Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий
В работе показана возможность и целесообразность дополнительного повышения прочностных (микротвердость) и служебных (эрозионный износ) характеристик композитов “подложкаконденсат” (на примере нержавеющей стали с TiN покрытием) путем использования эффекта глубинной модификации их свойств облучением п...
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2009
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7965 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов, В.А. Белоус, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 133-141. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859643977114845184 |
|---|---|
| author | Кунченко, Ю.В. Кунченко, В.В. Картмазов, Г.Н. Белоус, В.А. Толмачева, Г.Н. |
| author_facet | Кунченко, Ю.В. Кунченко, В.В. Картмазов, Г.Н. Белоус, В.А. Толмачева, Г.Н. |
| citation_txt | Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов, В.А. Белоус, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 133-141. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| description | В работе показана возможность и целесообразность дополнительного повышения прочностных (микротвердость) и служебных (эрозионный износ) характеристик композитов “подложкаконденсат” (на примере нержавеющей стали с TiN покрытием) путем использования эффекта глубинной модификации их свойств облучением плазмой низкоэнергетического тлеющего разряда, горящего в нестабильном режиме ВЧ-колебаний падения катодного потенциала в процессе вакуумно-дугового осаждения как на начальной стадии – ионной очистки при Т ≤ 100 °С (вместо стандартного использования аномального тлеющего разряда), так и/или после завершения процесса конденсации.
У роботі показана можливість та доцільність додаткового підвищення мiцностi (мікротвердість) і службових (ерозійне зношування) характеристик композитів “підкладка-конденсат” (на прикладі нержавіючої сталі з TiN покриттям) шляхом використання ефекту глибинного модифікування їхніх властивостей опроміненням плазмою низкоэнергетичного тліючого розряду, що горить у нестабільному режимі ВЧ коливань падіння катодного потенціалу у процесі вакуумно-дугового осадження як на початковій стадії – іонного очищення при Т ≤ 100 °С (замість стандартного використання аномального тліючого розряду), так й/або після завершення процесу конденсації.
In work the expediency of additional increase strengses (microhardness) and service (erosive deterioration) characteristics of composites “substrate-condensate” (is shown also by the example of stainless steel with TiN a covering) by use of effect of deep updating their properties by an irradiation by plasma of the low-energy glow-discharge burning in an astable mode of RF-fluctuations of falling of cathodic potential during vacuum-arc deposition as at an initial stage – ionic clearing at Т ≤ 100 °С (instead of standard use of the abnormal glow-discharge), and/or after end of process of condensation.
|
| first_indexed | 2025-12-07T13:25:42Z |
| format | Article |
| fulltext |
ФІП ФИП PSE, 2009, т. 7, № 1-2, vol. 7, No. 1-2 133
ВВЕДЕНИЕ
Широко используемые в качестве защитно-
упрочняющих, износостойких и иных видов
функциональных покрытий нитриды (кар-
биды, бориды и пр.) переходных металлов,
их соединения, композиции, во многом опре-
деляющие современный уровень эффектив-
ности деталей машин, узлов трения, обра-
батывающих инструментов и др., не в полной
мере отвечают требованиям эксплуатации в
условиях комплексного воздействия все воз-
растающих нагрузок, температур, агрессив-
ности сред. Дальнейшее повышение физико-
механических, химических, служебных ха-
рактеристик материалов покрытий и в целом
композитов “подложка-конденсат” (изделие-
покрытие) может быть достигнуто не только
путем создания нового класса стабильных
наноструктурированных, многофазных, ком-
позиционных материалов, в т.ч. сверхтвердых
(Hv > 40 ГПа), нанослойных и др., а также
установления условий, параметров (методов)
их осаждения, обеспечивающих необходи-
мые уровни адгезионных, когезионных свя-
зей материала покрытия и подложки [1 – 5],
но и повышения физико-механических, проч-
ностных, служебных характеристик конст-
рукционных, инструментальных материалов
подложки. С целью достижения более вы-
соких служебных характеристик изделий с
такими покрытиями разрабатываются дуп-
лексные методы обработки, сочетающие в
едином технологическом цикле процессы
азотирования и вакуумно-плазменного нане-
сения покрытий, что требует, однако, допол-
нительной термообработки (закалки) мате-
риалов с температурами отпуска ниже тем-
пературы азотирования (∼ 500 °С) [6, 7]. В
связи с этим представляет практический ин-
терес выяснение возможности применения в
процессе вакуумно-дугового осаждения по-
крытий установленного авторами [8, 9] эф-
фекта глубинной модификации свойств мате-
риалов (металлы, сплавы и др.) облучением
их при температурах ≤ 100 °С низкоэнерге-
тической плазмой тлеющего разряда, горя-
щего, как показано в [10], в нестабильном
режиме ВЧ колебаний падения катодного
потенциала и приводящего к существенному
повышению термостабильности, прочности,
служебных характеристик облучаемых мате-
риалов и изделий из них [10, 11]. Настоящая
работа посвящена дальнейшему изучению
влияния на механические, служебные свойст-
ва (микротвердость, эрозионная стойкость)
сталей и композитов “подложка-покрытие”
такого облучения на начальной стадии про-
цесса вакуумно-дугового осаждения – ионной
очистки подложки (вместо стандартно ис-
пользуемого режима стабильно горящего ано-
мального тлеющего разряда [12]), или после
завершения формирования функционального
покрытия на примере эрозионно-стойкого
TiN [13].
