Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий
В работе показана возможность и целесообразность дополнительного повышения прочностных (микротвердость) и служебных (эрозионный износ) характеристик композитов “подложкаконденсат” (на примере нержавеющей стали с TiN покрытием) путем использования эффекта глубинной модификации их свойств облучением п...
Saved in:
| Date: | 2009 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2009
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7965 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов, В.А. Белоус, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 133-141. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-7965 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Кунченко, Ю.В. Кунченко, В.В. Картмазов, Г.Н. Белоус, В.А. Толмачева, Г.Н. 2010-04-22T17:09:37Z 2010-04-22T17:09:37Z 2009 Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов, В.А. Белоус, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 133-141. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7965 621.793.72; 629.193.6; 620.18 В работе показана возможность и целесообразность дополнительного повышения прочностных (микротвердость) и служебных (эрозионный износ) характеристик композитов “подложкаконденсат” (на примере нержавеющей стали с TiN покрытием) путем использования эффекта глубинной модификации их свойств облучением плазмой низкоэнергетического тлеющего разряда, горящего в нестабильном режиме ВЧ-колебаний падения катодного потенциала в процессе вакуумно-дугового осаждения как на начальной стадии – ионной очистки при Т ≤ 100 °С (вместо стандартного использования аномального тлеющего разряда), так и/или после завершения процесса конденсации. У роботі показана можливість та доцільність додаткового підвищення мiцностi (мікротвердість) і службових (ерозійне зношування) характеристик композитів “підкладка-конденсат” (на прикладі нержавіючої сталі з TiN покриттям) шляхом використання ефекту глибинного модифікування їхніх властивостей опроміненням плазмою низкоэнергетичного тліючого розряду, що горить у нестабільному режимі ВЧ коливань падіння катодного потенціалу у процесі вакуумно-дугового осадження як на початковій стадії – іонного очищення при Т ≤ 100 °С (замість стандартного використання аномального тліючого розряду), так й/або після завершення процесу конденсації. In work the expediency of additional increase strengses (microhardness) and service (erosive deterioration) characteristics of composites “substrate-condensate” (is shown also by the example of stainless steel with TiN a covering) by use of effect of deep updating their properties by an irradiation by plasma of the low-energy glow-discharge burning in an astable mode of RF-fluctuations of falling of cathodic potential during vacuum-arc deposition as at an initial stage – ionic clearing at Т ≤ 100 °С (instead of standard use of the abnormal glow-discharge), and/or after end of process of condensation. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий Вплив нестабільного, низькоенергетичного тліючого розряду на властивості опромінених матеріалів в процесі вакуумно-дугового осадження покриттів Influence of low energy glow discharge to the properties of irradiated materials in the process of vacuum-arc deposition Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий |
| spellingShingle |
Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий Кунченко, Ю.В. Кунченко, В.В. Картмазов, Г.Н. Белоус, В.А. Толмачева, Г.Н. |
| title_short |
Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий |
| title_full |
Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий |
| title_fullStr |
Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий |
| title_full_unstemmed |
Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий |
| title_sort |
влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий |
| author |
Кунченко, Ю.В. Кунченко, В.В. Картмазов, Г.Н. Белоус, В.А. Толмачева, Г.Н. |
| author_facet |
Кунченко, Ю.В. Кунченко, В.В. Картмазов, Г.Н. Белоус, В.А. Толмачева, Г.Н. |
| publishDate |
2009 |
| language |
Russian |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Вплив нестабільного, низькоенергетичного тліючого розряду на властивості опромінених матеріалів в процесі вакуумно-дугового осадження покриттів Influence of low energy glow discharge to the properties of irradiated materials in the process of vacuum-arc deposition |
| description |
В работе показана возможность и целесообразность дополнительного повышения прочностных (микротвердость) и служебных (эрозионный износ) характеристик композитов “подложкаконденсат” (на примере нержавеющей стали с TiN покрытием) путем использования эффекта глубинной модификации их свойств облучением плазмой низкоэнергетического тлеющего разряда, горящего в нестабильном режиме ВЧ-колебаний падения катодного потенциала в процессе вакуумно-дугового осаждения как на начальной стадии – ионной очистки при Т ≤ 100 °С (вместо стандартного использования аномального тлеющего разряда), так и/или после завершения процесса конденсации.
