Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена

Были рассмотрены вопросы вакуумно-дуговой очистки поверхности подложки путем бомбардировки ионами хрома и молибдена. Показано, что очистка поверхности ионами этих металлов более эффективна, чем ионами титана или циркония. Були розглянуті питання вакуумно-дугового очищення поверхні підкладинки шляхом...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2009
Main Author: Столбовой, В.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2009
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7957
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена / В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 90-95. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-7957
record_format dspace
spelling Столбовой, В.А.
2010-04-22T17:00:23Z
2010-04-22T17:00:23Z
2009
Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена / В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 90-95. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7957
621.793.7
Были рассмотрены вопросы вакуумно-дуговой очистки поверхности подложки путем бомбардировки ионами хрома и молибдена. Показано, что очистка поверхности ионами этих металлов более эффективна, чем ионами титана или циркония.
Були розглянуті питання вакуумно-дугового очищення поверхні підкладинки шляхом бомбардування іонами хрому і молібдену. Показано, що очищення поверхні іонами цих металів ефективніше, ніж іонами титану або цирконію.
The questions of the vacuum-arc cleaning of surface of substrates were considered by bombardment the ions of chrome and molybdenum. It is rotined that cleaning of surface is more effective the ions of these metals, than by the ions of titan or zirconium.
ru
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена
Вакуумно-дугове розпилення поверхні підкладки іонами хрому і титану
Vacuum arc sputtering of subsrate surface by chrome and molybdenum ions
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена
spellingShingle Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена
Столбовой, В.А.
title_short Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена
title_full Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена
title_fullStr Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена
title_full_unstemmed Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена
title_sort вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена
author Столбовой, В.А.
author_facet Столбовой, В.А.
publishDate 2009
language Russian
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
format Article
title_alt Вакуумно-дугове розпилення поверхні підкладки іонами хрому і титану
Vacuum arc sputtering of subsrate surface by chrome and molybdenum ions
description Были рассмотрены вопросы вакуумно-дуговой очистки поверхности подложки путем бомбардировки ионами хрома и молибдена. Показано, что очистка поверхности ионами этих металлов более эффективна, чем ионами титана или циркония. Були розглянуті питання вакуумно-дугового очищення поверхні підкладинки шляхом бомбардування іонами хрому і молібдену. Показано, що очищення поверхні іонами цих металів ефективніше, ніж іонами титану або цирконію. The questions of the vacuum-arc cleaning of surface of substrates were considered by bombardment the ions of chrome and molybdenum. It is rotined that cleaning of surface is more effective the ions of these metals, than by the ions of titan or zirconium.
issn 1999-8074
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7957
citation_txt Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена / В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 90-95. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT stolbovoiva vakuumnodugovoeraspyleniepoverhnostipodložkiionamihromaimolibdena
AT stolbovoiva vakuumnodugoverozpilennâpoverhnípídkladkiíonamihromuítitanu
AT stolbovoiva vacuumarcsputteringofsubsratesurfacebychromeandmolybdenumions
first_indexed 2025-11-30T18:25:31Z
last_indexed 2025-11-30T18:25:31Z
_version_ 1850858321060298752