Особенности структуры и свойств твердых Ti-Al-N и сверхтвердых Ti-Si-N нанокомпозитных покрытий, осажденных PVD в ВЧ разряде
Впервые с помощью различных методов (Резерфордовского обратного рассеяния ионов (RBS), сканирующей туннельной микроскопии (STM), растровой электронной микроскопии с микроанализом (SEM c EDS), дифракции рентгеновских лучей (XRD) включая скользящий пучок, измерения нанотвердости (Н), модуля упругости...
Збережено в:
| Дата: | 2008 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2008
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7879 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Особенности структуры и свойств твердых Ti-Al-N и сверхтвердых Ti-Si-N нанокомпозитных покрытий, осажденных PVD в ВЧ разряде / А.Д. Погребняк, В.М. Береснев, М.В. Ильяшенко, С.И. Проценко, С.Н. Дуб, П.В. Турбин, Г.В. Кирик, А.П. Шипиленко, М.К. Кылышканов, В.И. Грищенко // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 3-4. — С. 221-227. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-7879 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Погребняк, А.Д. Береснев, В.М. Ильяшенко, М.В. Проценко, С.И. Дуб, С.Н. Турбин, П.В. Кирик, Г.В. Шипиленко, А.П. Кылышканов, М.К. Грищенко, В.И. 2010-04-20T12:53:37Z 2010-04-20T12:53:37Z 2008 Особенности структуры и свойств твердых Ti-Al-N и сверхтвердых Ti-Si-N нанокомпозитных покрытий, осажденных PVD в ВЧ разряде / А.Д. Погребняк, В.М. Береснев, М.В. Ильяшенко, С.И. Проценко, С.Н. Дуб, П.В. Турбин, Г.В. Кирик, А.П. Шипиленко, М.К. Кылышканов, В.И. Грищенко // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 3-4. — С. 221-227. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7879 620.178.1: 539.533 Впервые с помощью различных методов (Резерфордовского обратного рассеяния ионов (RBS), сканирующей туннельной микроскопии (STM), растровой электронной микроскопии с микроанализом (SEM c EDS), дифракции рентгеновских лучей (XRD) включая скользящий пучок, измерения нанотвердости (Н), модуля упругости (Е)) проведены исследования нанокомпозитных покрытий на основе Ti-Al-N и Ti-Si-N, конденсированные в вакууме, ионноплазменным осаждением с ВЧ разрядом. Обнаружено то, что модуль упругости Е уменьшается от 420 ГПа до 323 ГПа при увеличении глубины вдавливания наноиндентора, а твердость Н изменяется с увеличением через максимум от 32,3 до 38,3 ГПа с последующим понижением до 30,3 ГПа, в случае твердого покрытия Ti-Al-N. В тоже время, зависимость твердости от нагрузки сверхтвердого покрытия Ti-Si-N уменьшается до 38,4 ГПа с увеличением глубины проникновения индентора, при уменьшении среднего значения модуля упругости от 447,5 до 363±17 ГПа. Строение нанокомпозитных твердых и сверхтвердых покрытий имеет свои особенности и зависит от состояния подложки, условий конденсации, состава фаз и размера их зерен. За допомогою різних методів (Резерфордівського зворотного розсіяння іонів (RBS), скануючої тунельної мікроскопії (STM), растрової електронної мікроскопії з мікроаналізом (SEM з EDS), дифракцію рентгенівських променів (XRD) включаючи ковзаючий пучок, вимірювання нанотвердості (Н), модуля пружності (Е)) досліджені нанокомпозитні покриття на основі Ti-Al-N і Ti-Si-N конденсовані у вакуумі, іонно-плазмовим осадженням з ВЧ розрядом. Виявлено, що модуль пружності Е зменшується від 420 ГПа до 323 ГПа при збільшенні глибини втискування наноіндентора, а твердість Н змінюється із збільшенням через максимум від 32,3 до 38,3 ГПа з подальшим пониженням до 30,3 ГПа, у разі твердого покриття Ti-Al-N. Разом з тим, залежність твердості від навантаження надтвердого покриття Ti-Si-N зменшується до 38,4 ГПа зі збільшенням глибини проникнення індентора, при зменшенні середнього значення модуля пружності від 447,5 до 363 ± 17 ГПа. Будова нанокомпозитних твердих і надтвердих покриттів має свої особливості і залежить від стану підкладки, умов конденсації, складу фаз та їх розміру зерен. For the first time, using the Rutherford Back-Scattering of Ions (RBS), scanning tunneling microscopy (STM), scanning electron microscopy with microanalysis (SEM with EDS), a diffraction of X-rays (XRD) including a sliding beam techniques, measurements of nanohardness (H), an elastic modulus (E) and values of elastic recreation (We), material resistance to a plastic deformation