Структурно-фазовые изменения в приповерхностных слоях титанового сплава TiNi, после ионной имплантации
В работе представлены результаты исследования структуры и химического состава TiNi после имплантации ионами N+, N+ и Ni+ с помощью TЕМ, DSC, AES- спектроскопии. Показано что в приповерхностном слое формируется двойной слой, состоящий из аморфоподобной структурой, обогащенной Ti и Ni, под которым нах...
Gespeichert in:
| Datum: | 2009 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2009
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7977 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Структурно-фазовые изменения в приповерхностных слоях титанового сплава TiNi, после ионной имплантации / А.Д. Погребняк, В.М. Береснев, N. Levintant, Л.В. Маликов, С.Н. Братушка, Н.К. Ердыбаева // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 239-243. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860055430276841472 |
|---|---|
| author | Погребняк, А.Д. Береснев, В.М. Levintant, N. Маликов, Л.В. Братушка, С.Н. Ердыбаева, Н.К. |
| author_facet | Погребняк, А.Д. Береснев, В.М. Levintant, N. Маликов, Л.В. Братушка, С.Н. Ердыбаева, Н.К. |
| citation_txt | Структурно-фазовые изменения в приповерхностных слоях титанового сплава TiNi, после ионной имплантации / А.Д. Погребняк, В.М. Береснев, N. Levintant, Л.В. Маликов, С.Н. Братушка, Н.К. Ердыбаева // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 239-243. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| description | В работе представлены результаты исследования структуры и химического состава TiNi после имплантации ионами N+, N+ и Ni+ с помощью TЕМ, DSC, AES- спектроскопии. Показано что в приповерхностном слое формируется двойной слой, состоящий из аморфоподобной структурой, обогащенной Ti и Ni, под которым находится слой микрокристаллической структуры, обогащенный Ti.
В работі наведені результати дослідження структури та хімічного складу TiNi після імплантації іонамі N+, N+ та Ni+ за допомогою ПЄМ, DSC, ожє-спектроскопії. Та наноіндентування. Показано що у приповерхневому шарі формується підвійний шар із аморфоподібної структури, збагаченой Ti та Ni, під яким знаходится шар мікрокристалічної структури, збагачноной Ti.
In this paper the resalts of investigation of structure and chemical composition of TiNi after an implantation by ions N+, N+ and Ni+ with the help of TЕМ, DSC, AES- spectroscopy are presented. It is shown that in a near-surface layer the double layer consisting from similar amorphous structure enriched Ti and Ni is formed, under which one there is a layer of microcrystalline structure enriched Ti.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:00:46Z |
| format | Article |
| fulltext |
ФІП ФИП PSE, 2009, т. 7, № 3, vol. 7, No. 3 239
ВВЕДЕНИЕ
Анализ свойств металлических материалов
и сплавов показал, что наилучшим комплек-
сом функциональных свойств (обратимая де-
формация, характеристические температуры
мартенситных превращений и др.) с высоки-
ми значениями механических свойств обла-
дают сплавы с эффектом памятью форм к ко-
торым относится никелид титана (TiNi). Для
сплавов TiNi с составом, близким к эвтекти-
ческому, характерен переход от кубической
В2 (аустенитной фазы) к моноклинной В19
(мартенситной) фазе при комнатной темпе-
ратуре. Они испытывают структурно-фазовое
превращение сдвигового или мартенситного
типа при изменении температуры или воз-
действии внешнего напряжения. Эти сплавы
проявляют высокие эластичные свойства,
способны изменять свою форму при измене-
нии температуры и не разрушаться в условиях
знакопеременной нагрузки [1 – 3].
За счет своих уникальных свойств, сплавы
TiNi с эффектом памяти формы, широко при-
меняются в медицине для изготовления им-
плантантов, медицинских инструментов, ко-
смической отрасли.
