Рассеяние атомов на шероховатой поверхности

• Date: 2008
• Main Authors: Долгов, А.С., Гетман, А.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2008
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7865
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Рассеяние атомов на шероховатой поверхности / А.С. Долгов, А.А. Гетман // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 98-104. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Теоретически исследовано рассеяние атомов на субмикроскопических геометрических дефектах поверхности клиновидного профиля. В качестве базовой модели принята схема зеркального отражения от поверхности. Устанавливается качественное различие закономерностей отражения от поверхности в вариантах, когда дефект уподобляется «вмятине», либо “щели”. В рамках модели записаны точные формулы для распределения отраженных частиц по направлениям. Вводятся энергетические оценки развития процесса многократных соударений. Делаются прогнозы в отношении эволюции формы дефекта при продолжительном воздействии на поверхность. Указываются возможности управления этим процессом и использования потока отраженных от поверхности атомов как инструмента диагностики микрорельефа. Теоретично досліджено розсіяння атомів на субмікроскопічних геометричних дефектах поверхні клинуватого профілю. У ролі базової моделі прийнята схема дзеркального відбиття від поверхні. Установлюється якісна різниця закономірностей відбиття від поверхні у варіантах, коли дефект уподібнюється “вм’ятині”, або “щілині”. В рамках моделі записані точні формули для розподілу відбитих часток по напрямкам. Вводяться енергетичні оцінки розвинення процесу багаторазових співударянь. Робляться прогнози щодо еволюції форми дефекту при тривалому впливі на поверхню. Вказуються можливості керування цим процесом та використання потока відбитих атомів як інструменту діагностики мікрорельєфу поверхні. Atom dispersion on the submicroscopic geometrical wedge-shaped surface defects is theoretically investigated. Scheme of specular reflection from the surface is accepted as a base model. Qualitative differences of the surface reflection law with such types of defects as “dent” and “gap” are determinated. Accurate formulas for reflected particles direction distribution are written within the bounds of the model. Energy estimate of the multiple collision process is introduced. Defect form evolution prediction in the condition of continuous surface influence is made.