and a plasticity index, nanocomposite coatings on Ti-Al-N and Ti-Si-N basis, which were condensed in a vacuum using an ion-plasma deposition with the HF discharge were investigated. We found that the elastic modulus E decreased from 420 GPa to 323 with increasing indentation depth, the hardness H changed from 32.3 to 38.3 GPa first growing through its maximum and subsequently decreasing to 30.3 GPa for a hard coating Ti-Al-N. At the same time, hardness dependence on a load for a superhard Ti-Si-N coating decreased to 38.4 with increasing indentation depth under decreasing average value of the elastic modulus from 447.5 to 363 ± 17 GPa. A construction of nanocomposite hard and superhard coatings has its features and depends on a state of a substrate, conditions of a condensation, phase composition and grain dimensions. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Особенности структуры и свойств твердых Ti-Al-N и сверхтвердых Ti-Si-N нанокомпозитных покрытий, осажденных PVD в ВЧ разряде Особливості структури і властивостей твердих Ti-Al-N і надтвердих Ti-Si-N нанокомпозитних покриттів, осаджених PVD у ВЧ розряді Structure features and properties of hard Ti-Al-N and superhard Ti-Si-N nanocomposite coatings deposited using PVD In HF discharge Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Особенности структуры и свойств твердых Ti-Al-N и сверхтвердых Ti-Si-N нанокомпозитных покрытий, осажденных PVD в ВЧ разряде |
| spellingShingle |
Особенности структуры и свойств твердых Ti-Al-N и сверхтвердых Ti-Si-N нанокомпозитных покрытий, осажденных PVD в ВЧ разряде Погребняк, А.Д. Береснев, В.М. Ильяшенко, М.В. Проценко, С.И. Дуб, С.Н. Турбин, П.В. Кирик, Г.В. Шипиленко, А.П. Кылышканов, М.К. Грищенко, В.И. |
| title_short |
Особенности структуры и свойств твердых Ti-Al-N и сверхтвердых Ti-Si-N нанокомпозитных покрытий, осажденных PVD в ВЧ разряде |
| title_full |
Особенности структуры и свойств твердых Ti-Al-N и сверхтвердых Ti-Si-N нанокомпозитных покрытий, осажденных PVD в ВЧ разряде |
| title_fullStr |
Особенности структуры и свойств твердых Ti-Al-N и сверхтвердых Ti-Si-N нанокомпозитных покрытий, осажденных PVD в ВЧ разряде |
| title_full_unstemmed |
Особенности структуры и свойств твердых Ti-Al-N и сверхтвердых Ti-Si-N нанокомпозитных покрытий, осажденных PVD в ВЧ разряде |
| title_sort |
особенности структуры и свойств твердых ti-al-n и сверхтвердых ti-si-n нанокомпозитных покрытий, осажденных pvd в вч разряде |
| author |
Погребняк, А.Д. Береснев, В.М. Ильяшенко, М.В. Проценко, С.И. Дуб, С.Н. Турбин, П.В. Кирик, Г.В. Шипиленко, А.П. Кылышканов, М.К. Грищенко, В.И. |
| author_facet |
Погребняк, А.Д. Береснев, В.М. Ильяшенко, М.В. Проценко, С.И. Дуб, С.Н. Турбин, П.В. Кирик, Г.В. Шипиленко, А.П. Кылышканов, М.К. Грищенко, В.И. |
| publishDate |
2008 |
| language |
Russian |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Особливості структури і властивостей твердих Ti-Al-N і надтвердих Ti-Si-N нанокомпозитних покриттів, осаджених PVD у ВЧ розряді Structure features and properties of hard Ti-Al-N and superhard Ti-Si-N nanocomposite coatings deposited using PVD In HF discharge |
| description |
Впервые с помощью различных методов (Резерфордовского обратного рассеяния ионов (RBS), сканирующей туннельной микроскопии (STM), растровой электронной микроскопии с микроанализом (SEM c EDS), дифракции рентгеновских лучей (XRD) включая скользящий пучок, измерения нанотвердости (Н), модуля упругости (Е)) проведены исследования нанокомпозитных покрытий на основе Ti-Al-N и Ti-Si-N, конденсированные в вакууме, ионноплазменным осаждением с ВЧ разрядом. Обнаружено то, что модуль упругости Е уменьшается от 420 ГПа до 323 ГПа при увеличении глубины вдавливания наноиндентора, а твердость Н изменяется с увеличением через максимум от 32,3 до 38,3 ГПа с последующим понижением до 30,3 ГПа, в случае твердого покрытия Ti-Al-N. В тоже время, зависимость твердости от нагрузки сверхтвердого покрытия Ti-Si-N уменьшается до 38,4 ГПа с увеличением глубины проникновения индентора, при уменьшении среднего значения модуля упругости от 447,5 до 363±17 ГПа. Строение нанокомпозитных твердых и сверхтвердых покрытий имеет свои особенности и зависит от состояния подложки, условий конденсации, состава фаз и размера их зерен.