Одним из путей улучшения механических
характеристик (твердости, износостойкости,
снижения коэффициента трения т.д.) поверх-
ностных слоев сплава TiNi, коррозионных
УДК 669.295.539.121.537.534
CТРУКТУРНО-ФАЗОВЫЕ ИЗМЕНЕНИЯ В ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ
СЛОЯХ ТИТАНОВОГО СПЛАВА TiNi, ПОСЛЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ
А.Д. Погребняк*, В.М. Береснев***, N. Levintant**, Л.В. Маликов***,
С. Н. Братушка****, Н.К. Ердыбаева*****
*Сумский государственный институт
Украина
**Division Surface Layer, Institute of Fundamental Technological Research (Warzawа)
Poland
***Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины (г. Харьков)
Украина
****Сумской институт модификации поверхности
Украина
*****Восточно-Казахстанский государственный технический университет
(Усть-Каменогорск) Казахстан
Поступила в редакцию 21.09.2009
В работе представлены результаты исследования структуры и химического состава TiNi после
имплантации ионами N+, N+ и Ni+ с помощью TЕМ, DSC, AES- спектроскопии. Показано что в
приповерхностном слое формируется двойной слой, состоящий из аморфоподобной струк-
турой, обогащенной Ti и Ni, под которым находится слой микрокристаллической структуры,
обогащенный Ti.
Ключевые слова: титановые сплавы, ионная имплантация, фазовые превращения, аморфо-
подобные слои.
В работі наведені результати дослідження структури та хімічного складу TiNi після імплантації
іонамі N+, N+ та Ni+ за допомогою ПЄМ, DSC, ожє-спектроскопії. Та наноіндентування. Пока-
зано що у приповерхневому шарі формується підвійний шар із аморфоподібної структури,
збагаченой Ti та Ni, під яким знаходится шар мікрокристалічної структури, збагачноной Ti.
Ключові слова: титанові сплави, іона імплантація, фазові перетворення, аморфоподібні шари.
In this paper the resalts of investigation of structure and chemical composition of TiNi after an imp-
lantation by ions N+, N+ and Ni+ with the help of TЕМ, DSC, AES- spectroscopy are presented. It is
shown that in a near-surface layer the double layer consisting from similar amorphous structure en-
riched Ti and Ni is formed, under which one there is a layer of microcrystalline structure enriched Ti.
Keywords: titanium alloys, ion implantation, phase transformations, similar amorphous layers.
ФІП ФИП PSE, 2009, т. 7, № 3, vol. 7, No. 3240
свойств, при одновременном сохранении
функциональных свойств материалов, обла-
дающих эффектом памяти формы, является
ионной имплантации. Поэтому целью дан-
ной работы, является исследование струк-
туры приповерхностных слоев TiNi после
имплантации высоких доз ионов N+ и после-
довательной имплантации N+ и Ni+.
МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
Образцами служил титановый сплав TiNi,
размером 25×5×0,5 мм, следующего состава:
48,5% Ti и 51,5% Ni. В исходном состоянии
образцы были отожжены в вакууме при тем-
пературе 823 К в течение 30 мин с последую-
щим медленным охлаждением. После охлаж-
дения поверхность образцов были протрав-
лена 10% раствором НСlO4 и 90% уксусной
кислоты. Перед имплантацией образцы поли-
ровались. Имплантация ионов N+ проводи-
лась на полупромышленном ускорителе га-
зовых ионов JMJON, энергией около 60 кэВ
и доза имплантации составляла ∼ 1018 см–2.
Имплантация ионов Ni+, осуществлялось
с помощью вакуумно-дугового источника
“Диана” с энергией 60 кэВ. Доза импланта-
ции не превышала 5⋅1017 см–2, температура
подложки при этом составляла не более 487К
(проводилось охлаждение положки проточ-
ной водой или продувкой газообразного
азота). Облучение проводилось в вакууме
≈10–3 Па. Длительность импульсов 200 мкс,
частота следования импульсов 50 Гц.
Характеристические температуры, кине-
тику и последовательность мартенситных
превращений в TiNi изучали методом диффе-
ренциальной сканирующей калориметрии
(ДСК). Образцы помещали в дифференциаль-
ный сканирующий калориметр DSC Peris-1,
определяли температуры и кинетику прямого
и обратного мартенситных переходов по зави-
симостям теплового потока от температуры.
