Новые подходы к описанию процессов вакуумирования и газоотделения

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2002
• Main Authors: Жунь, Г.Г., Гетманец, В.Ф.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2002
• Subjects: Чистые материалы и вакуумные технологии
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79505
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Новые подходы к описанию процессов вакуумирования и газоотделения / Г.Г. Жунь, В.Ф. Гетманец // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 1. — С. 67-71. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

На основе опубликованных ранее материалов [1-5] теоретически и экспериментально показаны основные закономерности влияния состояния поверхности материалов (ее температуры, степени заполнения адсорбированными молекулами, скорости диффузии из твердого тела), давления и состава окружающей среды на проце...