Installation for gas-phase deposition of materials
The installation for gas-phase deposition of materials is developed. Gas- dynamic parameters of a vapor-gas mixture flow in the reaction volume by flow-around of the surface being coated are evaluated. The processes of tungsten and boron carbide deposition are investigated. Розроблена установка дл...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2004 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2004
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79080 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Installation for gas-phase deposition of materials / Yu.F.Lonin, Yu.O.Pilipets, N.A.Khovansky, V.I.Sheremet, B.M.Shirokov // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 1. — С. 221-222. — Бібліогр.: 3 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Summary: | The installation for gas-phase deposition of materials is developed. Gas- dynamic parameters of a vapor-gas
mixture flow in the reaction volume by flow-around of the surface being coated are evaluated. The processes of
tungsten and boron carbide deposition are investigated.
Розроблена установка для газофазного осадження матеріалів. Виконано оцінку газодинамічних
параметрів потоку парагазової суміші в реакційному об’ємі при обтіканні покриваючої поверхні. Досліджені
процеси осадження вольфраму та карбіду бора.
Разработана установка для газофазного осаждения материалов. Выполнена оценка газодинамических па-
раметров потока парогазовой смеси в реакционном объеме при обтекании покрываемой поверхности. Иссле-
дованы процессы осаждения вольфрама и карбида бора.
|
|---|---|
| ISSN: | 1562-6016 |