Влияние параметров импульсной работы вакуумно-дугового испарителя на концентрацию капель в формируемых пленках

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2002
• Main Authors: Белоус, В.А., Лунев, В.М., Павлов, В.С.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2002
• Subjects: Пленочные материалы и покрытия
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79516
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Влияние параметров импульсной работы вакуумно-дугового испарителя на концентрацию капель в формируемых пленках / В.А. Белоус, В.М. Лунев, В.С. Павлов // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 1. — С. 172-174. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Исследовано относительное содержание капельной фазы на поверхности конденсируемых титановых пленок при вакуумно-дуговом испарении титана в непрерывном (до 30 с) и импульсном режимах горения дуги с различной скважностью. Показано, что концентрация крупных капель снижается с уменьшением времени горени...