При охлаждении и нагревании скорость изме-
нения температуры составляла 10° С/мин. Из-
мерения твердости поверхностных слоев
осуществлялась пирамидкой Берковича на
приборе Nano Indentor-II
РЕЗУЛЬТАТЫ И ОБСУЖДЕНИЯ
На рис. 1, 2 представлены кривые нагревания
и охлаждения для исходного и имплантиро-
ванного образца TiNi, полученные при помо-
щи (ДСК).
При нагревании наблюдается один асим-
метричный температурный пик, т.е. при на-
гревания пик напрямую соответствует аусте-
нитной фазе (β2-фазе) с Тнач. = 324,6 К и
Ткон. = 335,3 К для исходного образца и с
Тнач. = 326,2 К и Ткон. = 338,6 К для ионно-им-
плантированного образца.
При охлаждении в сплаве TiNі фазовые
превращения происходят в две стадии (см.
рис. 2). Видно, что при прямом мартенситном
превращении наблюдаются два температур-
ных пика, энтальпии, которых близки к
B2 → R и R → B19 переходам.
В процессе охлаждения сначала осущест-
вляется мартенситное превращение из куби-
ческой структуры В2 в ромбоэдрическую R, а
затем при дальнейшем охлаждении образует-
ся моноклинная B19 мартенситная структура.
Два пика в направлении охлаждения, соот-
Рис. 1. Изменение теплового потока в сплаве TiNi при
нагревание через интервалы полных мартенситных
превращений: 1 – до имплантации; 1′ – cоответствую-
щие R-фазе; 2 – после имплантации азотом (энергия
60 кэВ, доза 1⋅1018 см–2).
Рис. 2. Изменение теплового потока в сплаве TiNi при
охлаждение нагревание через интервалы полных мар-
тенситных превращений: 1 – до имплантации; 1′ – cо-
ответствующие R-фазе; 2 – после имплантации азо-
том (энергия 60 кэВ, доза 1⋅1018 см–2).
CТРУКТУРНО-ФАЗОВЫЕ ИЗМЕНЕНИЯ В ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЯХ ТИТАНОВОГО СПЛАВА TiNi, ПОСЛЕ ИОННОЙ ...
ФІП ФИП PSE, 2009, т. 7, № 3, vol. 7, No. 3 241
ветствующие R-фазе и мартенситной фазе
β19’, были определены при температурах
фазовых превращений соответственно:
Тнач. = 318,1 К и Ткон. = 310,8 К; Тнач. = 292 К и
Ткон. = 274 К для исходного сплава, и
Тнач. = 316,3 К и Ткон. = 310,2 К; Тнач. = 297,7 К и
Ткон. = 284,6 К для ионно-имплантированного
образца TiNi.
Известно, что изменение соотношения
атомов титана и никеля изменяет относите-
льную величину деформаций ребер полиэд-
ров и локальное распределение напряжений
[4]. Так, при содержании никеля концентра-
цией менее 50 ат.% согласно диаграмме сос-
тояния наряду с фазой В2 (TiNi) в структуре
сплава присутствует некоторое количество
фазы Ti2Ni, кристаллическая структура кото-
рой образована икосаэдрическими кластера-
ми [5]. Увеличение содержания титана сверх
стехиометрии 1:1 подавляет образование R-
фазы: икосаэдрические кластеры в решетке
исходной фазы уже есть, и октаэдрические
кластеры R-фазы дестабилизрованы их при-
сутствием, и состояние с R-фазой не наблю-
дается.
Увеличение содержания никеля стабили-
зирует фазу В2, а значит и увеличивает время
жизни кластеров R-фазы соответственно, в
связи с чем и наблюдается постепенный пе-
реход от последовательности (B
2
→R) к по-
следовательности (R → B
19
).
