Cover Image

Thermoionic Vacuum Arc (TVA) - one of the best suitable method for high purity compact smooth thin films deposition

Описан метод термоионной вакуумной дуги (ТВД) как новый наиболее подходящий метод для осаждения тонких пленок высокой чистоты с компактной структурой и очень гладких, удобный для получения пленок с наноструктурой. ТВД может производить источник плазмы чистых металлов внутри вакуумной камеры (включая...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Вопросы атомной науки и техники
Date:2002
Main Authors: Ehrich, H., Musa, G., Mustata, I.
Format: Article
Language:English
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2002
Subjects:
Пленочные материалы и покрытия
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79510
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Thermoionic Vacuum Arc (TVA) - one of the best suitable method for high purity compact smooth thin films deposition / H. Ehrich, G. Musa, I. Mustata // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 1. — С. 169-171. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Similar Items