
| author_facet | Соболь, О.В. |
| citation_txt | Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением / О.В. Соболь // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 20-36. — Бібліогр.: 48 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| description | Рассмотрен механизм формирования конденсата из ионно-плазменных потоков, который включает два основных процесса: приповерхностную имплантацию, сопровождающуюся перемешиванием, как результат действия высокоэнергетических осаждаемых частиц, и конденсацию низкоэнергетических частиц, при которой, в зависимости от температуры осаждения, проходится последовательность структурных состояний: аморфно-кластерное – кристаллическое β-мета-стабильной фазы – кристаллическое α-стабильной фазы.
Розглянутий механізм формування конденсату з іонно-плазмових потоків, який включає два основних процеси: приповерхневу імплантацію, яка супроводжується атомним перемішуванням, як наслiдок дiї високоенергетичних часток, що осаджуються, та конденсацію низькоенергетичних частинок при якої у залежності від температури осадження має мiсце утворення структурних станів у послiдовностi: аморфно-кластерний – кристалічної β-метастабільної фазикристалічної α-стабільної фази.
The mechanism of condensate formation from ionplasma fluxes was proposed which included two main processes: sub-surface implantation accompanied intermixing– for high-energy deposited particles, and low-energy particle condensation at which the consequence of structure states: amorphous-cluster – crystalline metastable β-phase – crystalline stable α-phase passes depending on the deposition temperature.
|
| first_indexed | 2025-11-25T23:07:21Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-7856 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-25T23:07:21Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Соболь, О.В. 2010-04-19T14:37:28Z 2010-04-19T14:37:28Z 2008 Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением / О.В. Соболь // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 20-36. — Бібліогр.: 48 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7856 538.91 :539.216.2: 539.219.3: 539.234 Рассмотрен механизм формирования конденсата из ионно-плазменных потоков, который включает два основных процесса: приповерхностную имплантацию, сопровождающуюся перемешиванием, как результат действия высокоэнергетических осаждаемых частиц, и конденсацию низкоэнергетических частиц, при которой, в зависимости от температуры осаждения, проходится последовательность структурных состояний: аморфно-кластерное – кристаллическое β-мета-стабильной фазы – кристаллическое α-стабильной фазы. Розглянутий механізм формування конденсату з іонно-плазмових потоків, який включає два основних процеси: приповерхневу імплантацію, яка супроводжується атомним перемішуванням, як наслiдок дiї високоенергетичних часток, що осаджуються, та конденсацію низькоенергетичних частинок при якої у залежності від температури осадження має мiсце утворення структурних станів у послiдовностi: аморфно-кластерний – кристалічної β-метастабільної фазикристалічної α-стабільної фази. The mechanism of condensate formation from ionplasma fluxes was proposed which included two main processes: sub-surface implantation accompanied intermixing– for high-energy deposited particles, and low-energy particle condensation at which the consequence of structure states: amorphous-cluster – crystalline metastable β-phase – crystalline stable α-phase passes depending on the deposition temperature. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением Механізм формування фазово-структурного стану конденсатів, одержаних іонним розпиленням Phase and structure formation mechanism of ion-sputtered condensates Article published earlier |
| spellingShingle | Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением Соболь, О.В. |
| title | Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением |
| title_alt | Механізм формування фазово-структурного стану конденсатів, одержаних іонним розпиленням Phase and structure formation mechanism of ion-sputtered condensates |
| title_full | Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением |
| title_fullStr | Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением |
| title_full_unstemmed | Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением |
| title_short | Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением |
| title_sort | механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7856 |
| work_keys_str_mv | AT sobolʹov mehanizmformirovaniâfazovostrukturnogosostoâniâkondensatovpolučennyhionnymraspyleniem AT sobolʹov mehanízmformuvannâfazovostrukturnogostanukondensatívoderžanihíonnimrozpilennâm AT sobolʹov phaseandstructureformationmechanismofionsputteredcondensates |