Результаты элементного анализа (оже-
спектроскопия), проведенного на образцах
TiNi, имплантированных последовательно
ионами азота дозой 1018 см–2, а затем ионами
Ni+ дозой 5⋅1017 см-2 приведены на рис. 3, 4.
Из результатов приведенных на рис. 3
вблизи поверхности в исходном состоянии
присутствуют углерод (С) и кислород (О), а
после распыления в течение 15 – 18 мин. в
образце обнаружено только никель и титан в
концентрациях близких в эквиатомическому
составу. После имплантации концентрация
никеля в поверхностном слое уменьшается
почти до 10 ат.% за счет распыления по-
верхности.
Вследствие того, что достаточно трудно
разделить пики азота и титана, то с помощью
метода оже-электронной спектроскопии был
построен профиль TiN (рис. 4), который сви-
детельствует, что глубина проникновение
ионов N+ составляет порядка 280 ÷ 300 нм.
Известно, что процессы, происходящие
при взаимодействии ускоренных ионов с кри-
сталлической решеткой оказывают влияние
на распределении элементов и дефектов по
глубине модифицированного слоя [6 – 8].
При ионной имплантации дозой 1018 см-2, в
TiNi вводятся ионы очень высокой концент-
рации (до 90 – 100%). Это приводит к об-
разованию обособленного двойного слоя, как
с различной микроструктурой, так и фазовым
и химическим составом. Столкновения нале-
тающего иона с атомами матрицы TiNi при
такой дозе приводит к формированию аморф-
ной прослойки (поверхностного слоя). Ана-
лиз результатов исследования этой области
методом просвечивающей микроскопии сви-
детельствует, что аморфоподобный слой сод-
ержит некоторое количество включений в
этом объеме (участки Р1 и Р2 на рис. 5а) вбли-
Рис. 3. Элементный состав (оже-профили), получен-
ный с образцов сплава – TiNi.
Рис. 4. Элементный состав (оже-профили), получен-
ный с образцов сплава – TiNi, после имплантации
азотом (энергия 60 кэВ, доза 1018 см–2).
А.Д. ПОГРЕБНЯК, В.М. БЕРЕСНЕВ, N. LEVINTANT, Л.В. МАЛИКОВ, С. Н. БРАТУШКА, Н.К. ЕРДЫБАЕВА
ФІП ФИП PSE, 2009, т. 7, № 3, vol. 7, No. 3242
зи главной границы дна просвечивающей зо-
ны на микроскопе (Р2-область). Это является
подтверждением того, что процессы аморфи-
зации проходят очень быстро там, где наблю-
дается большое количество столкновений
ионов с атомами решетки. Именно поэтому
максимум области нарушений (дефектов)
смещен ближе к поверхности образца, а не
вглубь материала.
В результате различных напряжений меж-
ду бездефектной областью и дефектным сло-
ем в модифицированном слое формируется
много трещин при травлении фольги. Об-
ласть с глубиной от 80 до 160 нм имеет крис-
таллическую микроструктуру (рис. 5б). Ниже
этой области находятся более мелкие зерна
исходного материала. Изменение соотноше-
ния титана и никеля изменяет относительную
величину деформаций ребер полиэдров и ло-
кальное распределение напряжений. При со-
держании никеля менее 50 ат.% согласно
диаграмме состояния наряду с фазой В2 (TiNi)
в структуре сплава присутствует некоторое
количество фазы Ti2Ni, кристаллическая
структура которой образована икосаэдричес-
кими кластерами [5].
Исследование нанотвердости сплава TiNi
свидетельствует, что твердость Н = 4,8 ГПа;
модуль упругости Е = 66 ГПа; We ~ 61%. Низ-
кое значение модуля упругости Е ~ 66 ГПа
является характерным для сплавов с ЭПФ
(эффектом памяти формы) вследствие фор-
мирования особого фазово-структурного сос-
тояния вблизи интервала мартенситного пре-
вращения.
После имплантации ионов N дозой
1018 см–2 происходит увеличение твердости до
7,7 ГПа, а имплантация Ni дозой 5⋅1017 см–2
приводит к увеличению твердости до 8,4 ГПа.
