APA (7th ed.) Citation

Комаров, Ф., Мильчанин, О., Миронов, А., & Купчишин, А. (2008). Формирование изолирующих и геттерирующих слоев в полупроводниках с использованием имплантации протонов средних энергий. Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Комаров, Ф.Ф, О.В Мильчанин, А.М Миронов, and А.И Купчишин. Формирование изолирующих и геттерирующих слоев в полупроводниках с использованием имплантации протонов средних энергий. Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України, 2008.

MLA (8th ed.) Citation

Комаров, Ф.Ф, et al. Формирование изолирующих и геттерирующих слоев в полупроводниках с использованием имплантации протонов средних энергий. Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України, 2008.