Тензорезистивные свойства пленочных материалов на основе Ni и Mo или Cr
Изучен эффект тензочувствительности, диффузионные процессы и фазовый состав двухслойных пленок на основе Ni и Mo или Ni и Cr. На основе исследований методом ВИМС произведен расчет эффективных коэффициентов взаимной диффузии атомов. Методом электронной микроскопии изучен фазовый состав двухслойных пл...
Saved in:
| Date: | 2009 |
|---|---|
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2009
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7962 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Тензорезистивные свойства пленочных материалов на основе Ni и Mo или Cr / И.П. Бурык, С.И. Воробьев, Л.В. Однодворец // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 115-118. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-7962 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Бурык, И.П. Воробьев, С.И. Однодворец, Л.В. 2010-04-22T17:06:09Z 2010-04-22T17:06:09Z 2009 Тензорезистивные свойства пленочных материалов на основе Ni и Mo или Cr / И.П. Бурык, С.И. Воробьев, Л.В. Однодворец // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 115-118. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7962 621.316.8 Изучен эффект тензочувствительности, диффузионные процессы и фазовый состав двухслойных пленок на основе Ni и Mo или Ni и Cr. На основе исследований методом ВИМС произведен расчет эффективных коэффициентов взаимной диффузии атомов. Методом электронной микроскопии изучен фазовый состав двухслойных пленок Ni/Mo и Ni/Cr и сделан вывод о неполном сохранении индивидуальности отдельных слоев непосредственно после конденсации образцов. Получено, что величина коэффициента тензочувствительности двухслойных пленок лежит в пределах от 3 до 8 единиц, причем при увеличении общей толщины пленки монотонно уменьшается. Вивчений ефект тензочутливості, дифузійні процеси і фазовий склад двошарових плівок на основі Ni і Mo або Ni і Cr. На основі досліджень методом ВІМС проведений розрахунок ефективних коефіцієнтів взаємної дифузії атомів. Методом електронної мікроскопії вивчений фазовий склад двошарових плівок Ni/Mo і Ni/Cr і зроблений висновок про неповне збереження індивідуальності окремих шарів безпосередньо після конденсації зразків. Одержано, що величина коефіцієнта тензочутливості двошарових плівок лежить в межах від 3 до 8 одиниць, причому при збільшенні загальної товщини плівки монотонно зменшується. The effect of strain deformation, diffusion processes and phase composition of double-layer films base on Ni and Mo or Ni and Cr is studied. On the basis of researches by SIMS method the calculation of effective coefficients mutual diffusion of atoms is produced. The method of electronic microscopy studies phase composition of the double-layer films Ni/Mo and Ni/Cr and conclusion about partially saving of individuality separate layers directly after condensation of standards is done. It is got, that the size of coefficient strain deformation of double-layer in limits from 3 to 8 units, thus at the increase of general thickness of film monotonous decrease. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Тензорезистивные свойства пленочных материалов на основе Ni и Mo или Cr Тензорезистивні властивості плівкових матеріалів на основі Ni і Mo або Cr Tensoresistivity properties of film materials base on Ni and Mo or Cr Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Тензорезистивные свойства пленочных материалов на основе Ni и Mo или Cr |
| spellingShingle |
Тензорезистивные свойства пленочных материалов на основе Ni и Mo или Cr Бурык, И.П. Воробьев, С.И. Однодворец, Л.В. |
| title_short |
Тензорезистивные свойства пленочных материалов на основе Ni и Mo или Cr |
| title_full |
Тензорезистивные свойства пленочных материалов на основе Ni и Mo или Cr |
| title_fullStr |
Тензорезистивные свойства пленочных материалов на основе Ni и Mo или Cr |
| title_full_unstemmed |
Тензорезистивные свойства пленочных материалов на основе Ni и Mo или Cr |
| title_sort |
тензорезистивные свойства пленочных материалов на основе ni и mo или cr |
| author |
Бурык, И.П. Воробьев, С.И. Однодворец, Л.В. |
| author_facet |
Бурык, И.П. Воробьев, С.И. Однодворец, Л.В. |
| publishDate |
2009 |
| language |
Russian |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Тензорезистивні властивості плівкових матеріалів на основі Ni і Mo або Cr Tensoresistivity properties of film materials base on Ni and Mo or Cr |
| description |
Изучен эффект тензочувствительности, диффузионные процессы и фазовый состав двухслойных пленок на основе Ni и Mo или Ni и Cr. На основе исследований методом ВИМС произведен расчет эффективных коэффициентов взаимной диффузии атомов. Методом электронной микроскопии изучен фазовый состав двухслойных пленок Ni/Mo и Ni/Cr и сделан вывод о неполном сохранении индивидуальности отдельных слоев непосредственно после конденсации образцов. Получено, что величина коэффициента тензочувствительности двухслойных пленок лежит в пределах от 3 до 8 единиц, причем при увеличении общей толщины пленки монотонно уменьшается.
Вивчений ефект тензочутливості, дифузійні процеси і фазовий склад двошарових плівок на основі Ni і Mo або Ni і Cr. На основі досліджень методом ВІМС проведений розрахунок ефективних коефіцієнтів взаємної дифузії атомів. Методом електронної мікроскопії вивчений фазовий склад двошарових плівок Ni/Mo і Ni/Cr і зроблений висновок про неповне збереження індивідуальності окремих шарів безпосередньо після конденсації зразків. Одержано, що величина коефіцієнта тензочутливості двошарових плівок лежить в межах від 3 до 8 одиниць, причому при збільшенні загальної товщини плівки монотонно зменшується.
The effect of strain deformation, diffusion processes and phase composition of double-layer films base on Ni and Mo or Ni and Cr is studied. On the basis of researches by SIMS method the calculation of effective coefficients mutual diffusion of atoms is produced. The method of electronic microscopy studies phase composition of the double-layer films Ni/Mo and Ni/Cr and conclusion about partially saving of individuality separate layers directly after condensation of standards is done. It is got, that the size of coefficient strain deformation of double-layer in limits from 3 to 8 units, thus at the increase of general thickness of film monotonous decrease.
|
| issn |
1999-8074 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7962 |
| citation_txt |
Тензорезистивные свойства пленочных материалов на основе Ni и Mo или Cr / И.П. Бурык, С.И. Воробьев, Л.В. Однодворец // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 115-118. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT burykip tenzorezistivnyesvoistvaplenočnyhmaterialovnaosnoveniimoilicr AT vorobʹevsi tenzorezistivnyesvoistvaplenočnyhmaterialovnaosnoveniimoilicr AT odnodvoreclv tenzorezistivnyesvoistvaplenočnyhmaterialovnaosnoveniimoilicr AT burykip tenzorezistivnívlastivostíplívkovihmateríalívnaosnovíniímoabocr AT vorobʹevsi tenzorezistivnívlastivostíplívkovihmateríalívnaosnovíniímoabocr AT odnodvoreclv tenzorezistivnívlastivostíplívkovihmateríalívnaosnovíniímoabocr AT burykip tensoresistivitypropertiesoffilmmaterialsbaseonniandmoorcr AT vorobʹevsi tensoresistivitypropertiesoffilmmaterialsbaseonniandmoorcr AT odnodvoreclv tensoresistivitypropertiesoffilmmaterialsbaseonniandmoorcr |
| first_indexed |
2025-11-27T12:34:21Z |
| last_indexed |
2025-11-27T12:34:21Z |
| _version_ |
1850852252797894656 |