ВЫВОДЫ
1. Исходные и имплантированные в данной
серии образцов при охлаждении претер-
певают две стадии фазовых превращений
β2 → R → β19' и одну фазу в процессе на-
гревания.
2. В приповерхностной области TiNi фор-
мируется двойной слой с различной мик-
роструктурой. До глубины порядка 80 нм
от поверхности в образцах наблюдается
аморфная структура, в которой формиру-
ется два подслоя – сначала Ti и Ni, а также
аморфоподобные структуры. Во втором
подслое, расположенном на глубине 80 –
160 нм от облучаемой поверхности, обна-
ружена область, обогащенная Ti-кристал-
литами. За этой областью находится
структура TiNi (исходное состояние), с
зернами, имеющими заметно меньшие
размеры.
3. Обнаружена корреляция между элемент-
ным составом, микроструктурой, эффек-
том памяти формы и механическими
свойствами приповерхностного слоя
сплава TіNі, имплантированного ионами.
Установлено, что имплантация ионов N+
дозой 1018 см–2 повышает твердость от
4,4 ГПа до 7,7 ГПа, при дальнейшей им-
плантации Nі+ дозой 5⋅1017 см-2 до 8,4 ГПа.
ЛИТЕРАТУРА
1. Shevchenko N., Pham M-T., Maitz M.F. Studies
of surface modified NiTi alloy//Appl. Surf. Sci.
– 2004. – Vol. 235. – P. 126-131.
2. Humbeeck J. Preface to the viewpoint set on:
shape memory alloys//Scripta Mater. – 2004. –
Vol. 50. – P. 179-180.
Рис. 5. Темнопольное изображение имплантированно-
го ионами TiNi сплава, указывающее на структурные
изменения вблизи приповерхностного слоя: а) – об-
ласть приповерхностного слоя глубиной до 80 нм;
б) – область приповерхностного слоя глубиной от
80 нм.
CТРУКТУРНО-ФАЗОВЫЕ ИЗМЕНЕНИЯ В ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЯХ ТИТАНОВОГО СПЛАВА TiNi, ПОСЛЕ ИОННОЙ ...
ФІП ФИП PSE, 2009, т. 7, № 3, vol. 7, No. 3 243
3. Chrobak D, Morawiec H. Thermodynamic ana-
lysis of the martensitic transformation of plas-
tically deformed NiTi alloy//Scr Mater. – 2001.
– Vol. 44. – P. 725-730.
4. Крапошин В.С., Талис А.Л., Панкова М.Н.
Политопный топологический подход к описа-
нию мартенситного превращения//МиТом. –
1999. – № 8. – С. 23-28.
5. Шуберт К. Кристаллические структуры двух-
компонентных фаз/Пер. с нем. – М.: Метал-
лургия, 1964. 468 с.
6. Pogrebnjak А.D. Tolopa A.M. A revive of high-
dose implantation and production of ion mixed
structures //Nucl. Instr. and Meth. – 1990. –
Vol. B52. – Р. 24-43.
7. Бахарев О.Г., Погребняк А.Д., Базыль Е.А.,
Соколов С.В. Исследование эффекта дально-
действия при высодозовой ионной имплан-
тации в металлы//Металлофизика и новей-
шие технологии. – 1999. – T. 21, № 8. –
C. 61-70.
8. Комаров Ф.Ф. Ионная имплантация в метал-
лы. – М.: Энергоатомиздат, 1990. – 262 с.
А.Д. Погребняк, В.М. Береснев, N. Levintan,
Л.В. Маликов, С.Н. Братушка, Н.К. Ердыбаева, 2009.
Береснев Вячеслав Мартынович – ведущий научный сотрудник НФТЦ, профессор кафедры
материалов реакторостроения ХНУ имени В.Н. Каразина (по совместительству).
Маликов Леонид Васильевич – научный сотрудник НФТЦ, соискатель кафедры физических
технологий.