УДК 621.793.72; 629.193.6; 620.18
ВЛИЯНИЕ НЕСТАБИЛЬНОГО, НИЗКОЭНЕРГЕТИЧЕСКОГО ТЛЕЮЩЕГО
РАЗРЯДА НА СВОЙСТВА ОБЛУЧАЕМЫХ МАТЕРИАЛОВ В ПРОЦЕССЕ
ВАКУУМНО-ДУГОВОГО ОСАЖДННИЯ ПОКРЫТИЙ
Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов, В.А. Белоус, Г.Н. Толмачева
Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
Украина
Поступила в редакцию 04.06.2009
В работе показана возможность и целесообразность дополнительного повышения прочностных
(микротвердость) и служебных (эрозионный износ) характеристик композитов “подложка-
конденсат” (на примере нержавеющей стали с TiN покрытием) путем использования эффекта
глубинной модификации их свойств облучением плазмой низкоэнергетического тлеющего раз-
ряда, горящего в нестабильном режиме ВЧ-колебаний падения катодного потенциала в процессе
вакуумно-дугового осаждения как на начальной стадии – ионной очистки при Т ≤ 100 °С (вместо
стандартного использования аномального тлеющего разряда), так и/или после завершения
процесса конденсации.
ФІП ФИП PSE, 2009, т. 7, № 1-2, vol. 7, No. 1-2134
УСЛОВИЯ ЭКСПЕРИМЕНТОВ,
МАТЕРИАЛЫ, МЕТОДЫ
В экспериментах использована установка ти-
па “Булат-6” с дополнительным источником
питания, обеспечивающим условия горения
тлеющего разряда в нестабильном режиме ВЧ
колебаний падения катодного потенциала [8,
9, 11]. В качестве материалов подложки
служили механически полированные
(Ra = 0,08 мкм) образцы стали 12Х18Н10Т с
размерами (20×10×10) мм. В качестве испа-
ряемого материала – основы покрытий ис-
пользован титан ВТ1- 0, реактивного газа –
азот с примесями аргона (∼ 0,18%) и кис-
лорода (∼ 0,02%), при обработке в тлеющем
разряде – остаточная атмосфера вакуумной
камеры при давлении Р = 1 ÷ 4 Па и содер-
жании углеводородов – продуктов испарения
вакуумного масла до ∼ 2%. Облучение в тлею-
щем разряде осуществлялось в диапазоне
значений параметров, обусловливающих эф-
фекты дальнодействия, “объемной” моди-
фикации свойств материалов: расстояние
анод-катод L = 50 ÷ 70 см, площадь анода
Sa = 0,03 м2, катода Sк = 0,2 м2, ток разряда
I = 30 ÷ 100 мА, напряжение горения
U = 1,5 ÷ 2,0 кВ. [9]. Облучаемые образцы
размещались на подложкодержателе уста-
новки “Булат-6”, служащего катодом в про-
цессе облучения тлеющим разрядом и нахо-
дящемся под задаваемым в соответствии с ус-
ловиями эксперимента ускоряющим отрица-
тельным потенциалом (Uп) в процессе ион-
ной очистки и конденсации покрытия. Темпе-
ратура образцов измерялась вмонтированной
в них хромель-алюмелевой микротермопарой
и пирометром “Гефест”. В качестве критерия
оценки упрочнения в результате облучения
тлеющим разрядом использованы значения
микротвердости исходных и облученных об-
разцов без покрытий и с покрытиями на осно-
ве нитридов титана TiNx. Микротвердость
(Hv) и глубина внедрения индентора (h*)
определены при помощи микротвердомера
ПМТ-3 с алмазной пирамидой Виккерса и
наноиндентора “NANO G200” с пирамидой
Берковича. Измерения микротвердости (Hv)
покрытий проведены с учетом соблюдения
необходимых условий, учитывающих допус-
тимые значения отношений толщины (h) по-
крытия (на “мягкой” подложке) и глубины
внедрения (h*) индентора [14], а также струк-
турно-фазовых особенностей вакуумно-дуго-
вых конденсатов, для которых характерна
ячеистая морфология поверхности [15], на-
личие металлической (Ti) капельной фазы,
как на поверхности, так и внутри покрытия.
За достоверную, присущую основной фазе
(TiNx) микротвердость, принимается ее сред-
нее из 5 ÷ 10 максимальных значений, отли-
чающихся между собой не более, чем на
5 ÷ 10%. Считаем при этом, что меньшие зна-
чения Hv обусловлены влиянием поверх-
ностных и/или подповерхностных включе-
ний “мягкой” фазы или отклонением от до-
пустимых значений h/h* ≤ 10 (табл. 1).
Таблица 1
Влияние отношения толщины покрытия (h) к глубине проникновения индентора (h*)
на величину микротвердости (Hv)
Толщина
покрития
h, мкм
P = 0,2 N P = 0,5 N P = 1,0 N P = 2,0 N
Примечание
Hv h* k Hv h* k Hv h* k Hv h* k
3,0 2100 0,5 1000 1,4 2,0 570 2,6 1,2 300 5,0 0,60,6 Толщина покры-
тия мала, значе-
ния Hv занижены
6,0 2300 10,0 1700 1,0 6,0 1100 1,8 3,3 450 4,5 1,30,6 Влияние мягкой
подлжки
12,0 2600 24,0 2500 0,9 13,0 2400 1,3 9,5 2300 1,5 8,00,5
Толщина покры-
тия достаточна;
нет влияния под-
ложки
24,0 – – – – – 2450 1,3 18,0 2400 1,7 14,0–
Нет влияния под-
ложки
Примечание: Hv – среднее значение микротвердости, ГПа; h* - глубина отпечатка, мкм; k – отношение толщины
покрытия к глубине отпечатка – h/h*.
ВЛИЯНИЕ НЕСТАБИЛЬНОГО, НИЗКОЭНЕРГЕТИЧЕСКОГО ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА НА СВОЙСТВА ОБЛУЧАЕМЫХ МАТЕРИАЛОВ...
