Зображення обкладинки

Формирование изолирующих и геттерирующих слоев в полупроводниках с использованием имплантации протонов средних энергий

На основании результатов исследований процессов дефектообразования в кремнии и арсениде галлия при внедрении протонов и перестройки дефектной системы кристаллов в результате последующих термообработок получены оптимальные режимы этих обработок для формирования приборных структур микро- и оптоэлектро...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2008
Автори:	Комаров, Ф.Ф., Мильчанин, О.В., Миронов, А.М., Купчишин, А.И.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2008
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7891
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Формирование изолирующих и геттерирующих слоев в полупроводниках с использованием имплантации протонов средних энергий / Ф.Ф. Комаров, О.В. Мильчанин, А.М. Миронов, А.И. Купчишин // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 3-4. — С. 142-150. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

О влиянии средних наклонов атмосферных слоев равной плотности на астрономическую рефракцию
за авторством: Канторов, А.Ф.
Опубліковано: (1985)

Применение метода усредненных резонансов (МУР) в реакциях захвата протонов низких энергий
за авторством: Немашкало, Б.А.
Опубліковано: (1999)

Ускоренное формирование силицидных слоев на молибдене
за авторством: Литовченко, С.В., та інші
Опубліковано: (2001)

Контроль и формирование пучка протонов линейного ускорителя ИЯИ РАН на мишени изотопного комплекса
за авторством: Брагин, С.Е., та інші
Опубліковано: (2010)

Формирование неоднородной структуры в приповерхностных слоях NiTi в результате ионной имплантации
за авторством: Погребняк, А.Д., та інші
Опубліковано: (2009)

Формирование ультрадисперсного состояния поверхностных слоёв стали, легированной атомами металлов в режиме оплавления плазменной струёй
за авторством: Братушка, С.Н., та інші
Опубліковано: (2013)

Взаимодействие пограничных слоев моря и атмосферы на малых и средних масштабах в прибрежной зоне
за авторством: Чухарев, А.М., та інші
Опубліковано: (2012)

Формирование никель-платинового силицидного слоя в качестве барьерного для диода Шоттки
за авторством: Кучинский, П.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Оптические нелинейности в халькогенидных стеклообразных полупроводниках (обзор)
за авторством: Толмачев, И.Д., та інші
Опубліковано: (2010)

Спин-спиновая ЯМР релаксация протонов воды в силикагелях
за авторством: Алексеев, А.Д., та інші
Опубліковано: (1998)

О стохастической динамике протонов в солнечных магнитных петлях
за авторством: Сенаторов, В.Н., та інші
Опубліковано: (1991)

Формирование приповерхностных слоев при низкоэнергетичном высокодозном ионно-плазменном облучении поверхности меди
за авторством: Сафонов, В.И., та інші
Опубліковано: (2000)

Ионный синтез нанокристаллов узкозонных полупроводников А³В⁵ в кремниевой матрице для систем оптоэлектроники
за авторством: Комаров, Ф.Ф., та інші
Опубліковано: (2011)

Транспорт, магнитотранспорт и ферромагнетизм в разбавленных магнитных полупроводниках
за авторством: Кульбачинский, В.А., та інші
Опубліковано: (2007)

Исследование системы GaSb+Bi методом обратного рассеяния протонов
за авторством: Цымбал, В.А., та інші
Опубліковано: (2001)

Нейтронные поля в подкритическом реакторе, генерируемом пучком ускоренных протонов
за авторством: Гусев, Е.В., та інші
Опубліковано: (2002)

Новая методика исследования транспорта протонов в органических ионообменных мембранах
за авторством: Ткаченко, Т.В., та інші
Опубліковано: (2003)

Факторы, определяющие готовность бластоцист мышей к имплантации
за авторством: Вагина, И.Н., та інші
Опубліковано: (1997)

К теории операторных средних
за авторством: Арлинский, Ю.М.
Опубліковано: (1990)

Фазовые портреты деформационных эффектов в полупроводниках в импульсном режиме
за авторством: Дадамирзаев, М.Г., та інші
Опубліковано: (2012)

Модель диссоциации электронно-дырочной пары в супрамолекулярных фоточувствительных полупроводниках
за авторством: Заболотный, М.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Эффекты резонансного рассеяния электронов на донорных примесях в полупроводниках
за авторством: Окулов, В.И.
Опубліковано: (2004)

Фотоэлектретное состояние без внешнего поляризующего поля в однородных полупроводниках
за авторством: Мирзаева, З.И., та інші
Опубліковано: (2008)

Влияние стрикционной нелинейности на поверхностные волны в неоднородных полупроводниках
за авторством: Лапшин, В.И.
Опубліковано: (2009)

Магнитная восприимчивость резонансных донорных примесей переходных элементов в полупроводниках
за авторством: Окулов, В.И., та інші
Опубліковано: (2004)

Изучение возможности работы накопителя протонов ИЯИ РАН при низких энергиях
за авторством: Моисеев, В.А.
Опубліковано: (2008)

Измерение потерь пучка линейного ускорителя протонов по интенсивности нейтронного излучения
за авторством: Акулиничев, С.В., та інші
Опубліковано: (2012)

Формирование специальных импульсов тока при параллельной работе емкостных накопителей энергии
за авторством: Петков, А.А.
Опубліковано: (2010)

Расчет оптического покрытия с использованием рекурсивного построения слоев
за авторством: Жидков, В.А.
Опубліковано: (2013)

Структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах
за авторством: Морозов, А.Н., та інші
Опубліковано: (2002)

Источник питания с малым коэффициентом пульсаций для инжектора протонов технологического ускорителя
за авторством: Кривоносов, Г.А., та інші
Опубліковано: (2004)

Электронные явления переноса электрического заряда в полупроводниках Ni₁₋ₓCdₓFe₂O₄
за авторством: Бушкова, В.С., та інші
Опубліковано: (2017)

Мягкие рентгеновские эмиссионные спектры и ферромагнетизм в широкозонных легированных полупроводниках
за авторством: Суркова, Т.П., та інші
Опубліковано: (2009)

Оценка эффективности методов дооперационной профилактики ранних осложнений зубной имплантации
за авторством: Апухтин, Ю.П., та інші
Опубліковано: (2011)

Проект установки для наработки ПЭТ-радиоизотопов на линейном ускорителе протонов ИЯИ РАН
за авторством: Акулиничев, С.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Изучение свойств пленок сплава Si-Ge на пучке протонов, полученных методом CVD
за авторством: Ковальчук, И.К., та інші
Опубліковано: (2007)

Генерация низкочастотных возмущений магнитного поля в корональных петлях пучками протонов и электронов
за авторством: Маловичко, П.П.
Опубліковано: (2010)

О возможности оценки положения порога подвижности для носителей заряда с использованием одночастичных средних
за авторством: Скрипник, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2018)

Модификация метода с-средних на основе нелинейного векторного критерия
за авторством: Булат, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)

Об интегральных средних сумм Бохнера-Рисса
за авторством: Кузнецова, О.И.
Опубліковано: (2016)