Buchumschlag

Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора

Описан способ измерения толщины тонких (~0,5 мкг/см²) углеродных фольг в процессе их изготовления, основанный на применении кварцевого резонатора. Показано, что в условиях импульсного вакуумного распыления графита применение кварцевого резонатора со слабой зависимостью частоты от температуры позволя...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2002
Hauptverfasser:	Батурин, В.А., Карпенко, А.Ю., Нагорный, А.Г., Пустовойтов, С.А.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2002
Schlagworte:	Пленочные материалы и покрытия
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79500
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко, А.Г. Нагорный, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 1. — С. 165-168. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Структура тонких пленок С₆₀ на (100) NaCl
von: Горбенко, Н.И., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления
von: Юрченко, Г.В.
Veröffentlicht: (2000)

Особенности процессов фотостимулированного взаимодействия в светочувствительной системе As₄₀S₂₀Se₄₀-Ag
von: Стронский, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Влияние параметров импульсной работы вакуумно-дугового испарителя на концентрацию капель в формируемых пленках
von: Белоус, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Использование эвтектических композиций для создания износостойких покрытий
von: Чишкала, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2002)

ZnO:Al wide zone “windows” deposited by magnetron sputtering on unheated substrate
von: Boyko, B.Т., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Thermoionic Vacuum Arc (TVA) - one of the best suitable method for high purity compact smooth thin films deposition
von: Ehrich, H., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Електричні властивості двошарових плівок окислів металів
von: Новіков, В.О.
Veröffentlicht: (2000)

Измерение диэлектрической проницаемости пенопластов резонансным методом с помощью волноводно-диэлектрического резонатора
von: Белоус, Р.И., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
von: Belyanin, A. F., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Измерительная ячейка на основе кварцевого квазиоптического резонатора для исследования диэлектрических жидкостей в субтерагерцевом диапазоне
von: Баранник, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Измерение толщины ультразвуковыми толщинометрами с А-разверткой
von: Козин, А.Н.
Veröffentlicht: (2003)

Ультразвуковое измерение толщины многослойных материалом и изделий
von: Куц, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов
von: Батурин, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок
von: Николаенко, Ю.М., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Нелинейно-упругое деформирование тонких композитных оболочек дискретно переменной толщины
von: Луцкая, И.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Твердофазные реакции при нагреве многослойных фольг Al/Ti, полученных методом електронно-лучевого осаждения
von: Устинов, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Измерение толщины покрытий в процессе их нанесения с помощью емкостного датчика
von: Istomin, A. S., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Измерение критических токов тонких сверхпроводящих плёнок YBa₂Cu₃O₇₋δ методом магнитной восприимчивости с помощью накладных катушек
von: Каленюк, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Измерение эмиссии NOx хемилюминесцентным методом
von: Примиский, В.Ф.
Veröffentlicht: (2004)

Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок
von: Буданов, В.Е., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Особенности контактной сварки алюминидов титана с использованием нанослойных алюминиево-титановых фольг
von: Кучук-Яценко, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Электродинамическая модель открытого резонатора с диэлектрическим слоем
von: Попков, А.Ю.
Veröffentlicht: (2010)

Источник кластерного пучка внешнего исполнения с лазерным испарением для широкого применения
von: Батурин, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Люминесценция кварцевого стекла, индуцированная рентгеновским излучением
von: Мисюра, И.Н., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Пьезокварцевое микровзвешивание как средство мониторинга формирования in-situ квазимономолекулярных слоев тонких пленок веществ на поверхности электрода резонатора
von: Гребенников, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Капсулирование кварцевого песка пироуглеродом в электротермическом псевдоожиженном слое
von: Богомолов, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Определение толщины слоёв многослойных периодических покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния
von: Коломиец, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Термоэлектрическая эффективность фольг полуметаллических и полупроводниковых сплавов Bi₁₋xSbx
von: Николаева, А., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Колебания кварцевого камертона в Не II и коэффициент сопротивления
von: Гриценко, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Измерение толщин оптически прозрачных слоистых структур методом спектральной интерферометрии
von: Лукин, К.А., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Присоединенная масса при колебаниях кварцевого камертона в Не II
von: Гриценко, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Получение способом электронно-лучевого осаждения высокопрочных термочувствительных биметаллических фольг инвар/медь
von: Устинов, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Влияние термодинамических и структурных параметров многослойных фольг на характеристики процесса СВС
von: Кравчук, М.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Перспективы технологии получения солнечного кремния восстановлением кварцевого песка пироуглеродом
von: Бондаренко, Б.И., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Изучение цитотоксичности углеродных нанотрубок методом спиновых зондов
von: Картель, Н.Т., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Нелинейные явления при колебаниях кварцевого камертона, погруженного в сверхтекучий гелий
von: Гриценко, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Влияние потерь энергии ионизирующего излучения на люминесценцию кварцевого стекла
von: Мисюра, И.Н., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Контактная стыковая сварка жаропрочного никелевого сплава с использованием наноструктурных фольг
von: Кучук-Яценко, В.С.
Veröffentlicht: (2011)

Детектирование взаимодействия углеродных нанотрубок с липосомами методом спиновых зондов
von: Иванов, Л.В., et al.
Veröffentlicht: (2012)