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Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge

A new solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge is described. The ions of working gas are used to bombard and sputter a cylindrical target made of metal or dielectric material. The sputtered atoms can be ionized and extracted by an ion optical accelerating syste...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2004
ISSN:	1562-6016
Hauptverfasser:	Azarenkov, N.A., Bizyukov, I.A., Kashaba, A.Y., Sereda, K.N.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2004
Schlagworte:	Элементы ускорителей
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79362
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Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Solid ion accelerator based on magnetron sputtering discharge / N.A. Azarenkov, I.A. Bizyukov, A.Y. Kashaba, K.N. Sereda // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 2. — С. 114-116. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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