Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики
Разработан алгоритм определения поверхностных атомов в сильноискаженных структурах. Методом молекулярной
 динамики (ММД) исследован рост пленок ниобия при вакуумном осаждении. Предложенный алгоритм использован для
 определения шероховатости осаждаемой пленки и характеристик образующи...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2004 |
| ISSN: | 1562-6016 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2004
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79542 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики / И.Г. Марченко, И.И. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 3. — С. 26-30. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Zusammenfassung: | Разработан алгоритм определения поверхностных атомов в сильноискаженных структурах. Методом молекулярной
динамики (ММД) исследован рост пленок ниобия при вакуумном осаждении. Предложенный алгоритм использован для
определения шероховатости осаждаемой пленки и характеристик образующихся внутренних полостей. Установлено, что
изменение шероховатости пленки связано с развитием структуры микротрещин: внутренние полости залегают под ними. Образование пор приводит к уменьшению плотности пленки по сравнению с объемной.
Розроблено алгоритм визначення поверхневих атомів у сильно деформованих структурах. Методом молекулярної
динаміки досліджено ріст плівок ніобія при вакуумному осаджені. Запропонований алгоритм застосовано для
визначення шорсткості осаджених плівок і характеристик утворених внутрішніх порожнин. Установлено, що зміна
шорсткості плівки пов’язана з розвитком структури “мініярків”. Внутрішні порожнини залягають під цими
“мініярками”. Поява пор призводить до зменшення щільності плівок.
The algorithm of surface atomic structure determine in high deformed materials is devised in this work. The Nb films growth
was investigated by molecular dynamic simulation. The proposed algorithm was used for determination of films surface roughness and characteristics of inner voids. It was established that surface roughness changes connected with “mini ravine” structure
development. Voids are situated under this “mini ravine”. The voids formation leads to decrease of films density.
|
|---|---|
| ISSN: | 1562-6016 |