Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications
We describe the operation of some new axially-symmetric plasma devices based on plasma-optical principles and the plasma lens configuration. Plasma devices of this kind using permanent magnets can be applied in a number of different applications for ion treatment and materials synthesis. Описуються...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2005 |
| Main Authors: | , , , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2005
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79058 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications / A. Goncharov, A. Demchishin, A. Dobrovolskiy, E. Kostin, O. Panchenko, C. Pavlov, I. Protsenko, B. Stetsenko, E. Ternovoy, I. G. Brown // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 1. — С.169-171. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-79058 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Goncharov, A. Demchishin, A. Dobrovolskiy, A. Kostin, E. Panchenko, O. Pavlov, C. Protsenko, I. Stetsenko, B. Ternovoy, E. Brown, I. G. 2015-03-25T18:45:12Z 2015-03-25T18:45:12Z 2005 Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications / A. Goncharov, A. Demchishin, A. Dobrovolskiy, E. Kostin, O. Panchenko, C. Pavlov, I. Protsenko, B. Stetsenko, E. Ternovoy, I. G. Brown // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 1. — С.169-171. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.50.Dg , 52.77.Dq, 52.77.Bn https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79058 We describe the operation of some new axially-symmetric plasma devices based on plasma-optical principles and the plasma lens configuration. Plasma devices of this kind using permanent magnets can be applied in a number of different applications for ion treatment and materials synthesis. Описуються деякі нові плазмові прилади, основані на використанні принципів плазмооптики та конфігурації плазмової лінзи. Прилади такого типу, що використовують постійні магніти, можуть застосовуватись для іонної обробки та отримання нових матеріалів. Описываются некоторые новые плазменные приборы, основанные на принципах плазмооптики и конфигурации плазменной линзы. Приборы такого типа, в которых используются постоянные магниты, могут применяться для ионной обработки и получения новых материалов. This works was supported by STCU #1596 and in part by STCU project #118(K). en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Low temperature plasma and plasma technologies Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications Плазмові прилади для використання з іонними пучками та плазмового осадження Плазменные приборы для манипулирования ионными пучками и плазменного осаждения Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications |
| spellingShingle |
Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications Goncharov, A. Demchishin, A. Dobrovolskiy, A. Kostin, E. Panchenko, O. Pavlov, C. Protsenko, I. Stetsenko, B. Ternovoy, E. Brown, I. G. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title_short |
Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications |
| title_full |
Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications |
| title_fullStr |
Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications |
| title_full_unstemmed |
Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications |
| title_sort |
plasma devices for ion beam and plasma deposition applications |
| author |
Goncharov, A. Demchishin, A. Dobrovolskiy, A. Kostin, E. Panchenko, O. Pavlov, C. Protsenko, I. Stetsenko, B. Ternovoy, E. Brown, I. G. |
| author_facet |
Goncharov, A. Demchishin, A. Dobrovolskiy, A. Kostin, E. Panchenko, O. Pavlov, C. Protsenko, I. Stetsenko, B. Ternovoy, E. Brown, I. G. |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| publishDate |
2005 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Плазмові прилади для використання з іонними пучками та плазмового осадження Плазменные приборы для манипулирования ионными пучками и плазменного осаждения |
| description |
We describe the operation of some new axially-symmetric plasma devices based on plasma-optical principles and the plasma lens configuration. Plasma devices of this kind using permanent magnets can be applied in a number of different applications for ion treatment and materials synthesis.
Описуються деякі нові плазмові прилади, основані на використанні принципів плазмооптики та конфігурації плазмової лінзи. Прилади такого типу, що використовують постійні магніти, можуть застосовуватись для іонної обробки та отримання нових матеріалів.
Описываются некоторые новые плазменные приборы, основанные на принципах плазмооптики и конфигурации плазменной линзы. Приборы такого типа, в которых используются постоянные магниты, могут применяться для ионной обработки и получения новых материалов.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79058 |
| citation_txt |
Plasma devices for ion beam and plasma deposition applications / A. Goncharov, A. Demchishin, A. Dobrovolskiy, E. Kostin, O. Panchenko, C. Pavlov, I. Protsenko, B. Stetsenko, E. Ternovoy, I. G. Brown // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 1. — С.169-171. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT goncharova plasmadevicesforionbeamandplasmadepositionapplications AT demchishina plasmadevicesforionbeamandplasmadepositionapplications AT dobrovolskiya plasmadevicesforionbeamandplasmadepositionapplications AT kostine plasmadevicesforionbeamandplasmadepositionapplications AT panchenkoo plasmadevicesforionbeamandplasmadepositionapplications AT pavlovc plasmadevicesforionbeamandplasmadepositionapplications AT protsenkoi plasmadevicesforionbeamandplasmadepositionapplications AT stetsenkob plasmadevicesforionbeamandplasmadepositionapplications AT ternovoye plasmadevicesforionbeamandplasmadepositionapplications AT brownig plasmadevicesforionbeamandplasmadepositionapplications AT goncharova plazmovípriladidlâvikoristannâzíonnimipučkamitaplazmovogoosadžennâ AT demchishina plazmovípriladidlâvikoristannâzíonnimipučkamitaplazmovogoosadžennâ AT dobrovolskiya plazmovípriladidlâvikoristannâzíonnimipučkamitaplazmovogoosadžennâ AT kostine plazmovípriladidlâvikoristannâzíonnimipučkamitaplazmovogoosadžennâ AT panchenkoo plazmovípriladidlâvikoristannâzíonnimipučkamitaplazmovogoosadžennâ AT pavlovc plazmovípriladidlâvikoristannâzíonnimipučkamitaplazmovogoosadžennâ AT protsenkoi plazmovípriladidlâvikoristannâzíonnimipučkamitaplazmovogoosadžennâ AT stetsenkob plazmovípriladidlâvikoristannâzíonnimipučkamitaplazmovogoosadžennâ AT ternovoye plazmovípriladidlâvikoristannâzíonnimipučkamitaplazmovogoosadžennâ AT brownig plazmovípriladidlâvikoristannâzíonnimipučkamitaplazmovogoosadžennâ AT goncharova plazmennyepriborydlâmanipulirovaniâionnymipučkamiiplazmennogoosaždeniâ AT demchishina plazmennyepriborydlâmanipulirovaniâionnymipučkamiiplazmennogoosaždeniâ AT dobrovolskiya plazmennyepriborydlâmanipulirovaniâionnymipučkamiiplazmennogoosaždeniâ AT kostine plazmennyepriborydlâmanipulirovaniâionnymipučkamiiplazmennogoosaždeniâ AT panchenkoo plazmennyepriborydlâmanipulirovaniâionnymipučkamiiplazmennogoosaždeniâ AT pavlovc plazmennyepriborydlâmanipulirovaniâionnymipučkamiiplazmennogoosaždeniâ AT protsenkoi plazmennyepriborydlâmanipulirovaniâionnymipučkamiiplazmennogoosaždeniâ AT stetsenkob plazmennyepriborydlâmanipulirovaniâionnymipučkamiiplazmennogoosaždeniâ AT ternovoye plazmennyepriborydlâmanipulirovaniâionnymipučkamiiplazmennogoosaždeniâ AT brownig plazmennyepriborydlâmanipulirovaniâionnymipučkamiiplazmennogoosaždeniâ |
| first_indexed |
2025-12-07T18:09:14Z |
| last_indexed |
2025-12-07T18:09:14Z |
| _version_ |
1850873955388227584 |