Зображення обкладинки

Вакуумно-дуговое осаждение наноструктурных Ti-Si-N покрытий из многокомпонентной плазмы

Представлены результаты экспериментов по синтезу Ti-Si-N покрытий при их осаждении из многокомпонентной плазмы вакуумно-дугового разряда на подложки из нержавеющей стали и медной фольги. Полученные наноструктурные Ti-Si-N покрытия являются метастабильными пересыщенными твердыми растворами кремния в...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2008
Автори:	Шулаев, В.М., Андреев, А.А., Столбовой, В.А., Прибытков, Г.А., Гурских, А.В., Коростелева, Е.Н., Коржова, В.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2008
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7871
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Вакуумно-дуговое осаждение наноструктурных Ti-Si-N покрытий из многокомпонентной плазмы / В.М. Шулаев, А.А. Андреев, В.А. Столбовой, Г.А. Прибытков, А.В. Гурских, Е.Н. Коростелева, В.В. Коржова // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 105-113. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Вакуумно-дуговое модифицирование поверхности стальных изделий
за авторством: Андреев, А.А.
Опубліковано: (2007)

Вакуумно-дуговое оборудование и технологии покрытий в ХФТИ
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2016)

Сопоставление характеристик вакуумно-дуговых наноструктурных TiN покрытий, осаждаемых при подаче на подложку высоковольтных импульсов
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2007)

Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена
за авторством: Столбовой, В.А.
Опубліковано: (2009)

Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Структура и свойства нитридных покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы с использованием порошкового катода Cr₀,₅Al₀,₅
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий
за авторством: Решетняк, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2008)

Плазменно-дуговое напыление износостойких покрытий из композиционных материалов
за авторством: Мурашов, А.П., та інші
Опубліковано: (2003)

Эрозия вакуумно-дуговых TiN покрытий и нержавеющей стали при воздействии стационарной плазмы разрядов магнетронного типа
за авторством: Глазунов, Г.П., та інші
Опубліковано: (2011)

Получение вакуумно-дуговых высокотвердых Mo-N покрытий
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)

О влиянии атомарного азота на процесс синтеза вакуумно-дуговых покрытий Mо-N
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2007)

Низкотемпературное магнетронное осаждение наноструктурных пленок Ni–C: синтез, структура и магнитные свойства
за авторством: Прудников, А.М., та інші
Опубліковано: (2015)

Двухкатодный источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2008)

Осаждение тонкопленочных покрытий с использованием источника кластерного пучка
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Модернизация вакуумно-дуговых установок для синтеза покрытий и азотирования методом ионной имплантации и осаждения
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2006)

Высокоразрешающая просвечивающая и сканирующая электронная микроскопия наноструктурных покрытий нестехиометрического кубического нитрида титана
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2011)

Ионная циклотронная неустойчивость сдвигового течения многокомпонентной плазмы вдоль магнитного поля
за авторством: Чибисов, Д.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Влияние способа нанесения вакуумно-дуговых TiN покрытий на их газовыделение в вакууме при высоких температурах
за авторством: Глазунов, Г.П., та інші
Опубліковано: (2009)

Влияние расположения подложки относительно потока фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы на структуру и свойства покрытий TіN
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2017)

Регулировка состава Ti-Al-N покрытий, осаждаемых с применением двухканального вакуумно дугового источника фильтрованной плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2010)

Структура и твердость Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Физико-механические свойства Ti-Al-N-покрытий, осаждаемых из смешанного двухкомпонентного потока вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2011)

Магнитоуправляемый вакуумно-дуговой источник плазмы
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2009)

Исследование фазового состава, структуры и свойств многослойных вакуумно-дуговых нанокристаллических покрытий Ti-Mo-N
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Особенности морфологии поверхностей покрытий, наносимых из фильтрованной вакуумно-дуговой катодной плазмы на ферромагнитные подложки
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2012)

Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем
за авторством: Пашнев, В.К, та інші
Опубліковано: (2003)

Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния TIN покрытий, осажденных из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы в газовой смеси N₂ и Ar
за авторством: Васильев, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Транспортировка вакуумно-дуговой плазмы в неоднородном магнитном поле
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2005)

Формирование вакуумно-дуговых нитридных покрытий на основе молибдена, содержащих серу
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2003)

Осаждение из газовой фазы оксидных и металлооксидных покрытий на топливные частицы
за авторством: Патокин, А.П., та інші
Опубліковано: (2008)

Катоды из ферромагнетиков в вакуумно-дуговых источниках плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2009)

Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
за авторством: Соболь, О.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Подготовка поверхности подложек перед нанесением вакуумно-дуговых покрытий бомбардировкой ионами титана и циркония
за авторством: Столбовой, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Об эффективности вакуумно-дуговых источников сепарированной плазмы
за авторством: Аксенов, И.И., та інші
Опубліковано: (2001)

Твердые покрытия Ti-Al-N, осажденные из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы
за авторством: Белоус, В.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Влияние давления азота при осаждении сверхтвердых TiN покрытий на их свойства
за авторством: Андреев, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)

Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий
за авторством: Аксёнов, И.И., та інші
Опубліковано: (2008)

Фазообразование в нанокристаллических покрытиях состава Mo₂N, полученных вакуумно–дуговым осаждением молибдена в присутствии азота
за авторством: Шулаев, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)

Подавление эмиссии макрочастиц в вакуумно-дуговых источниках плазмы
за авторством: Аксёнов, Д.С., та інші
Опубліковано: (2007)