Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена
Были рассмотрены вопросы вакуумно-дуговой очистки поверхности подложки путем бомбардировки ионами хрома и молибдена. Показано, что очистка поверхности ионами этих металлов более эффективна, чем ионами титана или циркония. Були розглянуті питання вакуумно-дугового очищення поверхні підкладинки шляхом...
Saved in:
| Date: | 2009 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2009
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7957 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена / В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 90-95. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-7957 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Столбовой, В.А. 2010-04-22T17:00:23Z 2010-04-22T17:00:23Z 2009 Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена / В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 90-95. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7957 621.793.7 Были рассмотрены вопросы вакуумно-дуговой очистки поверхности подложки путем бомбардировки ионами хрома и молибдена. Показано, что очистка поверхности ионами этих металлов более эффективна, чем ионами титана или циркония. Були розглянуті питання вакуумно-дугового очищення поверхні підкладинки шляхом бомбардування іонами хрому і молібдену. Показано, що очищення поверхні іонами цих металів ефективніше, ніж іонами титану або цирконію. The questions of the vacuum-arc cleaning of surface of substrates were considered by bombardment the ions of chrome and molybdenum. It is rotined that cleaning of surface is more effective the ions of these metals, than by the ions of titan or zirconium. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена Вакуумно-дугове розпилення поверхні підкладки іонами хрому і титану Vacuum arc sputtering of subsrate surface by chrome and molybdenum ions Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена |
| spellingShingle |
Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена Столбовой, В.А. |
| title_short |
Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена |
| title_full |
Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена |
| title_fullStr |
Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена |
| title_full_unstemmed |
Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена |
| title_sort |
вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена |
| author |
Столбовой, В.А. |
| author_facet |
Столбовой, В.А. |
| publishDate |
2009 |
| language |
Russian |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Вакуумно-дугове розпилення поверхні підкладки іонами хрому і титану Vacuum arc sputtering of subsrate surface by chrome and molybdenum ions |
| description |
Были рассмотрены вопросы вакуумно-дуговой очистки поверхности подложки путем бомбардировки ионами хрома и молибдена. Показано, что очистка поверхности ионами этих металлов более эффективна, чем ионами титана или циркония.
Були розглянуті питання вакуумно-дугового очищення поверхні підкладинки шляхом бомбардування іонами хрому і молібдену. Показано, що очищення поверхні іонами цих металів ефективніше, ніж іонами титану або цирконію.
The questions of the vacuum-arc cleaning of surface of substrates were considered by bombardment the ions of chrome and molybdenum. It is rotined that cleaning of surface is more effective the ions of these metals, than by the ions of titan or zirconium.
|
| issn |
1999-8074 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7957 |
| citation_txt |
Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена / В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 90-95. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT stolbovoiva vakuumnodugovoeraspyleniepoverhnostipodložkiionamihromaimolibdena AT stolbovoiva vakuumnodugoverozpilennâpoverhnípídkladkiíonamihromuítitanu AT stolbovoiva vacuumarcsputteringofsubsratesurfacebychromeandmolybdenumions |
| first_indexed |
2025-11-30T18:25:31Z |
| last_indexed |
2025-11-30T18:25:31Z |
| _version_ |
1850858321060298752 |