Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики
Разработан алгоритм определения поверхностных атомов в сильноискаженных структурах. Методом молекулярной
 динамики (ММД) исследован рост пленок ниобия при вакуумном осаждении. Предложенный алгоритм использован для
 определения шероховатости осаждаемой пленки и характеристик образующи...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2004 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2004
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79542 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики / И.Г. Марченко, И.И. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 3. — С. 26-30. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862618428345417728 |
|---|---|
| author | Марченко, И.Г. Марченко, И.И. Неклюдов, И.М. |
| author_facet | Марченко, И.Г. Марченко, И.И. Неклюдов, И.М. |
| citation_txt | Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики / И.Г. Марченко, И.И. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 3. — С. 26-30. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Разработан алгоритм определения поверхностных атомов в сильноискаженных структурах. Методом молекулярной
динамики (ММД) исследован рост пленок ниобия при вакуумном осаждении. Предложенный алгоритм использован для
определения шероховатости осаждаемой пленки и характеристик образующихся внутренних полостей. Установлено, что
изменение шероховатости пленки связано с развитием структуры микротрещин: внутренние полости залегают под ними. Образование пор приводит к уменьшению плотности пленки по сравнению с объемной.
Розроблено алгоритм визначення поверхневих атомів у сильно деформованих структурах. Методом молекулярної
динаміки досліджено ріст плівок ніобія при вакуумному осаджені. Запропонований алгоритм застосовано для
визначення шорсткості осаджених плівок і характеристик утворених внутрішніх порожнин. Установлено, що зміна
шорсткості плівки пов’язана з розвитком структури “мініярків”. Внутрішні порожнини залягають під цими
“мініярками”. Поява пор призводить до зменшення щільності плівок.
The algorithm of surface atomic structure determine in high deformed materials is devised in this work. The Nb films growth
was investigated by molecular dynamic simulation. The proposed algorithm was used for determination of films surface roughness and characteristics of inner voids. It was established that surface roughness changes connected with “mini ravine” structure
development. Voids are situated under this “mini ravine”. The voids formation leads to decrease of films density.
|
| first_indexed | 2025-12-07T13:14:33Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-79542 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T13:14:33Z |
| publishDate | 2004 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Марченко, И.Г. Марченко, И.И. Неклюдов, И.М. 2015-04-02T19:33:13Z 2015-04-02T19:33:13Z 2004 Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики / И.Г. Марченко, И.И. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 3. — С. 26-30. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79542 539.216:519.876.5 Разработан алгоритм определения поверхностных атомов в сильноискаженных структурах. Методом молекулярной
 динамики (ММД) исследован рост пленок ниобия при вакуумном осаждении. Предложенный алгоритм использован для
 определения шероховатости осаждаемой пленки и характеристик образующихся внутренних полостей. Установлено, что
 изменение шероховатости пленки связано с развитием структуры микротрещин: внутренние полости залегают под ними. Образование пор приводит к уменьшению плотности пленки по сравнению с объемной. Розроблено алгоритм визначення поверхневих атомів у сильно деформованих структурах. Методом молекулярної
 динаміки досліджено ріст плівок ніобія при вакуумному осаджені. Запропонований алгоритм застосовано для
 визначення шорсткості осаджених плівок і характеристик утворених внутрішніх порожнин. Установлено, що зміна
 шорсткості плівки пов’язана з розвитком структури “мініярків”. Внутрішні порожнини залягають під цими
 “мініярками”. Поява пор призводить до зменшення щільності плівок. The algorithm of surface atomic structure determine in high deformed materials is devised in this work. The Nb films growth
 was investigated by molecular dynamic simulation. The proposed algorithm was used for determination of films surface roughness and characteristics of inner voids. It was established that surface roughness changes connected with “mini ravine” structure
 development. Voids are situated under this “mini ravine”. The voids formation leads to decrease of films density. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики Визначення атомної структури тонких плівок у методі молекулярної динаміки Determine the atomistic structure of the surface of thin films in molecular dynamics simulation Article published earlier |
| spellingShingle | Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики Марченко, И.Г. Марченко, И.И. Неклюдов, И.М. Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах |
| title | Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики |
| title_alt | Визначення атомної структури тонких плівок у методі молекулярної динаміки Determine the atomistic structure of the surface of thin films in molecular dynamics simulation |
| title_full | Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики |
| title_fullStr | Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики |
| title_full_unstemmed | Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики |
| title_short | Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики |
| title_sort | определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики |
| topic | Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах |
| topic_facet | Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79542 |
| work_keys_str_mv | AT marčenkoig opredelenieatomnoistrukturypoverhnostitonkihplenokvmetodemolekulârnoidinamiki AT marčenkoii opredelenieatomnoistrukturypoverhnostitonkihplenokvmetodemolekulârnoidinamiki AT neklûdovim opredelenieatomnoistrukturypoverhnostitonkihplenokvmetodemolekulârnoidinamiki AT marčenkoig viznačennâatomnoístrukturitonkihplívokumetodímolekulârnoídinamíki AT marčenkoii viznačennâatomnoístrukturitonkihplívokumetodímolekulârnoídinamíki AT neklûdovim viznačennâatomnoístrukturitonkihplívokumetodímolekulârnoídinamíki AT marčenkoig determinetheatomisticstructureofthesurfaceofthinfilmsinmoleculardynamicssimulation AT marčenkoii determinetheatomisticstructureofthesurfaceofthinfilmsinmoleculardynamicssimulation AT neklûdovim determinetheatomisticstructureofthesurfaceofthinfilmsinmoleculardynamicssimulation |