ФІП ФИП PSE, 2009, т. 7, № 1-2, vol. 7, No. 1-2 135
Установлено, что процентное содержание
таких значений в общем количестве измере-
ний (n ∼ 10 ÷ 20) коррелирует с объемным ко-
личеством капельной фазы в покрытии, кото-
рое зависит от природы испаряемого матери-
ала, условий горения дугового разряда, давле-
ния реакционного газа и др. [16]. Так, напри-
пмер, установлено, что значения Hv ≤ 16 ГПа,
полученные измерением “случайных” уко-
лов, составило ∼ 13% при содержании капель
в общем объеме ∼ 10 %. Для уменьшения
влияния “strain rate” эффекта [17] на величину
Hv при малых нагрузках на индентор, время
выдержки под нагрузкой при измерении
составляло 10 ÷ 15 сек. Конденсация тонкого
подслоя титана (h ∼ 0,2 мкм) осуществляется
при снижении Uп до –100 В непосредственно
после очистки подложки облучением тлею-
щим разрядом и распылением ионами титана
в вакууме (∼ 1⋅10–3 Па) при U = –1,2 кВ в те-
чении τ = 2 мин. и Тп ≈ 400 °С. формирование
опытных партий TiN покрытий осуществлено
при следующих условиях:
• Партия 1А – давление азота PN=6,7⋅10–1
Па, Uп = – 200 В; Iд = 90 А; j = 4 мА⋅см–2;
Тп = 320 ÷ 340 °С; τ = 120 мин.
• Партия 1В – отличается дополнительным
облучением после завершения формиро-
вания TiN покрытия и его охлаждения до
Тп < 50 °С нестабильным тлеющим разря-
дом при Uп = –1,9 кВ в течении τ = 30 мин.
при I = 30, 40 60 и 80 мА; (соответ-
ственно: j = 0,02, 0,03 и 0,08 мА⋅см–2);
• Партия 2А – получена при PN= 6,7⋅10–1 Па,
Uп = –200 В; Iд = 110 А; j = 6 мА⋅см–2;
Тп = 500 °С; τ = 45 мин.
• Партия 2В – дополнительно облучена не-
стабильным тлеющим разрядом при
Uп = –2 кВ, I = 60 мА и Тп = 75 °С в тече-
нии τ = 30 мин.
Структурно-фазовые характеристики оп-
ределены стандартными методами рентге-
новской дифрактометрии с использованием
ДРОН-3.0 и CuKα-излучения. Изменения
состава облученных образцов установлены
методом рентгеновской фотоэлектронной
спектроскопии (РФЭС) [18]. Морфология
поверхности покрытий, микроструктура их
изучены при помощи оптического металло-
графического микроскопа “ММО-1600”,
электронного – JEOL-100CX и МВЭ-100Л.
Толщина покрытий определена при исполь-
зовании микроинтерферометра МИИ-4. Эро-
зионные испытания проведены в воздушно-
пылевом потоке в условиях, аналогичных
описанным в [13]: концентрация пыли (мо-
лотый кварцевый песок ≤ 300 мкм) – (2 ÷
3)⋅10–3 кг/м3, скорость частиц V ∼ 200 м/с,
угол падения потока ϕ = 70°, убыль массы
(∆m) определена взвешиванием образцов.
РЕЗУЛЬТАТЫ, ОБСУЖДЕНИЕ
Также как и для ранее изученных металлов,
сплавов [9, 10], микротвердость облученных
образцов стали 12Х18Н10Т существенно за-
висит от исходного структурно-фазового сос-
тояния, времени облучения (τ), плотности
ионного тока (j), температуры (Т), энергии
частиц, определяемой потенциалом горения
(U). При этом максимальный прирост Hv
достигается при оптимальных значениях
Uп = 2 кВ, j = 0,02 мА⋅см-2, Т = 45 ÷ 50 °С, за
время облучения τ ≥ 10 мин. и локализуется
вблизи ребра образцов (рис. 1, кр. 3), в зоне
максимальных искажений кристаллической
решетки, обусловленных механической об-
работкой при их изготовлении (рис. 1, кр. 1),.
За время длительной выдержки (60 суток) об-
лученных образцов микротвердость этой зо-
ны снижается до значений, присущих цент-
ральной части этих образцов (рис. 1, кр. 4),
оставаясь выше уровня значений Hv исходных
образцов на ∼ 20% (сравни рис. 1 кр. 1 и 4).
Термический отжиг исходных образцов при
Т = 100 ° С в течении 60 мин. не приводит к
увеличению их микротвердости (рис.1, кр.2),
что свидетельствует о радиационной, а не
термической природе эффекта повышения Hv
облучаемых образцов. Снижение микротвер-
дости в зоне максимальных искажений в ис-
ходных и облученных образцах со временем
их выдержки в нормальных условиях и при
отжиге обусловлено, как было установлено в
[10], релаксацией “избыточных”, незакре-
пленных дислокаций в то время, как закре-
пленные вследствие образования в процессе
облучения комплексов “дефект – атомы внед-
рения” с энергией диссоциации (связи), пре-
Ю.В. КУНЧЕНКО, В.В. КУНЧЕНКО, Г.Н. КАРТМАЗОВ, В.А. БЕЛОУС, Г.Н. ТОЛМАЧЕВА
ФІП ФИП PSE, 2009, т. 7, № 1-2, vol. 7, No. 1-2136
вышающей энергии их связи в исходном сос-
тоянии, оказываются “стабильными” в тече-
нии длительного времени наблюдений
(∼ 200 суток) и отжигов при Т ≤ 500 °С в те-
чении τ ∼ 60 мин. [10].
Измерения Hv в широких диапазонах зна-
чений нагрузок на индентор (Р) позволяет не
только учитывать завышенные значения Hv в
области малых Р, обусловленные так называе-
мым “размерным эффектом” (indentation size
effect – ISE) [14], но и получать дополнитель-
ные сведения о свойствах приповерхностной
зоны исследуемых материалов как при ста-
ционарных режимах измерений (например,
с помощью ПМТ-3), так и при записи диа-
грамм внедрения.
