Cover Image

Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов

В работе представлена комплексная система мониторинга, управления и стабилизации процесса ионно-лучевого осаждения. Также описана процедура оптимизации параметров процесса получения наноразмерных нитридных и оксинитридных пленок и наногетероструктур на основе титана. В работе приведена схема техноло...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2008
Main Authors: Деревянко, А.В., Стервоедов, А.Н., Силкин, М.Ю.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2008
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7866
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов / А.В. Деревянко, А.Н. Стервоедов, М.Ю. Силкин // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 114-120. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Similar Items