Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов

• Date: 2008
• Main Authors: Деревянко, А.В., Стервоедов, А.Н., Силкин, М.Ю.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2008
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7866
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов / А.В. Деревянко, А.Н. Стервоедов, М.Ю. Силкин // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 114-120. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

В работе представлена комплексная система мониторинга, управления и стабилизации процесса ионно-лучевого осаждения. Также описана процедура оптимизации параметров процесса получения наноразмерных нитридных и оксинитридных пленок и наногетероструктур на основе титана. В работе приведена схема техноло...