Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage

Ion source with an original system of ions extraction from the discharge chamber, allowing more then on order of magnitude reducing of neutral gas incoming to the chamber of ion beam acceleration and use is described. The parameters of a received beam of nitrogen ions and possible variants of the so...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Вопросы атомной науки и техники
Дата:2005
Автори: Lymar, A.G., Martynenko, P.A., Pоpоv, V.A.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2005
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79778
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage / А.G. Lymar, P.А. Mаrtynenko, V.А. Pоpоv // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 173-175. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-79778
record_format dspace
spelling Lymar, A.G.
Martynenko, P.A.
Pоpоv, V.A.
2015-04-04T18:29:45Z
2015-04-04T18:29:45Z
2005
Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage / А.G. Lymar, P.А. Mаrtynenko, V.А. Pоpоv // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 173-175. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 29.25.Ni
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79778
Ion source with an original system of ions extraction from the discharge chamber, allowing more then on order of magnitude reducing of neutral gas incoming to the chamber of ion beam acceleration and use is described. The parameters of a received beam of nitrogen ions and possible variants of the source application have been given.
Описано іонне джерело із оригінальною системою добування іонів з розрядної камери, що дозволяє більш ніж на порядок знизити надходження нейтрального газу в камеру прискорення і використання іонного пучка. Приведені параметри отриманих пучків іонів азоту та можливі варіанти застосування таких джерел.
Описан ионный источник с оригинальной системой извлечения ионов из разрядной камеры, позволяющей более чем на порядок снизить натекание нейтрального газа в камеру ускорения и использования ионного пучка. Приведены параметры получаемых пучков ионов азота и возможные варианты применения таких источников.
Authors gratefully acknowledge to doctor А.G. Guglya for the financial support of researches carried out.
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Low temperature plasma and plasma technologies
Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage
Джерело іонів реактивних газів із зниженим натіканням нейтрального газу
Источник ионов реактивных газов с пониженным натеканием нейтрального газа
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage
spellingShingle Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage
Lymar, A.G.
Martynenko, P.A.
Pоpоv, V.A.
Low temperature plasma and plasma technologies
title_short Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage
title_full Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage
title_fullStr Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage
title_full_unstemmed Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage
title_sort ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage
author Lymar, A.G.
Martynenko, P.A.
Pоpоv, V.A.
author_facet Lymar, A.G.
Martynenko, P.A.
Pоpоv, V.A.
topic Low temperature plasma and plasma technologies
topic_facet Low temperature plasma and plasma technologies
publishDate 2005
language English
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Джерело іонів реактивних газів із зниженим натіканням нейтрального газу
Источник ионов реактивных газов с пониженным натеканием нейтрального газа
description Ion source with an original system of ions extraction from the discharge chamber, allowing more then on order of magnitude reducing of neutral gas incoming to the chamber of ion beam acceleration and use is described. The parameters of a received beam of nitrogen ions and possible variants of the source application have been given. Описано іонне джерело із оригінальною системою добування іонів з розрядної камери, що дозволяє більш ніж на порядок знизити надходження нейтрального газу в камеру прискорення і використання іонного пучка. Приведені параметри отриманих пучків іонів азоту та можливі варіанти застосування таких джерел. Описан ионный источник с оригинальной системой извлечения ионов из разрядной камеры, позволяющей более чем на порядок снизить натекание нейтрального газа в камеру ускорения и использования ионного пучка. Приведены параметры получаемых пучков ионов азота и возможные варианты применения таких источников.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79778
citation_txt Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage / А.G. Lymar, P.А. Mаrtynenko, V.А. Pоpоv // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 173-175. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT lymarag ionsourceofreactivegaseswithdecreasedneutralgasinleakage
AT martynenkopa ionsourceofreactivegaseswithdecreasedneutralgasinleakage
AT popovva ionsourceofreactivegaseswithdecreasedneutralgasinleakage
AT lymarag džereloíonívreaktivnihgazívízzniženimnatíkannâmneitralʹnogogazu
AT martynenkopa džereloíonívreaktivnihgazívízzniženimnatíkannâmneitralʹnogogazu
AT popovva džereloíonívreaktivnihgazívízzniženimnatíkannâmneitralʹnogogazu
AT lymarag istočnikionovreaktivnyhgazovsponižennymnatekaniemneitralʹnogogaza
AT martynenkopa istočnikionovreaktivnyhgazovsponižennymnatekaniemneitralʹnogogaza
AT popovva istočnikionovreaktivnyhgazovsponižennymnatekaniemneitralʹnogogaza
first_indexed 2025-11-29T04:40:41Z
last_indexed 2025-11-29T04:40:41Z
_version_ 1850854517517582336