Из рис. 2 следует, что эффект повышения
микротвердости стали вследствие облучения
проявляется при измерениях Hv в широком
интервале нагрузок на индентор (Р) от 0,2 до
2,0 N. При этом наблюдается аналогичный
характер ее зависимости от Р и глубины вне-
дрения (h*) для исходного – (1) и облученного
– (2) состояний. Особенностью является
снижение Hv в интервале значений Р1 ≤ 0,5 N
(h* ≤ 3 мкм) и Р2 ≤ 1,0 N (h* ≤ 3,5 мкм) –
(рис. 2 кр. 1 и 2) соответственно. Множество
факторов определяют “размерный эффект”
– увеличение значений микротвердости с
уменьшением нагрузки на индентор, глубины
его внедрения. Его проявление вызывается
как отклонением от условия подобия при
уменьшении глубины внедрения, так и осо-
бенностями структурно – фазового состояния
приповерхностных слоев облучаемых мате-
риалов, наличием примесей, пор, особеннос-
тей морфологии поверхности и др., а также
условий индентирования [14, 17]. Сталь
12Х18Н10Т имеет высокий коэффициент
деформационного упрочнения. Поэтому при
характерной для нее однородности Hv наблю-
даемая область повышенных значений мик-
ротвердости исходных (деформированных)
образцов до глубины h* ≤ 3 мкм (Р1 ≤ 0,5 N)
может быть обусловлена как ISE эффектом,
так и в основном высоким уровнем искаже-
ний кристаллической решетки, вызванных
механической обработкой при изготовлении
образцов. Это следует из сравнения с анало-
гичным увеличением Hv, наблюдаемым в зоне
ребра исходных образцов и снижением Hv
после отжига (сравни рис. 1, кр. 1 и 2). Рас-
ширенные области повышенных значений Hv
облученных образцов при измерении в глуби-
ну (рис. 2, кр. 2) до h* ≈ 4 мкм (Р ≈ 1,0 N) и
по поверхности (рис. 1, кр. 3) на расстоянии
до ∼ 5 мкм сужаются после отжига до уровня,
обусловленного не ISE эффектом, а упрочне-
нием, вследствие облучения тлеющим разря-
дом, а также по результатам РФЭС – образо-
ванием поверхностного слоя (∼ 0,2 ÷ 0,3 мкм)
на основе соединений компонентов оста-
точной среды горения тлеющего разряда и
элементов подложки (карбиды, оксиды и др.),
т.к. в результате измерений Hv исходных, ото-
женных образцов не обнаруживается повы-
шения Hv (рис.1, кр.2).
Рис. 1. Распределение микротвердости (Hv) и схема
ее измерения на образце 12Х18Н10Т: 1 – исходное
состояние; 2 – после отжига при 100 °С, τ = 60 мин.;
3 – после облучения исходного образца; 4 – после 60
суток со времени облучения.
Рис. 2. Изменение микротвердости (Hv) cтали
12Х18Н10Т в зависимости от нагрузок на индентор
(Р) глубины внедрения (h*) в исходном состоянии –
(1) и после облучения – (2).
ВЛИЯНИЕ НЕСТАБИЛЬНОГО, НИЗКОЭНЕРГЕТИЧЕСКОГО ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА НА СВОЙСТВА ОБЛУЧАЕМЫХ МАТЕРИАЛОВ...
ФІП ФИП PSE, 2009, т. 7, № 1-2, vol. 7, No. 1-2 137
Таким образом, ранее опубликованные и
представленные в настоящей работе резуль-
таты изучения влияния облучения низкоэнер-
гетической плазмой тлеющего разряда, горя-
щего в нестабильном режиме ВЧ колебаний
падения катодного потенциала на свойства
конструкционных, инструментальных мате-
риалов, следует, что существенное повыше-
ние их физико-механических свойств и, как
следствие, служебных характеристик, может
быть реализовано в условиях стандартных
установок типа “Булат” путем облучения из-
делий (подложки) на начальной стадии ион-
ной очистки процесса вакуумно-дугового оса-
ждения вместо используемого режима стаби-
льного горения аномального тлеющего раз-
ряда, не приводящего к эффекту упрочнения
в процессе облучения при Т ≤ 100 °С.
Исследуемые TiN покрытия нанесены пос-
ле полного цикла ионной очистки поверхнос-
ти образцов плазмой тлеющего разряда и рас-
пыления ускоренными до энергий Еi ≈ 2 кэВ
ионами Ti поверхностных (≤ 0,2 мкм) слоев
– продуктов плазмо-химических реакций
компонентов плазмы тлеющего разряда, ос-
таточной атмосферы, элементов подложки
[12]. При этом соблюдены стандартные режи-
мы осаждения в диапазоне значений парамет-
ров, которые определяют оптимальные слу-
жебные характеристики таких покрытий в
т.ч. их эрозионную стойкость и др. [13].
На рис. 3 – микрофотографии морфологии
поверхности TiN покрытий, которая характе-
ризуется типичной ячеистой структурой, на-
личием шарообразных (рис. 3а), а также рас-
плавленных в момент падения на подложку
капель Ti (рис. 3б) и конусоподобных обра-
зований (рис. 4), формирующихся под
воздействием бомбардирующих ускоренных
(Uп = –200 В) ионов в процессе конденсации.
Из рис. 5 следует, что долетающие до по-
верхности конденсации крупные (≤ 10 мкм)
капли Ti, находятся в расплавленном состоя-
а)
б)
Рис. 3. Морфология поверхности покрытий TiN:
а) – внешний вид: б) – съемка в режиме Y – модуляции
(JEOL 100CX).
Рис. 4. Нанорельеф поверхности TiN в зоне наноин-
дентирования (NANO G200).
Рис. 5. Микроструктура поперечного сечения TiN
покрытия (ММО – 1600).
Ю.В. КУНЧЕНКО, В.В. КУНЧЕНКО, Г.Н. КАРТМАЗОВ, В.А. БЕЛОУС, Г.Н. ТОЛМАЧЕВА
ФІП ФИП PSE, 2009, т. 7, № 1-2, vol. 7, No. 1-2138
нии, а мелкие (≤ 1 мкм), шаровидные капли
– в остывшем. Для данных условий экспери-
ментов объемная доля капельной фазы сос-
тавляет ≤ 10%.
