Installation for gas-phase deposition of materials
The installation for gas-phase deposition of materials is developed. Gas- dynamic parameters of a vapor-gas mixture flow in the reaction volume by flow-around of the surface being coated are evaluated. The processes of tungsten and boron carbide deposition are investigated. Розроблена установка дл...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2004 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2004
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79080 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Installation for gas-phase deposition of materials / Yu.F.Lonin, Yu.O.Pilipets, N.A.Khovansky, V.I.Sheremet, B.M.Shirokov // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 1. — С. 221-222. — Бібліогр.: 3 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Резюме: | The installation for gas-phase deposition of materials is developed. Gas- dynamic parameters of a vapor-gas
mixture flow in the reaction volume by flow-around of the surface being coated are evaluated. The processes of
tungsten and boron carbide deposition are investigated.
Розроблена установка для газофазного осадження матеріалів. Виконано оцінку газодинамічних
параметрів потоку парагазової суміші в реакційному об’ємі при обтіканні покриваючої поверхні. Досліджені
процеси осадження вольфраму та карбіду бора.
Разработана установка для газофазного осаждения материалов. Выполнена оценка газодинамических па-
раметров потока парогазовой смеси в реакционном объеме при обтекании покрываемой поверхности. Иссле-
дованы процессы осаждения вольфрама и карбида бора.
|
|---|---|
| ISSN: | 1562-6016 |