The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron
The results of calculations of atom flows, sputtered from a cathode of special cylindrical magnetron sputtering system, presented. The atoms flow in cylinder magnetron will be larger with respect to planar magnetron due to the axial symmetry of the system. It is shown that deposition rate weakly dep...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2005 |
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2005
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79777 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron / O.A. Panchenko, A.A. Goncharov, A.V. Demchishin, E.G. Kostin, S.N. Pavlov, B.V. Stetsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 170-172. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862582713299501056 |
|---|---|
| author | Panchenko, O.A. Goncharov, A.A. Demchishin, A.V. Kostin, E.G. Pavlov, S.N. Stetsenko, B.V. |
| author_facet | Panchenko, O.A. Goncharov, A.A. Demchishin, A.V. Kostin, E.G. Pavlov, S.N. Stetsenko, B.V. |
| citation_txt | The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron / O.A. Panchenko, A.A. Goncharov, A.V. Demchishin, E.G. Kostin, S.N. Pavlov, B.V. Stetsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 170-172. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | The results of calculations of atom flows, sputtered from a cathode of special cylindrical magnetron sputtering system, presented. The atoms flow in cylinder magnetron will be larger with respect to planar magnetron due to the axial symmetry of the system. It is shown that deposition rate weakly depends on the diameter of substrate. The atoms flow through the sidewall is calculated. The estimations of sputtered atoms concentration near cathode surface are done.
Представлені результати розрахунків потоку атомів, що розпилюються з катоду магнетрону спеціальної циліндричної форми. Потік атомів в циліндричному магнетроні виявляється більшим, ніж у плоскому магнетроні, через аксіальну симетрію системи. Показано, що швидкість осадження атомів слабо залежить від діаметру підкладки. Розрахований потік атомів крізь торці катоду. Зроблені оцінки концентрації розпилених атомів поблизу поверхні катоду.
Представлены результаты расчетов потока атомов, распыляемых с катода магнетрона специальной цилиндрической формы. Поток атомов в цилиндрическом магнетроне оказывается больше, чем в плоском магнетроне, из-за аксиальной симметрии системы. Показано, что скорость осаждения атомов слабо зависит от диаметра подложки. Рассчитан поток атомов через торцы катода. Сделаны оценки концентрации распыленных атомов вблизи поверхности катода.
|
| first_indexed | 2025-11-27T00:22:20Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-79777 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-27T00:22:20Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Panchenko, O.A. Goncharov, A.A. Demchishin, A.V. Kostin, E.G. Pavlov, S.N. Stetsenko, B.V. 2015-04-04T18:28:06Z 2015-04-04T18:28:06Z 2005 The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron / O.A. Panchenko, A.A. Goncharov, A.V. Demchishin, E.G. Kostin, S.N. Pavlov, B.V. Stetsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 170-172. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.30.-q https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79777 The results of calculations of atom flows, sputtered from a cathode of special cylindrical magnetron sputtering system, presented. The atoms flow in cylinder magnetron will be larger with respect to planar magnetron due to the axial symmetry of the system. It is shown that deposition rate weakly depends on the diameter of substrate. The atoms flow through the sidewall is calculated. The estimations of sputtered atoms concentration near cathode surface are done. Представлені результати розрахунків потоку атомів, що розпилюються з катоду магнетрону спеціальної циліндричної форми. Потік атомів в циліндричному магнетроні виявляється більшим, ніж у плоскому магнетроні, через аксіальну симетрію системи. Показано, що швидкість осадження атомів слабо залежить від діаметру підкладки. Розрахований потік атомів крізь торці катоду. Зроблені оцінки концентрації розпилених атомів поблизу поверхні катоду. Представлены результаты расчетов потока атомов, распыляемых с катода магнетрона специальной цилиндрической формы. Поток атомов в цилиндрическом магнетроне оказывается больше, чем в плоском магнетроне, из-за аксиальной симметрии системы. Показано, что скорость осаждения атомов слабо зависит от диаметра подложки. Рассчитан поток атомов через торцы катода. Сделаны оценки концентрации распыленных атомов вблизи поверхности катода. This works was supported, in part, by STCU project #118(K). en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Low temperature plasma and plasma technologies The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron Густина потоку атомів, розпилених з катоду циліндричного магнетрону Плотность потока атомов, распыленных с катода цилиндрического магнетрона Article published earlier |
| spellingShingle | The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron Panchenko, O.A. Goncharov, A.A. Demchishin, A.V. Kostin, E.G. Pavlov, S.N. Stetsenko, B.V. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title | The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron |
| title_alt | Густина потоку атомів, розпилених з катоду циліндричного магнетрону Плотность потока атомов, распыленных с катода цилиндрического магнетрона |
| title_full | The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron |
| title_fullStr | The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron |
| title_full_unstemmed | The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron |
| title_short | The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron |
| title_sort | flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron |
| topic | Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet | Low temperature plasma and plasma technologies |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79777 |
| work_keys_str_mv | AT panchenkooa theflowdensityofatomssputteredfromacathodeofcylindermagnetron AT goncharovaa theflowdensityofatomssputteredfromacathodeofcylindermagnetron AT demchishinav theflowdensityofatomssputteredfromacathodeofcylindermagnetron AT kostineg theflowdensityofatomssputteredfromacathodeofcylindermagnetron AT pavlovsn theflowdensityofatomssputteredfromacathodeofcylindermagnetron AT stetsenkobv theflowdensityofatomssputteredfromacathodeofcylindermagnetron AT panchenkooa gustinapotokuatomívrozpilenihzkatoducilíndričnogomagnetronu AT goncharovaa gustinapotokuatomívrozpilenihzkatoducilíndričnogomagnetronu AT demchishinav gustinapotokuatomívrozpilenihzkatoducilíndričnogomagnetronu AT kostineg gustinapotokuatomívrozpilenihzkatoducilíndričnogomagnetronu AT pavlovsn gustinapotokuatomívrozpilenihzkatoducilíndričnogomagnetronu AT stetsenkobv gustinapotokuatomívrozpilenihzkatoducilíndričnogomagnetronu AT panchenkooa plotnostʹpotokaatomovraspylennyhskatodacilindričeskogomagnetrona AT goncharovaa plotnostʹpotokaatomovraspylennyhskatodacilindričeskogomagnetrona AT demchishinav plotnostʹpotokaatomovraspylennyhskatodacilindričeskogomagnetrona AT kostineg plotnostʹpotokaatomovraspylennyhskatodacilindričeskogomagnetrona AT pavlovsn plotnostʹpotokaatomovraspylennyhskatodacilindričeskogomagnetrona AT stetsenkobv plotnostʹpotokaatomovraspylennyhskatodacilindričeskogomagnetrona AT panchenkooa flowdensityofatomssputteredfromacathodeofcylindermagnetron AT goncharovaa flowdensityofatomssputteredfromacathodeofcylindermagnetron AT demchishinav flowdensityofatomssputteredfromacathodeofcylindermagnetron AT kostineg flowdensityofatomssputteredfromacathodeofcylindermagnetron AT pavlovsn flowdensityofatomssputteredfromacathodeofcylindermagnetron AT stetsenkobv flowdensityofatomssputteredfromacathodeofcylindermagnetron |