Формирование микро-, нанослойной
структуры (рис. 6) является особенностью не
только покрытий TiNx, но и иных – на основе
соединений переходных металлов с неметал-
лами (нитриды, карбиды и др. [19 ÷ 22]).
Вертикальные элементы структуры нам пред-
ставляются границами спайности столбчатых
(“колонных”) элементов микроструктуры,
обычно наблюдаемых на хрупких изломах
покрытий и присущих, как правило, покры-
тиям, получаемым вакуумно-плазменными
методами, которые характеризуются относи-
тельно низкими уровнями ионизации компо-
нентов осаждаемых потоков, плотности ион-
ного тока (магнетронное распыление, реак-
тивное испарение и т.п.
Методом РФЭС проведено сравнительное
изучение состава поверхностей покрытий в
исходном и облученном состояниях по спект-
ральным линиям C1S, O1S, N1S, Ti2P. Установ-
лено, что на поверхности исходного покры-
тия кроме TiN (с отношением N/Ti = 1,1 ± 0,2)
обнаруживается TiO2 (O/Ti = 1,9 ± 0,2), а так-
же органические соединения углерода, кис-
лорода, азота. После облучения покрытия
тлеющим разрядом поверхность покрывается
слоем (≤ 0,2мкм) окислов TiO2, соотношение
концентраций компонентов на поверхности
составляет: O/Ti = 2,3 ± 0,3; С/Ti = 3,0 ± 0,3;
N/Ti = 0,1 ± 0,05.
Рентгендифрактометрический фазовый
анализ показывает, что в данных условиях
осаждения формирующиеся покрытия сос-
тоят из близкого к стехиометрическому сос-
таву TiN. Отличия в условиях осаждения –
главным образом в значениях плотности ион-
ного тока (j), температуры подложки (Т), вре-
мени конденсации обусловливают различия
в характере текстуры и степени ее совершенс-
тва, микро-, макронапряжениях и, как следст-
вие – в значениях микротвердости (рис. 7 –
9; табл. 2).
Наблюдаемые особенности характера за-
висимостей (рис. 7) значений нанотвердости
(Н) от глубины внедрения индентора (h*) до
∼ 1000 ÷ 1300 нм (при Pmax = 0,5 N) обуслов-
ливаются наличием ISE – эффекта, струк-
турно-фазовыми неоднородностями, элемен-
тами рельефа поверхности покрытия (впади-
ны, конусоподобные образования, капли и
др.), соизмеримые с глубиной отпечатка (рис.
4). При этом особенно существенным “раз-
брос” получаемых значений (Н) наблюдается
до глубины внедрения ∼ 500 нм в исходных,
не облученных образцах и составляет интер-
вал от ∼ 10 до ∼ 50 ГПа. В облученных этот
“разброс” сужается, свидетельствуя об улуч-
шении однородности поверхности (рис. 8).
И только при нагрузке на индентор
P = 0,5 N средние значения (Н) совпадают со
Рис. 6. Нанослойная структура TiN покрытия
(ЭМВ-100Л, реплика).
Рис. 7. Зависимость нанотвердости (Н) и микротвер-
дости (Hv) TiN покрытий (партия 2В) от глубины внед-
рения (h*) инденторов Берковича и Виккерса – соот-
ветственно.
ВЛИЯНИЕ НЕСТАБИЛЬНОГО, НИЗКОЭНЕРГЕТИЧЕСКОГО ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА НА СВОЙСТВА ОБЛУЧАЕМЫХ МАТЕРИАЛОВ...
ФІП ФИП PSE, 2009, т. 7, № 1-2, vol. 7, No. 1-2 139
значениями (Hv) (см. рис. 7, 8), получаемыми
стандартным методом измерений микротвер-
дости (ПМТ-3) с пирамидой Виккерса при на-
грузках на индентор Р = 0,5 ÷ 1,0 N (рис. 7 –
9) и соблюдении условий измерений (табл.
1).
Это может быть обусловлено как образую-
щимся на их поверхности тонкого слоя про-
дуктов плазмохимического взаимодействия
компонентов остаточной среды горения раз-
ряда с элементами материала подложки (оки-
слы, нитриды, карбиды и др.), так и возмож-
ными эффектами модификации их свойств
под воздействием облучения тлеющим разр-
ядом (табл. 2).
Из данных табл. 2 видно, что существен-
ных изменений структурно-фазовых характе-
ристик основной фазы покрытий TiN в резу-
льтате облучения, не происходит. При этом,
если с увеличением нагрузки на индентор в
случае измерения образцов (1А, 1В) с тол-
щиной покрытий h = 20 мкм влияние под-
ложки обнаруживается при одинаковых зна-
чениях Р ≥ 1,75 N для облученных (1А) и не
облученных (1В) состояний, то для покрытий
толщиной h = 9 мкм (облученные 2А) влия-
ние подложки на Hv сказывается при большей
нагрузке (Р ≥1,25 N), чем для не облученных
(2В) – Р = 0,75 N. Это значит, что при той же
степени упрочнения облученного покрытия
в этом случае смещение предела “чувстви-
тельности” Hv по отношению к влиянию ма-
териала подложки может быть обусловлено
упрочнением подложки. Иными словами
можно считать, что в процессе облучения
композита “подложка-покрытие” плазмой
тлеющего разряда, горящего в режиме ВЧ ко-
лебаний падения катодного потенциала, при
определенной толщине покрытия наблюдает-
ся эффект дальнодействия, следствием кото-
рого является упрочнение материала подлож-
Рис. 8. Зависимость средних значений нанотвердости
(Н) и микротвердости (Hv) от глубины внедрения ин-
денторов (h*) для изучаемых партий образцов в исход-
ном (1А, В и 2А, В) и облученном состояниях.
