О характере влияния различных газов на процесс конденсации покрытий из плазмы вакуумной дуги

• Date: 2009
• Main Authors: Хороших, В.М., Леонов, С.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2009
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7972
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: О характере влияния различных газов на процесс конденсации покрытий из плазмы вакуумной дуги / В.М. Хороших, С.А. Леонов // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 268-272. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Изучено влияние давления аргона, кислорода и азота на скорость конденсации потоков плазмы вакуумной дуги. Для аргона основным процессом, определяющим характер зависимости скорости осаждения от давления газа, является упругое рассеяние частиц металла на атомах газа. Для кислорода наряду с упругим рас...