Создание градированного многослойного покрытия Со/С для изображающей системы в диапазоне "углеродного окна" (λ ~ 4,4 – 5,0 нм)

• Date: 2009
• Main Author: Бугаев, Е.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2009
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7952
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Создание градированного многослойного покрытия Со/С для изображающей системы в диапазоне "углеродного окна" (λ ~ 4,4 – 5,0 нм) / Е.А. Бугаев // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 69-75. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.

Рассмотрены вопросы прецизионного осаждения многослойных периодических покрытий рентгеновских зеркал на подложки различной кривизны с заданным распределением периода покрытия вдоль их поверхности. Предлагается новый подход к созданию объектива Шварцшильда на “углеродное окно” (λ ~ 4,4 – 5,0 нм) для источника квазинепрерывного рентгеновского излучения. Результаты измерений на синхротронном источнике (ALS, США) демонстрируют высокую эффективность созданной рентгенооптической системы. Розглянуті питання прецизійного осадження багатошарових періодичних покриттів рентгенівських дзеркал на підкладки різної кривизни із заданим розподілом періоду покриття уздовж їхньої поверхні. Пропонується новий підхід до створення об’єктиву Шварцшильда на “вуглецеве вікно” (λ ~ 4,4 – 5,0 нм) для джерела квазінепреривного рентгенівського випромінювання. Результати вимірів на синхротронному джерелі (ALS, США) демонструють високу ефективність створеної рентген-оптичної системи. Precision deposition of multilayer coatings for x-ray mirrors on substrates of different curvature with desired period distribution was considered. New approach for the creation of Schwarzschild objective of the “carbon window” (λ ~ 4,4 – 5,0 nm) wavelength range for quasicontinuous x-ray source was proposed. High efficiency of the developed X-ray optical system was demonstrated on synchrotron beam line (ALS, USA).