Рис. 9. Зависимости от нагрузки на индентор (Р) мик-
ротвердости (Hv) и глубины внедрения (h*) для по-
крытий TiN в исходном состоянии (1В, 2В) и после
облучения (1А, 2А) при толщине покрытий h = 20 мкм
(1А, В) и 9 мкм – (2А, В).
Партия
Состав
покрытий
Параметр ре-
шетки а, нм
L(111),
нм
dh, плас-
тичность
h,
мкм Текстура ε⋅10–3 σ, ГПа Е, ГПа Н, ГПа
1А Облученное
TiN, TiO2
20 0,4238 (111) 3,0 –3,8 20 427 35 0,36
1B Исходное
TiN
20 0,4238 (111) 3,3 –4,0 25 437 30 0,35
2А Облученное
TiN, TiO2
9 0,4236 (111),
(311)
1,6 –4,8 35 400 26 0,36
2B Исходное
TiN
9 0,4236 (111),
(311)
1,8 –5,0 80 380 22 0,38
Таблица 2
Структурно-фазовые и механические характеристики покрытий TiN в исходном и после
облучения тлеющим разрядом состояниях
Ю.В. КУНЧЕНКО, В.В. КУНЧЕНКО, Г.Н. КАРТМАЗОВ, В.А. БЕЛОУС, Г.Н. ТОЛМАЧЕВА
ФІП ФИП PSE, 2009, т. 7, № 1-2, vol. 7, No. 1-2140
ки. Наличие такого эффекта упрочнения под-
тверждается результатами сравнительных
эрозионных испытаний (рис. 10) образцов
стали 12Х18Н10Т с TiN покрытиями в исход-
ном и облученном состояниях, аналогичными
партии (1А и 1В). Из характера зависимостей
кривых эрозионного износа (убыли массы по-
крытия) следует, что эффект упрочнения ска-
зывается на последней стадии испытаний,
вблизи границы с материалом подложки, в зо-
не влияния ее прочностных свойств на про-
цесс эрозионного разрушения покрытия.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Результаты работы свидетельствуют о воз-
можности и целесообразности дополнитель-
ного повышения прочностных, служебных
характеристик композитов “подложка-кон-
денсат” (изделие-покрытие) путем использо-
вания эффекта глубинной модификации
свойств материалов при облучении их плаз-
мой низкоэнергетического тлеющего разряда,
горящего в нестабильном режиме ВЧ колеба-
ний падения катодного потенциала в про-
цессе вакуумно-дугового осаждения как на
начальной стадии – ионной очистки при
Т ≤ 100 °С (вместо стандартного использо-
вания аномального тлеющего разряда), так
и/или после завершения процесса конден-
сации.
ЛИТЕРАТУРА
1. Veprek Stan, Maritza G.J., Veprek-Neijman, Kar-
vankova Pavla, Prochazka Ian. Different approa-
ches to superhard coatings and nanocomposites
//Thin. Sol. Films. –2005. – Vol. 476. – P. 1-29.
2. Levchik D. Plasma assisted techniques for depo-
sition of superhard nanocomposite coatings//Sur-
face and Coatings Technol. – 2007. – Vol. 201. –
P. 6071-6077.
3. Musil J., Baroch P., Zeman P. Plasma Surfase
Engeneering and its Practical Applications.
Chap. 1: Hard nanocomposite coatings Present
status and Trends//Research Singpost Publisher
University of West Bohemia Pilsen. – 2007. –
P. 2-33.
4. Лякишев Н.П. Нанокристаллические структу-
ры – новое направление развития конструкци-
онных материалов//Весник Российской Акад.
наук. – 2003. – Т. 73, № 5. – С. 422-425.
5. Левашов Е.А., Штанский Д.В. Многофункци-
ональные наноструктурные пленки//Успехи
химии. – 2007. – 76 (5). – С. 501-509.
6. Саблев Л.П., Андреев А.А., Кунченко В.В.
Дуплексная обработка поверхностей изделий
машиностроения//Труды Научно-практичес-
кого симпозиума “Оборудование и техноло-
гии термической обработки металлов и спла-
вов в машиностроении” - ОТТОМ. – Харьков.
– 2000. – С. 183-185.
7. Андреев А.А., Кунченко В.В. Саблев Л.П.,
Шулаев В.М. Дуплексная обработка поверх-
ностей стальных изделий//Технология маши-
ностроения. – 2002. – № 3 (15). – С. 36-38.
8. Tereschko I.V., Khodyrev V.I., Tereschko V.M.,
Lipsky E.A., Goncharenja A.V. S. Ofori-Sey.
Self – organizing processes in metals by low-
energy ion beams//Nuclear Instrum and Methods
in Physics Research. – 1993. – B. 80/81. –
Р. 115-119.
9. Козлов Э.В., Терешко И.В., Попова Н.А. Фи-
зическая картина модификации поверхност-
ных слоев и объема металлов и сплавов при
воздействии низкоэнергетической плазмой//
Изв. высш. уч. зав., физика. – 1994. – № 5. –
С. 127-140.
10. Неклюдов И.М., Кунченко Ю.В., Картма-
зов Г.Н., Кунченко В.В., Ломино Н.С., Савчен-
ко В.И. Природа и механизм модификации
материалов на большую глубину при обра-
ботке низкоэнергетической плазмой тлеюще-
го разряда//Физика и химия обработки мате-
риалов. – 2005. – № 4. – С. 17-27.
11. Картмазов Г.Н., Кунченко В.В., Ломино Н.С.,
Сопрыкин Л.И.. Особенности поведения ле-
гированных материалов при воздействии низ-
коэнергетической плазмы тлеющего разряда
(исследования и практическое использо-
Рис. 10. Изменения эрозионного износа (∆m) TiN по-
крытий в исходном состоянии и после облучения в
течение различного времени в тлеющем разряде в за-
висимости от расхода песка (см3) воздушно-пылевого
потока.
