Buchumschlag

Влияние параметров импульсной работы вакуумно-дугового испарителя на концентрацию капель в формируемых пленках

Исследовано относительное содержание капельной фазы на поверхности конденсируемых титановых пленок при вакуумно-дуговом испарении титана в непрерывном (до 30 с) и импульсном режимах горения дуги с различной скважностью. Показано, что концентрация крупных капель снижается с уменьшением времени горени...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Вопросы атомной науки и техники
Datum:2002
Hauptverfasser: Белоус, В.А., Лунев, В.М., Павлов, В.С.
Format: Artikel
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2002
Schlagworte:
Пленочные материалы и покрытия
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79516
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Влияние параметров импульсной работы вакуумно-дугового испарителя на концентрацию капель в формируемых пленках / В.А. Белоус, В.М. Лунев, В.С. Павлов // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 1. — С. 172-174. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Ähnliche Einträge