А.Д. ПОГРЕБНЯК, В.М. БЕРЕСНЕВ, N. LEVINTANT, Л.В. МАЛИКОВ, С. Н. БРАТУШКА, Н.К. ЕРДЫБАЕВА
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-7977 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T17:00:46Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Погребняк, А.Д. Береснев, В.М. Levintant, N. Маликов, Л.В. Братушка, С.Н. Ердыбаева, Н.К. 2010-04-23T11:16:11Z 2010-04-23T11:16:11Z 2009 Структурно-фазовые изменения в приповерхностных слоях титанового сплава TiNi, после ионной имплантации / А.Д. Погребняк, В.М. Береснев, N. Levintant, Л.В. Маликов, С.Н. Братушка, Н.К. Ердыбаева // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 239-243. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7977 669.295.539.121.537.534 В работе представлены результаты исследования структуры и химического состава TiNi после имплантации ионами N+, N+ и Ni+ с помощью TЕМ, DSC, AES- спектроскопии. Показано что в приповерхностном слое формируется двойной слой, состоящий из аморфоподобной структурой, обогащенной Ti и Ni, под которым находится слой микрокристаллической структуры, обогащенный Ti. В работі наведені результати дослідження структури та хімічного складу TiNi після імплантації іонамі N+, N+ та Ni+ за допомогою ПЄМ, DSC, ожє-спектроскопії. Та наноіндентування. Показано що у приповерхневому шарі формується підвійний шар із аморфоподібної структури, збагаченой Ti та Ni, під яким знаходится шар мікрокристалічної структури, збагачноной Ti. In this paper the resalts of investigation of structure and chemical composition of TiNi after an implantation by ions N+, N+ and Ni+ with the help of TЕМ, DSC, AES- spectroscopy are presented. It is shown that in a near-surface layer the double layer consisting from similar amorphous structure enriched Ti and Ni is formed, under which one there is a layer of microcrystalline structure enriched Ti. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Структурно-фазовые изменения в приповерхностных слоях титанового сплава TiNi, после ионной имплантации Article published earlier |
| spellingShingle | Структурно-фазовые изменения в приповерхностных слоях титанового сплава TiNi, после ионной имплантации Погребняк, А.Д. Береснев, В.М. Levintant, N. Маликов, Л.В. Братушка, С.Н. Ердыбаева, Н.К. |
| title | Структурно-фазовые изменения в приповерхностных слоях титанового сплава TiNi, после ионной имплантации |
| title_full | Структурно-фазовые изменения в приповерхностных слоях титанового сплава TiNi, после ионной имплантации |
| title_fullStr | Структурно-фазовые изменения в приповерхностных слоях титанового сплава TiNi, после ионной имплантации |
| title_full_unstemmed | Структурно-фазовые изменения в приповерхностных слоях титанового сплава TiNi, после ионной имплантации |
| title_short | Структурно-фазовые изменения в приповерхностных слоях титанового сплава TiNi, после ионной имплантации |
| title_sort | структурно-фазовые изменения в приповерхностных слоях титанового сплава tini, после ионной имплантации |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7977 |
| work_keys_str_mv | AT pogrebnâkad strukturnofazovyeizmeneniâvpripoverhnostnyhsloâhtitanovogosplavatiniposleionnoiimplantacii AT beresnevvm strukturnofazovyeizmeneniâvpripoverhnostnyhsloâhtitanovogosplavatiniposleionnoiimplantacii AT levintantn strukturnofazovyeizmeneniâvpripoverhnostnyhsloâhtitanovogosplavatiniposleionnoiimplantacii AT malikovlv strukturnofazovyeizmeneniâvpripoverhnostnyhsloâhtitanovogosplavatiniposleionnoiimplantacii AT bratuškasn strukturnofazovyeizmeneniâvpripoverhnostnyhsloâhtitanovogosplavatiniposleionnoiimplantacii AT erdybaevank strukturnofazovyeizmeneniâvpripoverhnostnyhsloâhtitanovogosplavatiniposleionnoiimplantacii |