ВЛИЯНИЕ НЕСТАБИЛЬНОГО, НИЗКОЭНЕРГЕТИЧЕСКОГО ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА НА СВОЙСТВА ОБЛУЧАЕМЫХ МАТЕРИАЛОВ...
ФІП ФИП PSE, 2009, т. 7, № 1-2, vol. 7, No. 1-2 141
вание)//Материалы VIII Конф. стран СНГ по
проблеме “Радиационная повреждаемость и
работоспособность конструкционных
материалов” (Белгород). –1997. – С. 140-142.
12. Гребенюк В.Ф., Рудаков В.И. Плазменные по-
крытия на деформируемом инструменте// Ва-
куумные технологии и оборудование. Харь-
ковская научная ассамблея, ICVTE- 6(Харь-
ков). – 2003. – С. 147-150.
13. Кунченко В.В., Андреев А.А., Картмазов Г.Н.
Структура и свойства эрозионностойких ва-
куумно-дуговых покрытий на основе нитри-
дов титана// Научные ведомости (Белгородс-
кий Гос. Университет) Сер.: Физика. – 2001.
– № 2 (15). – С. 21-25.
14. Veprek S., Mukherjee S., Karvankova P.,
M@nnling H.-D., He J.L., Moto K. Limits to the
strength of super – and ultrahard nanocomposite
coatings//I. Vac. Sci. Technol. – 2003. –
Vol. A21(3). – P. 532-544.
15. Кунченко Ю.В., Кунченко В.В., Картма-
зов Г.Н.. О формировании микро-, нанослой-
ных покрытий методом вакуумно-дугового
осаждения//Физическая инженерия поверх-
ности. – 2004. – Т. 2. – № 1. – С. 102-108.
16. Аксенов И.И., Коновалов И.И., Кудрявце-
ва Е.Е. и др. Исследование капельной фазы
эрозии катода стационарной вакуумной дуги
//ЖТФ. – 1984. – Т. 54, Вып. 8. – С. 1530-1533.
17. Doerner M.F., Nix W.D. A methed for inter-
preting the date from depth-sensing indentation
instruments//I. Mater. Res. – 1986. – Vol. 1(4).
– P. 601-609.
18. Kazarinov J.G., Gritzina V.T., Sidorenko I.V.
Processing of photoelectron spectroscopy for
advanced chemical analysis//Functional mate-
rials – 2004. – Vol. 11. – P.131-135.
19. Аксенов И.И., Кунченко В.В., Брень В.Г., Ло-
кошко В.В Покрытия на основе компонентов
стали Х18Н10Т, полученные способом КИБ
//Физика и химия обработки металлов. – 1981.
– № 5. – C. 100-104.
20. Брень В.Г., Кунченко В.В., Локошко В.В.,
Маштакова Г.С., Падалка В.Г., Сопрыкин Л.И.
Износостойкие нитридсодержащие покрытия
на основе сплавов молибдена, полученные
методом КИБ//Защита металлов. – 1981. –
T. 17, № 3. – C. 284-289.
21. Кунченко В.В., Аксенов И.И. Формирование
TiN покрытий конденсацией плазмы дуги с
положительным анодным падением потен-
циала//Вопросы атомной науки и техники,
сер.: Физика радиационных повреждений и
радиационное материаловедение. – 2000. –
Вып. 4(78). – C. 165-172.
22. Кунченко В.В., Кунченко Ю.В., Картма-
зов Г.Н., Неклюдов И.М., Мигаль А.А., Рома-
нов А.А., Гладких Н.Т., Крышталь А.П., Каза-
ринов Ю.Г. Наноструктурные сверхтвердые
nc-TiN/a-Si3N4 – покрытия, полученные ме-
тодом вакуумно-дугового осаждения//ВАНТ
Сер.: ФРП и РМ. – 2006. – № 4(89). –
С. 185-190.
Ю.В. КУНЧЕНКО, В.В. КУНЧЕНКО, Г.Н. КАРТМАЗОВ, В.А. БЕЛОУС, Г.Н. ТОЛМАЧЕВА
ВПЛИВ НЕСТАБІЛЬНОГО,
НИЗЬКОЕНЕРГЕТИЧНОГО ТЛІЮЧОГО
РОЗРЯДУ НА ВЛАСТИВОСТІ
ОПРОМІНЕНИХ МАТЕРІАЛІВ В
ПРОЦЕСІ ВАКУУМНО-ДУГОВОГО
ОСАДЖЕННЯ ПОКРИТТІВ
Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко,
Г.Н. Картмазов, В.А. Белоус, Г.Н. Толмачева
У роботі показана можливість та доцільність до-
даткового підвищення мiцностi (мікротвердість)
і службових (ерозійне зношування) характерис-
тик композитів “підкладка-конденсат” (на прик-
ладі нержавіючої сталі з TiN покриттям) шляхом
використання ефекту глибинного модифікування
їхніх властивостей опроміненням плазмою низ-
коэнергетичного тліючого розряду, що горить у
нестабільному режимі ВЧ коливань падіння ка-
тодного потенціалу у процесі вакуумно-дугового
осадження як на початковій стадії – іонного очи-
щення при Т ≤ 100 °С (замість стандартного ви-
користання аномального тліючого розряду), так
й/або після завершення процесу конденсації.
INFLUENCE OF LOW ENERGY GLOW
DISCHARGE TO THE PROPERTIES OF
IRRADIATED MATERIALS IN THE
PROCESS OF VACUUM-ARC DEPOSITION
Y.V. Kunchenko, V.V. Kunchenko, G.N.
Kartmazov, V.A. Belous, G.N. Tolmacheva
In work the expediency of additional increase streng-
ses (microhardness) and service (erosive deteriora-
tion) characteristics of composites “substrate-con-
densate” (is shown also by the example of stainless
steel with TiN a covering) by use of effect of deep
updating their properties by an irradiation by plasma
of the low-energy glow-discharge burning in an
astable mode of RF-fluctuations of falling of cathodic
potential during vacuum-arc deposition as at an initial
stage – ionic clearing at Т ≤ 100 °С (instead of stan-
dard use of the abnormal glow-discharge), and/or
after end of process of condensation.