За допомогою різних методів (Резерфордівського зворотного розсіяння іонів (RBS), скануючої тунельної мікроскопії (STM), растрової електронної мікроскопії з мікроаналізом (SEM з EDS), дифракцію рентгенівських променів (XRD) включаючи ковзаючий пучок, вимірювання нанотвердості (Н), модуля пружності (Е)) досліджені нанокомпозитні покриття на основі Ti-Al-N і Ti-Si-N конденсовані у вакуумі, іонно-плазмовим осадженням з ВЧ розрядом. Виявлено, що модуль пружності Е зменшується від 420 ГПа до 323 ГПа при збільшенні глибини втискування наноіндентора, а твердість Н змінюється із збільшенням через максимум від 32,3 до 38,3 ГПа з подальшим пониженням до 30,3 ГПа, у разі твердого покриття Ti-Al-N. Разом з тим, залежність твердості від навантаження надтвердого покриття Ti-Si-N зменшується до 38,4 ГПа зі збільшенням глибини проникнення індентора, при зменшенні середнього значення модуля пружності від 447,5 до 363 ± 17 ГПа. Будова нанокомпозитних твердих і надтвердих покриттів має свої особливості і залежить від стану підкладки, умов конденсації, складу фаз та їх розміру зерен.
For the first time, using the Rutherford Back-Scattering of Ions (RBS), scanning tunneling microscopy (STM), scanning electron microscopy with microanalysis (SEM with EDS), a diffraction of X-rays (XRD) including a sliding beam techniques, measurements of nanohardness (H), an elastic modulus (E) and values of elastic recreation (We), material resistance to a plastic deformation and a plasticity index, nanocomposite coatings on Ti-Al-N and Ti-Si-N basis, which were condensed in a vacuum using an ion-plasma deposition with the HF discharge were investigated. We found that the elastic modulus E decreased from 420 GPa to 323 with increasing indentation depth, the hardness H changed from 32.3 to 38.3 GPa first growing through its maximum and subsequently decreasing to 30.3 GPa for a hard coating Ti-Al-N. At the same time, hardness dependence on a load for a superhard Ti-Si-N coating decreased to 38.4 with increasing indentation depth under decreasing average value of the elastic modulus from 447.5 to 363 ± 17 GPa. A construction of nanocomposite hard and superhard coatings has its features and depends on a state of a substrate, conditions of a condensation, phase composition and grain dimensions.
