Создание градированного многослойного покрытия Со/С для изображающей системы в диапазоне "углеродного окна" (λ ~ 4,4 – 5,0 нм)

• Date: 2009
• Main Author: Бугаев, Е.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2009
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7952
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Создание градированного многослойного покрытия Со/С для изображающей системы в диапазоне "углеродного окна" (λ ~ 4,4 – 5,0 нм) / Е.А. Бугаев // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 69-75. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.

Рассмотрены вопросы прецизионного осаждения многослойных периодических покрытий рентгеновских зеркал на подложки различной кривизны с заданным распределением периода покрытия вдоль их поверхности. Предлагается новый подход к созданию объектива Шварцшильда на “углеродное окно” (λ ~ 4,4 – 5,0 нм) для...