Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage
Ion source with an original system of ions extraction from the discharge chamber, allowing more then on order of magnitude reducing of neutral gas incoming to the chamber of ion beam acceleration and use is described. The parameters of a received beam of nitrogen ions and possible variants of the so...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2005 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2005
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79778 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage / А.G. Lymar, P.А. Mаrtynenko, V.А. Pоpоv // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 173-175. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-79778 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Lymar, A.G. Martynenko, P.A. Pоpоv, V.A. 2015-04-04T18:29:45Z 2015-04-04T18:29:45Z 2005 Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage / А.G. Lymar, P.А. Mаrtynenko, V.А. Pоpоv // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 173-175. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 29.25.Ni https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79778 Ion source with an original system of ions extraction from the discharge chamber, allowing more then on order of magnitude reducing of neutral gas incoming to the chamber of ion beam acceleration and use is described. The parameters of a received beam of nitrogen ions and possible variants of the source application have been given. Описано іонне джерело із оригінальною системою добування іонів з розрядної камери, що дозволяє більш ніж на порядок знизити надходження нейтрального газу в камеру прискорення і використання іонного пучка. Приведені параметри отриманих пучків іонів азоту та можливі варіанти застосування таких джерел. Описан ионный источник с оригинальной системой извлечения ионов из разрядной камеры, позволяющей более чем на порядок снизить натекание нейтрального газа в камеру ускорения и использования ионного пучка. Приведены параметры получаемых пучков ионов азота и возможные варианты применения таких источников. Authors gratefully acknowledge to doctor А.G. Guglya for the financial support of researches carried out. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Low temperature plasma and plasma technologies Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage Джерело іонів реактивних газів із зниженим натіканням нейтрального газу Источник ионов реактивных газов с пониженным натеканием нейтрального газа Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage |
| spellingShingle |
Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage Lymar, A.G. Martynenko, P.A. Pоpоv, V.A. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title_short |
Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage |
| title_full |
Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage |
| title_fullStr |
Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage |
| title_full_unstemmed |
Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage |
| title_sort |
ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage |
| author |
Lymar, A.G. Martynenko, P.A. Pоpоv, V.A. |
| author_facet |
Lymar, A.G. Martynenko, P.A. Pоpоv, V.A. |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| publishDate |
2005 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Джерело іонів реактивних газів із зниженим натіканням нейтрального газу Источник ионов реактивных газов с пониженным натеканием нейтрального газа |
| description |
Ion source with an original system of ions extraction from the discharge chamber, allowing more then on order of magnitude reducing of neutral gas incoming to the chamber of ion beam acceleration and use is described. The parameters of a received beam of nitrogen ions and possible variants of the source application have been given.
Описано іонне джерело із оригінальною системою добування іонів з розрядної камери, що дозволяє більш ніж на порядок знизити надходження нейтрального газу в камеру прискорення і використання іонного пучка. Приведені параметри отриманих пучків іонів азоту та можливі варіанти застосування таких джерел.
Описан ионный источник с оригинальной системой извлечения ионов из разрядной камеры, позволяющей более чем на порядок снизить натекание нейтрального газа в камеру ускорения и использования ионного пучка. Приведены параметры получаемых пучков ионов азота и возможные варианты применения таких источников.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79778 |
| citation_txt |
Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage / А.G. Lymar, P.А. Mаrtynenko, V.А. Pоpоv // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 173-175. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT lymarag ionsourceofreactivegaseswithdecreasedneutralgasinleakage AT martynenkopa ionsourceofreactivegaseswithdecreasedneutralgasinleakage AT popovva ionsourceofreactivegaseswithdecreasedneutralgasinleakage AT lymarag džereloíonívreaktivnihgazívízzniženimnatíkannâmneitralʹnogogazu AT martynenkopa džereloíonívreaktivnihgazívízzniženimnatíkannâmneitralʹnogogazu AT popovva džereloíonívreaktivnihgazívízzniženimnatíkannâmneitralʹnogogazu AT lymarag istočnikionovreaktivnyhgazovsponižennymnatekaniemneitralʹnogogaza AT martynenkopa istočnikionovreaktivnyhgazovsponižennymnatekaniemneitralʹnogogaza AT popovva istočnikionovreaktivnyhgazovsponižennymnatekaniemneitralʹnogogaza |
| first_indexed |
2025-11-29T04:40:41Z |
| last_indexed |
2025-11-29T04:40:41Z |
| _version_ |
1850854517517582336 |