|
| issn |
1999-8074 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7879 |
| citation_txt |
Особенности структуры и свойств твердых Ti-Al-N и сверхтвердых Ti-Si-N нанокомпозитных покрытий, осажденных PVD в ВЧ разряде / А.Д. Погребняк, В.М. Береснев, М.В. Ильяшенко, С.И. Проценко, С.Н. Дуб, П.В. Турбин, Г.В. Кирик, А.П. Шипиленко, М.К. Кылышканов, В.И. Грищенко // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 3-4. — С. 221-227. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT pogrebnâkad osobennostistrukturyisvoistvtverdyhtialnisverhtverdyhtisinnanokompozitnyhpokrytiiosaždennyhpvdvvčrazrâde AT beresnevvm osobennostistrukturyisvoistvtverdyhtialnisverhtverdyhtisinnanokompozitnyhpokrytiiosaždennyhpvdvvčrazrâde AT ilʹâšenkomv osobennostistrukturyisvoistvtverdyhtialnisverhtverdyhtisinnanokompozitnyhpokrytiiosaždennyhpvdvvčrazrâde AT procenkosi osobennostistrukturyisvoistvtverdyhtialnisverhtverdyhtisinnanokompozitnyhpokrytiiosaždennyhpvdvvčrazrâde AT dubsn osobennostistrukturyisvoistvtverdyhtialnisverhtverdyhtisinnanokompozitnyhpokrytiiosaždennyhpvdvvčrazrâde AT turbinpv osobennostistrukturyisvoistvtverdyhtialnisverhtverdyhtisinnanokompozitnyhpokrytiiosaždennyhpvdvvčrazrâde AT kirikgv osobennostistrukturyisvoistvtverdyhtialnisverhtverdyhtisinnanokompozitnyhpokrytiiosaždennyhpvdvvčrazrâde AT šipilenkoap osobennostistrukturyisvoistvtverdyhtialnisverhtverdyhtisinnanokompozitnyhpokrytiiosaždennyhpvdvvčrazrâde AT kylyškanovmk osobennostistrukturyisvoistvtverdyhtialnisverhtverdyhtisinnanokompozitnyhpokrytiiosaždennyhpvdvvčrazrâde AT griŝenkovi osobennostistrukturyisvoistvtverdyhtialnisverhtverdyhtisinnanokompozitnyhpokrytiiosaždennyhpvdvvčrazrâde AT pogrebnâkad osoblivostístrukturiívlastivosteitverdihtialnínadtverdihtisinnanokompozitnihpokrittívosadženihpvduvčrozrâdí AT beresnevvm osoblivostístrukturiívlastivosteitverdihtialnínadtverdihtisinnanokompozitnihpokrittívosadženihpvduvčrozrâdí AT ilʹâšenkomv osoblivostístrukturiívlastivosteitverdihtialnínadtverdihtisinnanokompozitnihpokrittívosadženihpvduvčrozrâdí AT procenkosi osoblivostístrukturiívlastivosteitverdihtialnínadtverdihtisinnanokompozitnihpokrittívosadženihpvduvčrozrâdí AT dubsn osoblivostístrukturiívlastivosteitverdihtialnínadtverdihtisinnanokompozitnihpokrittívosadženihpvduvčrozrâdí AT turbinpv osoblivostístrukturiívlastivosteitverdihtialnínadtverdihtisinnanokompozitnihpokrittívosadženihpvduvčrozrâdí AT kirikgv osoblivostístrukturiívlastivosteitverdihtialnínadtverdihtisinnanokompozitnihpokrittívosadženihpvduvčrozrâdí AT šipilenkoap osoblivostístrukturiívlastivosteitverdihtialnínadtverdihtisinnanokompozitnihpokrittívosadženihpvduvčrozrâdí AT kylyškanovmk osoblivostístrukturiívlastivosteitverdihtialnínadtverdihtisinnanokompozitnihpokrittívosadženihpvduvčrozrâdí AT griŝenkovi osoblivostístrukturiívlastivosteitverdihtialnínadtverdihtisinnanokompozitnihpokrittívosadženihpvduvčrozrâdí AT pogrebnâkad structurefeaturesandpropertiesofhardtialnandsuperhardtisinnanocompositecoatingsdepositedusingpvdinhfdischarge AT beresnevvm structurefeaturesandpropertiesofhardtialnandsuperhardtisinnanocompositecoatingsdepositedusingpvdinhfdischarge AT ilʹâšenkomv structurefeaturesandpropertiesofhardtialnandsuperhardtisinnanocompositecoatingsdepositedusingpvdinhfdischarge AT procenkosi structurefeaturesandpropertiesofhardtialnandsuperhardtisinnanocompositecoatingsdepositedusingpvdinhfdischarge AT dubsn structurefeaturesandpropertiesofhardtialnandsuperhardtisinnanocompositecoatingsdepositedusingpvdinhfdischarge AT turbinpv structurefeaturesandpropertiesofhardtialnandsuperhardtisinnanocompositecoatingsdepositedusingpvdinhfdischarge AT kirikgv structurefeaturesandpropertiesofhardtialnandsuperhardtisinnanocompositecoatingsdepositedusingpvdinhfdischarge AT šipilenkoap structurefeaturesandpropertiesofhardtialnandsuperhardtisinnanocompositecoatingsdepositedusingpvdinhfdischarge AT kylyškanovmk structurefeaturesandpropertiesofhardtialnandsuperhardtisinnanocompositecoatingsdepositedusingpvdinhfdischarge AT griŝenkovi structurefeaturesandpropertiesofhardtialnandsuperhardtisinnanocompositecoatingsdepositedusingpvdinhfdischarge |
| first_indexed |
2025-12-07T15:59:57Z |
| last_indexed |
2025-12-07T15:59:57Z |
| _version_ |
1850865822346510336 |