Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов
В работе представлена комплексная система мониторинга, управления и стабилизации процесса ионно-лучевого осаждения. Также описана процедура оптимизации параметров процесса получения наноразмерных нитридных и оксинитридных пленок и наногетероструктур на основе титана. В работе приведена схема техноло...
Gespeichert in:
| Datum: | 2008 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2008
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7866 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов / А.В. Деревянко, А.Н. Стервоедов, М.Ю. Силкин // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 114-120. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-7866 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Деревянко, А.В. Стервоедов, А.Н. Силкин, М.Ю. 2010-04-19T14:47:10Z 2010-04-19T14:47:10Z 2008 Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов / А.В. Деревянко, А.Н. Стервоедов, М.Ю. Силкин // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 114-120. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7866 539.23; 621.793.184 В работе представлена комплексная система мониторинга, управления и стабилизации процесса ионно-лучевого осаждения. Также описана процедура оптимизации параметров процесса получения наноразмерных нитридных и оксинитридных пленок и наногетероструктур на основе титана. В работе приведена схема технологической части установки ионно-лучевого осаждения функциональных пленок и синтеза наногетероструктур, для которой система разрабатывалась, описана структурная схема микропроцессорной системы управления, принципиальные схемы отдельных ее блоков, алгоритмы работы, а также результаты исследования полученных нитридных и оксинитридных пленок титана наноразмерной толщины. У даній роботі представлена розроблена комплексна система моніторингу, управління і стабілізації процесу іонно-променевого осадження, а також описана оптимізація параметрів здобуття нанорозмірних нітридних і оксинітридних плівок і наногетероструктур на основі титану. У роботі представлена схема технологічної частини установки іонно-променевого осадження функціональних плівок і синтезу наноструктур, для якої система розроблялася, структурна схема розробленої мікропроцесорної системи, принципові схеми окремих її блоків, алгоритми роботи, а також результати отриманих нітридних і оксинітиідних плівок титану нанорозмірної товщини. The integrated system developed for the ion-beam deposition process monitoring, control and stabilizing is presented in this work. Also nitride and oxynitride nanoscale titanium films and structures parameters obtaining optimization method is described. The scheme of the functional films and synthesis of nanoscale structures ion-beam deposition plant, which the system was developed for, flow diagram of the developed microsystem, schemes of its separate blocks, algorithms of work, and also results of obtaining nitride and oxynitride nano-sized titanium films are presented. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов Стабілізація процесу іонно-променевого осадження нанорозмірних плівок нітридів та оксинітридів металів Ion-beam deposition of ultrathin metall nitride and oxynitride films process stabilization Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов |
| spellingShingle |
Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов Деревянко, А.В. Стервоедов, А.Н. Силкин, М.Ю. |
| title_short |
Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов |
| title_full |
Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов |
| title_fullStr |
Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов |
| title_full_unstemmed |
Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов |
| title_sort |
стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов |
| author |
Деревянко, А.В. Стервоедов, А.Н. Силкин, М.Ю. |
| author_facet |
Деревянко, А.В. Стервоедов, А.Н. Силкин, М.Ю. |
| publishDate |
2008 |
| language |
Russian |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Стабілізація процесу іонно-променевого осадження нанорозмірних плівок нітридів та оксинітридів металів Ion-beam deposition of ultrathin metall nitride and oxynitride films process stabilization |
| description |
В работе представлена комплексная система мониторинга, управления и стабилизации процесса ионно-лучевого осаждения. Также описана процедура оптимизации параметров процесса получения наноразмерных нитридных и оксинитридных пленок и наногетероструктур на основе титана. В работе приведена схема технологической части установки ионно-лучевого осаждения функциональных пленок и синтеза наногетероструктур, для которой система разрабатывалась, описана структурная схема микропроцессорной системы управления, принципиальные схемы отдельных ее блоков, алгоритмы работы, а также результаты исследования полученных нитридных и оксинитридных пленок титана наноразмерной толщины.
У даній роботі представлена розроблена комплексна система моніторингу, управління і стабілізації процесу іонно-променевого осадження, а також описана оптимізація параметрів здобуття нанорозмірних нітридних і оксинітридних плівок і наногетероструктур на основі титану. У роботі представлена схема технологічної частини установки іонно-променевого осадження функціональних плівок і синтезу наноструктур, для якої система розроблялася, структурна схема розробленої мікропроцесорної системи, принципові схеми окремих її блоків, алгоритми роботи, а також результати отриманих нітридних і оксинітиідних плівок титану нанорозмірної товщини.
The integrated system developed for the ion-beam deposition process monitoring, control and stabilizing is presented in this work. Also nitride and oxynitride nanoscale titanium films and structures parameters obtaining optimization method is described. The scheme of the functional films and synthesis of nanoscale structures ion-beam deposition plant, which the system was developed for, flow diagram of the developed microsystem, schemes of its separate blocks, algorithms of work, and also results of obtaining nitride and oxynitride nano-sized titanium films are presented.
|
| issn |
1999-8074 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7866 |
| citation_txt |
Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов / А.В. Деревянко, А.Н. Стервоедов, М.Ю. Силкин // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 114-120. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT derevânkoav stabilizaciâprocessaionnolučevogoosaždeniânanorazmernyhplenoknitridovioksinitridovmetallov AT stervoedovan stabilizaciâprocessaionnolučevogoosaždeniânanorazmernyhplenoknitridovioksinitridovmetallov AT silkinmû stabilizaciâprocessaionnolučevogoosaždeniânanorazmernyhplenoknitridovioksinitridovmetallov AT derevânkoav stabílízacíâprocesuíonnopromenevogoosadžennânanorozmírnihplívoknítridívtaoksinítridívmetalív AT stervoedovan stabílízacíâprocesuíonnopromenevogoosadžennânanorozmírnihplívoknítridívtaoksinítridívmetalív AT silkinmû stabílízacíâprocesuíonnopromenevogoosadžennânanorozmírnihplívoknítridívtaoksinítridívmetalív AT derevânkoav ionbeamdepositionofultrathinmetallnitrideandoxynitridefilmsprocessstabilization AT stervoedovan ionbeamdepositionofultrathinmetallnitrideandoxynitridefilmsprocessstabilization AT silkinmû ionbeamdepositionofultrathinmetallnitrideandoxynitridefilmsprocessstabilization |
| first_indexed |
2025-12-07T18:07:09Z |
| last_indexed |
2025-12-07T18:07:09Z |
| _version_ |
1850873824431570944 |