Magnetically filtered vacuum-arc plasma deposition systems

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2002
• Main Author: Aksenov, I.I.
• Format: Article
• Language: English
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2002
• Subjects: Low temperature plasma and plasma technologies
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79281
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Magnetically filtered vacuum-arc plasma deposition systems / I.I. Aksenov // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 5. — С. 139-141. — Бібліогр.: 26 назв. — англ.

This article is a brief historical review of R&D carried out by the KIPT scientists in the field of magnetic filtering of vacuum-arc plasma flows to be applied in thin film deposition technology.