Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики
Разработан алгоритм определения поверхностных атомов в сильноискаженных структурах. Методом молекулярной динамики (ММД) исследован рост пленок ниобия при вакуумном осаждении. Предложенный алгоритм использован для определения шероховатости осаждаемой пленки и характеристик образующихся внутренних п...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2004 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2004
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79542 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики / И.Г. Марченко, И.И. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 3. — С. 26-30. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-79542 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Марченко, И.Г. Марченко, И.И. Неклюдов, И.М. 2015-04-02T19:33:13Z 2015-04-02T19:33:13Z 2004 Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики / И.Г. Марченко, И.И. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 3. — С. 26-30. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79542 539.216:519.876.5 Разработан алгоритм определения поверхностных атомов в сильноискаженных структурах. Методом молекулярной динамики (ММД) исследован рост пленок ниобия при вакуумном осаждении. Предложенный алгоритм использован для определения шероховатости осаждаемой пленки и характеристик образующихся внутренних полостей. Установлено, что изменение шероховатости пленки связано с развитием структуры микротрещин: внутренние полости залегают под ними. Образование пор приводит к уменьшению плотности пленки по сравнению с объемной. Розроблено алгоритм визначення поверхневих атомів у сильно деформованих структурах. Методом молекулярної динаміки досліджено ріст плівок ніобія при вакуумному осаджені. Запропонований алгоритм застосовано для визначення шорсткості осаджених плівок і характеристик утворених внутрішніх порожнин. Установлено, що зміна шорсткості плівки пов’язана з розвитком структури “мініярків”. Внутрішні порожнини залягають під цими “мініярками”. Поява пор призводить до зменшення щільності плівок. The algorithm of surface atomic structure determine in high deformed materials is devised in this work. The Nb films growth was investigated by molecular dynamic simulation. The proposed algorithm was used for determination of films surface roughness and characteristics of inner voids. It was established that surface roughness changes connected with “mini ravine” structure development. Voids are situated under this “mini ravine”. The voids formation leads to decrease of films density. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики Визначення атомної структури тонких плівок у методі молекулярної динаміки Determine the atomistic structure of the surface of thin films in molecular dynamics simulation Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики |
| spellingShingle |
Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики Марченко, И.Г. Марченко, И.И. Неклюдов, И.М. Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах |
| title_short |
Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики |
| title_full |
Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики |
| title_fullStr |
Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики |
| title_full_unstemmed |
Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики |
| title_sort |
определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики |
| author |
Марченко, И.Г. Марченко, И.И. Неклюдов, И.М. |
| author_facet |
Марченко, И.Г. Марченко, И.И. Неклюдов, И.М. |
| topic |
Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах |
| topic_facet |
Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах |
| publishDate |
2004 |
| language |
Russian |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Визначення атомної структури тонких плівок у методі молекулярної динаміки Determine the atomistic structure of the surface of thin films in molecular dynamics simulation |
| description |
Разработан алгоритм определения поверхностных атомов в сильноискаженных структурах. Методом молекулярной
динамики (ММД) исследован рост пленок ниобия при вакуумном осаждении. Предложенный алгоритм использован для
определения шероховатости осаждаемой пленки и характеристик образующихся внутренних полостей. Установлено, что
изменение шероховатости пленки связано с развитием структуры микротрещин: внутренние полости залегают под ними. Образование пор приводит к уменьшению плотности пленки по сравнению с объемной.
Розроблено алгоритм визначення поверхневих атомів у сильно деформованих структурах. Методом молекулярної
динаміки досліджено ріст плівок ніобія при вакуумному осаджені. Запропонований алгоритм застосовано для
визначення шорсткості осаджених плівок і характеристик утворених внутрішніх порожнин. Установлено, що зміна
шорсткості плівки пов’язана з розвитком структури “мініярків”. Внутрішні порожнини залягають під цими
“мініярками”. Поява пор призводить до зменшення щільності плівок.
The algorithm of surface atomic structure determine in high deformed materials is devised in this work. The Nb films growth
was investigated by molecular dynamic simulation. The proposed algorithm was used for determination of films surface roughness and characteristics of inner voids. It was established that surface roughness changes connected with “mini ravine” structure
development. Voids are situated under this “mini ravine”. The voids formation leads to decrease of films density.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79542 |
| citation_txt |
Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики / И.Г. Марченко, И.И. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 3. — С. 26-30. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT marčenkoig opredelenieatomnoistrukturypoverhnostitonkihplenokvmetodemolekulârnoidinamiki AT marčenkoii opredelenieatomnoistrukturypoverhnostitonkihplenokvmetodemolekulârnoidinamiki AT neklûdovim opredelenieatomnoistrukturypoverhnostitonkihplenokvmetodemolekulârnoidinamiki AT marčenkoig viznačennâatomnoístrukturitonkihplívokumetodímolekulârnoídinamíki AT marčenkoii viznačennâatomnoístrukturitonkihplívokumetodímolekulârnoídinamíki AT neklûdovim viznačennâatomnoístrukturitonkihplívokumetodímolekulârnoídinamíki AT marčenkoig determinetheatomisticstructureofthesurfaceofthinfilmsinmoleculardynamicssimulation AT marčenkoii determinetheatomisticstructureofthesurfaceofthinfilmsinmoleculardynamicssimulation AT neklûdovim determinetheatomisticstructureofthesurfaceofthinfilmsinmoleculardynamicssimulation |
| first_indexed |
2025-12-07T13:14:33Z |
| last_indexed |
2025-12-07T13:14:33Z |
| _version_ |
1850855415398531072 |