У роботі показана можливість та доцільність додаткового підвищення мiцностi (мікротвердість) і службових (ерозійне зношування) характеристик композитів “підкладка-конденсат” (на прикладі нержавіючої сталі з TiN покриттям) шляхом використання ефекту глибинного модифікування їхніх властивостей опроміненням плазмою низкоэнергетичного тліючого розряду, що горить у нестабільному режимі ВЧ коливань падіння катодного потенціалу у процесі вакуумно-дугового осадження як на початковій стадії – іонного очищення при Т ≤ 100 °С (замість стандартного використання аномального тліючого розряду), так й/або після завершення процесу конденсації.
In work the expediency of additional increase strengses (microhardness) and service (erosive deterioration) characteristics of composites “substrate-condensate” (is shown also by the example of stainless steel with TiN a covering) by use of effect of deep updating their properties by an irradiation by plasma of the low-energy glow-discharge burning in an astable mode of RF-fluctuations of falling of cathodic potential during vacuum-arc deposition as at an initial stage – ionic clearing at Т ≤ 100 °С (instead of standard use of the abnormal glow-discharge), and/or after end of process of condensation.
|
| issn |
1999-8074 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7965 |
| citation_txt |
Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов, В.А. Белоус, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 133-141. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT kunčenkoûv vliânienestabilʹnogonizkoénergetičeskogotleûŝegorazrâdanasvoistvaoblučaemyhmaterialovvprocessevakuumnodugovogoosaždnniâpokrytii AT kunčenkovv vliânienestabilʹnogonizkoénergetičeskogotleûŝegorazrâdanasvoistvaoblučaemyhmaterialovvprocessevakuumnodugovogoosaždnniâpokrytii AT kartmazovgn vliânienestabilʹnogonizkoénergetičeskogotleûŝegorazrâdanasvoistvaoblučaemyhmaterialovvprocessevakuumnodugovogoosaždnniâpokrytii AT belousva vliânienestabilʹnogonizkoénergetičeskogotleûŝegorazrâdanasvoistvaoblučaemyhmaterialovvprocessevakuumnodugovogoosaždnniâpokrytii AT tolmačevagn vliânienestabilʹnogonizkoénergetičeskogotleûŝegorazrâdanasvoistvaoblučaemyhmaterialovvprocessevakuumnodugovogoosaždnniâpokrytii AT kunčenkoûv vplivnestabílʹnogonizʹkoenergetičnogotlíûčogorozrâdunavlastivostíopromínenihmateríalívvprocesívakuumnodugovogoosadžennâpokrittív AT kunčenkovv vplivnestabílʹnogonizʹkoenergetičnogotlíûčogorozrâdunavlastivostíopromínenihmateríalívvprocesívakuumnodugovogoosadžennâpokrittív AT kartmazovgn vplivnestabílʹnogonizʹkoenergetičnogotlíûčogorozrâdunavlastivostíopromínenihmateríalívvprocesívakuumnodugovogoosadžennâpokrittív AT belousva vplivnestabílʹnogonizʹkoenergetičnogotlíûčogorozrâdunavlastivostíopromínenihmateríalívvprocesívakuumnodugovogoosadžennâpokrittív AT tolmačevagn vplivnestabílʹnogonizʹkoenergetičnogotlíûčogorozrâdunavlastivostíopromínenihmateríalívvprocesívakuumnodugovogoosadžennâpokrittív AT kunčenkoûv influenceoflowenergyglowdischargetothepropertiesofirradiatedmaterialsintheprocessofvacuumarcdeposition AT kunčenkovv influenceoflowenergyglowdischargetothepropertiesofirradiatedmaterialsintheprocessofvacuumarcdeposition AT kartmazovgn influenceoflowenergyglowdischargetothepropertiesofirradiatedmaterialsintheprocessofvacuumarcdeposition AT belousva influenceoflowenergyglowdischargetothepropertiesofirradiatedmaterialsintheprocessofvacuumarcdeposition AT tolmačevagn influenceoflowenergyglowdischargetothepropertiesofirradiatedmaterialsintheprocessofvacuumarcdeposition |
| first_indexed |
2025-12-07T13:25:42Z |
| last_indexed |
2025-12-07T13:25:42Z |
| _version_ |
1850856117188427776 |