Формообразование металлического осадка в процессе лазерного пиролитического осаждения из газовой фазы на диэлектрическую положку

Предложена математическая модель, учитывающая радиационный и конвективный теплообмен с поверхностью вещества в условиях лазерно-индуцированного осаждения тугоплавких металлов из газовой фазы на диэлектрическую подложку. Получены распределения температурного поля в осажденном веществе и скорости осаж...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2008
Main Authors: Величко, Е.В., Недоля, А.В., Титов, И.Н.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2008
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7884
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Формообразование металлического осадка в процессе лазерного пиролитического осаждения из газовой фазы на диэлектрическую положку / Е.В. Величко, А.В. Недоля, И.Н.Титов // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 3-4. — С. 189-192. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-7884
record_format dspace
spelling Величко, Е.В.
Недоля, А.В.
Титов, И.Н.
2010-04-20T12:55:25Z
2010-04-20T12:55:25Z
2008
Формообразование металлического осадка в процессе лазерного пиролитического осаждения из газовой фазы на диэлектрическую положку / Е.В. Величко, А.В. Недоля, И.Н.Титов // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 3-4. — С. 189-192. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7884
Предложена математическая модель, учитывающая радиационный и конвективный теплообмен с поверхностью вещества в условиях лазерно-индуцированного осаждения тугоплавких металлов из газовой фазы на диэлектрическую подложку. Получены распределения температурного поля в осажденном веществе и скорости осаждения вещества в момент соприкосновения металлических частиц со свободной поверхностью. Предложено объяснение механизма формирования сложной формы поверхности осадка.
Запропонована математична модель, яка враховує радіаційний та конвективний теплообмін з поверхнею речовини в умовах лазерно-індукованого осадження тугоплавких металів із газової фази на діелектричну підкладку. Отримані розподіли температурного поля у осадженій речовині та швидкості осадження речовини у момент стикання металевих часток з вільною поверхнею. Запропоновано пояснення механізму формування складної форми поверхні осаду.
The mathematical model, considering radiation and convention heat exchange from surface of matter during laser-induced vapour deposition of refractory metals on dielectric substrate is offered. The distributions of the temperature field in the deposition matter and rate of besieging of matter in the moment of contact of metallic particles with free surface is found. The explanation of forming process of the compound form of sediment is proposed.
ru
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Формообразование металлического осадка в процессе лазерного пиролитического осаждения из газовой фазы на диэлектрическую положку
Формоутворення металевого осаду під час лазерного піролітичного осаждення із газової фази на діелектричну підкладку
The shape forming process of metallic sediment during laser pyrolytic deposition from gas phase on the dielectric substrate
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Формообразование металлического осадка в процессе лазерного пиролитического осаждения из газовой фазы на диэлектрическую положку
spellingShingle Формообразование металлического осадка в процессе лазерного пиролитического осаждения из газовой фазы на диэлектрическую положку
Величко, Е.В.
Недоля, А.В.
Титов, И.Н.
title_short Формообразование металлического осадка в процессе лазерного пиролитического осаждения из газовой фазы на диэлектрическую положку
title_full Формообразование металлического осадка в процессе лазерного пиролитического осаждения из газовой фазы на диэлектрическую положку
title_fullStr Формообразование металлического осадка в процессе лазерного пиролитического осаждения из газовой фазы на диэлектрическую положку
title_full_unstemmed Формообразование металлического осадка в процессе лазерного пиролитического осаждения из газовой фазы на диэлектрическую положку
title_sort формообразование металлического осадка в процессе лазерного пиролитического осаждения из газовой фазы на диэлектрическую положку
author Величко, Е.В.
Недоля, А.В.
Титов, И.Н.
author_facet Величко, Е.В.
Недоля, А.В.
Титов, И.Н.
publishDate 2008
language Russian
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
format Article
title_alt Формоутворення металевого осаду під час лазерного піролітичного осаждення із газової фази на діелектричну підкладку
The shape forming process of metallic sediment during laser pyrolytic deposition from gas phase on the dielectric substrate
description Предложена математическая модель, учитывающая радиационный и конвективный теплообмен с поверхностью вещества в условиях лазерно-индуцированного осаждения тугоплавких металлов из газовой фазы на диэлектрическую подложку. Получены распределения температурного поля в осажденном веществе и скорости осаждения вещества в момент соприкосновения металлических частиц со свободной поверхностью. Предложено объяснение механизма формирования сложной формы поверхности осадка. Запропонована математична модель, яка враховує радіаційний та конвективний теплообмін з поверхнею речовини в умовах лазерно-індукованого осадження тугоплавких металів із газової фази на діелектричну підкладку. Отримані розподіли температурного поля у осадженій речовині та швидкості осадження речовини у момент стикання металевих часток з вільною поверхнею. Запропоновано пояснення механізму формування складної форми поверхні осаду. The mathematical model, considering radiation and convention heat exchange from surface of matter during laser-induced vapour deposition of refractory metals on dielectric substrate is offered. The distributions of the temperature field in the deposition matter and rate of besieging of matter in the moment of contact of metallic particles with free surface is found. The explanation of forming process of the compound form of sediment is proposed.
issn 1999-8074
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7884
citation_txt Формообразование металлического осадка в процессе лазерного пиролитического осаждения из газовой фазы на диэлектрическую положку / Е.В. Величко, А.В. Недоля, И.Н.Титов // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 3-4. — С. 189-192. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT veličkoev formoobrazovaniemetalličeskogoosadkavprocesselazernogopirolitičeskogoosaždeniâizgazovoifazynadiélektričeskuûpoložku
AT nedolâav formoobrazovaniemetalličeskogoosadkavprocesselazernogopirolitičeskogoosaždeniâizgazovoifazynadiélektričeskuûpoložku
AT titovin formoobrazovaniemetalličeskogoosadkavprocesselazernogopirolitičeskogoosaždeniâizgazovoifazynadiélektričeskuûpoložku
AT veličkoev formoutvorennâmetalevogoosadupídčaslazernogopírolítičnogoosaždennâízgazovoífazinadíelektričnupídkladku
AT nedolâav formoutvorennâmetalevogoosadupídčaslazernogopírolítičnogoosaždennâízgazovoífazinadíelektričnupídkladku
AT titovin formoutvorennâmetalevogoosadupídčaslazernogopírolítičnogoosaždennâízgazovoífazinadíelektričnupídkladku
AT veličkoev theshapeformingprocessofmetallicsedimentduringlaserpyrolyticdepositionfromgasphaseonthedielectricsubstrate
AT nedolâav theshapeformingprocessofmetallicsedimentduringlaserpyrolyticdepositionfromgasphaseonthedielectricsubstrate
AT titovin theshapeformingprocessofmetallicsedimentduringlaserpyrolyticdepositionfromgasphaseonthedielectricsubstrate
first_indexed 2025-12-07T13:36:14Z
last_indexed 2025-12-07T13:36:14Z
_version_ 1850856779820302336