Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ

• Date: 2008
• Main Authors: Шулаев, В.М., Андреев, А.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2008
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7868
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ / В.М. Шулаев, А.А. Андреев // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 4-19. — Бібліогр.: 32 назв. — рос.

ННЦ ХФТИ сохраняет традиции лидерства в разработке вакуумно-дуговых технологий и оборудования. Разработаны и успешно используются планарные испарители, обеспечивающие высокую производительность и равномерность покрытий на больших поверхностях, создан двухступенчатый вакуумно-дуговой разряд, на базе...