Cover Image

Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора

Описан способ измерения толщины тонких (~0,5 мкг/см²) углеродных фольг в процессе их изготовления, основанный на применении кварцевого резонатора. Показано, что в условиях импульсного вакуумного распыления графита применение кварцевого резонатора со слабой зависимостью частоты от температуры позволя...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Published in:	Вопросы атомной науки и техники
Date:	2002
Main Authors:	Батурин, В.А., Карпенко, А.Ю., Нагорный, А.Г., Пустовойтов, С.А.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2002
Subjects:	Пленочные материалы и покрытия
Online Access:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79500
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:	Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко, А.Г. Нагорный, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 1. — С. 165-168. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Структура тонких пленок С₆₀ на (100) NaCl
by: Горбенко, Н.И., et al.
Published: (2002)

Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления
by: Юрченко, Г.В.
Published: (2000)

Особенности процессов фотостимулированного взаимодействия в светочувствительной системе As₄₀S₂₀Se₄₀-Ag
by: Стронский, А.В., et al.
Published: (2000)

Влияние параметров импульсной работы вакуумно-дугового испарителя на концентрацию капель в формируемых пленках
by: Белоус, В.А., et al.
Published: (2002)

Использование эвтектических композиций для создания износостойких покрытий
by: Чишкала, В.А., et al.
Published: (2002)

Thermoionic Vacuum Arc (TVA) - one of the best suitable method for high purity compact smooth thin films deposition
by: Ehrich, H., et al.
Published: (2002)

ZnO:Al wide zone “windows” deposited by magnetron sputtering on unheated substrate
by: Boyko, B.Т., et al.
Published: (2000)

Измерительная ячейка на основе кварцевого квазиоптического резонатора для исследования диэлектрических жидкостей в субтерагерцевом диапазоне
by: Баранник, А.А., et al.
Published: (2016)

Измерение толщины ультразвуковыми толщинометрами с А-разверткой
by: Козин, А.Н.
Published: (2003)

Ультразвуковое измерение толщины многослойных материалом и изделий
by: Куц, Ю.В., et al.
Published: (2008)

Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок
by: Николаенко, Ю.М., et al.
Published: (2017)

Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов
by: Батурин, В.А., et al.
Published: (2012)

Нелинейно-упругое деформирование тонких композитных оболочек дискретно переменной толщины
by: Луцкая, И.В., et al.
Published: (2016)

Измерение критических токов тонких сверхпроводящих плёнок YBa₂Cu₃O₇₋δ методом магнитной восприимчивости с помощью накладных катушек
by: Каленюк, А.А., et al.
Published: (2017)

Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок
by: Буданов, В.Е., et al.
Published: (2007)

Измерение эмиссии NOx хемилюминесцентным методом
by: Примиский, В.Ф.
Published: (2004)

Электродинамическая модель открытого резонатора с диэлектрическим слоем
by: Попков, А.Ю.
Published: (2010)

Пьезокварцевое микровзвешивание как средство мониторинга формирования in-situ квазимономолекулярных слоев тонких пленок веществ на поверхности электрода резонатора
by: Гребенников, В.Н., et al.
Published: (2010)

Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения
by: Батурин, В.А., et al.
Published: (2006)

Люминесценция кварцевого стекла, индуцированная рентгеновским излучением
by: Мисюра, И.Н., et al.
Published: (2016)

Капсулирование кварцевого песка пироуглеродом в электротермическом псевдоожиженном слое
by: Богомолов, В.А., et al.
Published: (2013)

Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния
by: Коломиец, В.Н., et al.
Published: (2016)

Термоэлектрическая эффективность фольг полуметаллических и полупроводниковых сплавов Bi₁₋xSbx
by: Николаева, А., et al.
Published: (2018)

Получение способом электронно-лучевого осаждения высокопрочных термочувствительных биметаллических фольг инвар/медь
by: Устинов, А.И., et al.
Published: (2017)

Измерение толщин оптически прозрачных слоистых структур методом спектральной интерферометрии
by: Лукин, К.А., et al.
Published: (2017)

Присоединенная масса при колебаниях кварцевого камертона в Не II
by: Гриценко, И.А., et al.
Published: (2017)

Влияние термодинамических и структурных параметров многослойных фольг на характеристики процесса СВС
by: Кравчук, М.В., et al.
Published: (2015)

Изучение цитотоксичности углеродных нанотрубок методом спиновых зондов
by: Картель, Н.Т., et al.
Published: (2008)

П’єзокварцове мікрозважування як засіб моніторингу формування in-situ квазімономолекулярних шарів тонких плівок речовин на поверхні електрода резонатора
by: Grebennikov, V. N., et al.
Published: (2010)

Контактная стыковая сварка жаропрочного никелевого сплава с использованием наноструктурных фольг
by: Кучук-Яценко, В.С.
Published: (2011)

Влияние потерь энергии ионизирующего излучения на люминесценцию кварцевого стекла
by: Мисюра, И.Н., et al.
Published: (2017)

Влияние старения реакционных многослойных Al/Ni фольг на скорость распространения фронта реакции СВС
by: Демченков, С.А., et al.
Published: (2017)

Детектирование взаимодействия углеродных нанотрубок с липосомами методом спиновых зондов
by: Иванов, Л.В., et al.
Published: (2012)

Механизмы диссипации колеблющегося кварцевого камертона в Не II при повышенных давлениях
by: Гриценко, И.А., et al.
Published: (2012)

Исследование сверхпроводящего резонатора ускорителя e-LINAC
by: Болгов, Р.О., et al.
Published: (2012)

Осаждение из паровой фазы в вакууме дисперсно-упрочненных фольг меди с субмикрозернистой структурой
by: Зубков, А.И., et al.
Published: (2003)

Измерение влияния магнитного поля на термо-эдс в тонких пленках без создания градиента температур
by: Карапетьян, Г.Я., et al.
Published: (2006)

Эквивалентные схемы представления открытого резонатора
by: Кузьмичев, И.К.
Published: (2005)

Программа для численного моделирования системы извлечения ионного пучка в плазменном источнике ионов
by: Пустовойтов, С.А., et al.
Published: (2008)

Экспериментальная установка для получения кластерных пучков
by: Батурин, В.А., et al.
Published: (2006)