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-7965 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T13:25:42Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Кунченко, Ю.В. Кунченко, В.В. Картмазов, Г.Н. Белоус, В.А. Толмачева, Г.Н. 2010-04-22T17:09:37Z 2010-04-22T17:09:37Z 2009 Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов, В.А. Белоус, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 133-141. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7965 621.793.72; 629.193.6; 620.18 В работе показана возможность и целесообразность дополнительного повышения прочностных (микротвердость) и служебных (эрозионный износ) характеристик композитов “подложкаконденсат” (на примере нержавеющей стали с TiN покрытием) путем использования эффекта глубинной модификации их свойств облучением плазмой низкоэнергетического тлеющего разряда, горящего в нестабильном режиме ВЧ-колебаний падения катодного потенциала в процессе вакуумно-дугового осаждения как на начальной стадии – ионной очистки при Т ≤ 100 °С (вместо стандартного использования аномального тлеющего разряда), так и/или после завершения процесса конденсации. У роботі показана можливість та доцільність додаткового підвищення мiцностi (мікротвердість) і службових (ерозійне зношування) характеристик композитів “підкладка-конденсат” (на прикладі нержавіючої сталі з TiN покриттям) шляхом використання ефекту глибинного модифікування їхніх властивостей опроміненням плазмою низкоэнергетичного тліючого розряду, що горить у нестабільному режимі ВЧ коливань падіння катодного потенціалу у процесі вакуумно-дугового осадження як на початковій стадії – іонного очищення при Т ≤ 100 °С (замість стандартного використання аномального тліючого розряду), так й/або після завершення процесу конденсації. In work the expediency of additional increase strengses (microhardness) and service (erosive deterioration) characteristics of composites “substrate-condensate” (is shown also by the example of stainless steel with TiN a covering) by use of effect of deep updating their properties by an irradiation by plasma of the low-energy glow-discharge burning in an astable mode of RF-fluctuations of falling of cathodic potential during vacuum-arc deposition as at an initial stage – ionic clearing at Т ≤ 100 °С (instead of standard use of the abnormal glow-discharge), and/or after end of process of condensation. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий Вплив нестабільного, низькоенергетичного тліючого розряду на властивості опромінених матеріалів в процесі вакуумно-дугового осадження покриттів Influence of low energy glow discharge to the properties of irradiated materials in the process of vacuum-arc deposition Article published earlier |
| spellingShingle | Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий Кунченко, Ю.В. Кунченко, В.В. Картмазов, Г.Н. Белоус, В.А. Толмачева, Г.Н. |
| title | Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий |
| title_alt | Вплив нестабільного, низькоенергетичного тліючого розряду на властивості опромінених матеріалів в процесі вакуумно-дугового осадження покриттів Influence of low energy glow discharge to the properties of irradiated materials in the process of vacuum-arc deposition |
| title_full | Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий |
| title_fullStr | Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий |
| title_full_unstemmed | Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий |
| title_short | Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий |
| title_sort | влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7965 |
| work_keys_str_mv | AT kunčenkoûv vliânienestabilʹnogonizkoénergetičeskogotleûŝegorazrâdanasvoistvaoblučaemyhmaterialovvprocessevakuumnodugovogoosaždnniâpokrytii AT kunčenkovv vliânienestabilʹnogonizkoénergetičeskogotleûŝegorazrâdanasvoistvaoblučaemyhmaterialovvprocessevakuumnodugovogoosaždnniâpokrytii AT kartmazovgn vliânienestabilʹnogonizkoénergetičeskogotleûŝegorazrâdanasvoistvaoblučaemyhmaterialovvprocessevakuumnodugovogoosaždnniâpokrytii AT belousva vliânienestabilʹnogonizkoénergetičeskogotleûŝegorazrâdanasvoistvaoblučaemyhmaterialovvprocessevakuumnodugovogoosaždnniâpokrytii AT tolmačevagn vliânienestabilʹnogonizkoénergetičeskogotleûŝegorazrâdanasvoistvaoblučaemyhmaterialovvprocessevakuumnodugovogoosaždnniâpokrytii AT kunčenkoûv vplivnestabílʹnogonizʹkoenergetičnogotlíûčogorozrâdunavlastivostíopromínenihmateríalívvprocesívakuumnodugovogoosadžennâpokrittív AT kunčenkovv vplivnestabílʹnogonizʹkoenergetičnogotlíûčogorozrâdunavlastivostíopromínenihmateríalívvprocesívakuumnodugovogoosadžennâpokrittív AT kartmazovgn vplivnestabílʹnogonizʹkoenergetičnogotlíûčogorozrâdunavlastivostíopromínenihmateríalívvprocesívakuumnodugovogoosadžennâpokrittív AT belousva vplivnestabílʹnogonizʹkoenergetičnogotlíûčogorozrâdunavlastivostíopromínenihmateríalívvprocesívakuumnodugovogoosadžennâpokrittív AT tolmačevagn vplivnestabílʹnogonizʹkoenergetičnogotlíûčogorozrâdunavlastivostíopromínenihmateríalívvprocesívakuumnodugovogoosadžennâpokrittív AT kunčenkoûv influenceoflowenergyglowdischargetothepropertiesofirradiatedmaterialsintheprocessofvacuumarcdeposition AT kunčenkovv influenceoflowenergyglowdischargetothepropertiesofirradiatedmaterialsintheprocessofvacuumarcdeposition AT kartmazovgn influenceoflowenergyglowdischargetothepropertiesofirradiatedmaterialsintheprocessofvacuumarcdeposition AT belousva influenceoflowenergyglowdischargetothepropertiesofirradiatedmaterialsintheprocessofvacuumarcdeposition AT tolmačevagn influenceoflowenergyglowdischargetothepropertiesofirradiatedmaterialsintheprocessofvacuumarcdeposition |