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Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage

Ion source with an original system of ions extraction from the discharge chamber, allowing more then on order of magnitude reducing of neutral gas incoming to the chamber of ion beam acceleration and use is described. The parameters of a received beam of nitrogen ions and possible variants of the so...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2005
ISSN:	1562-6016
Hauptverfasser:	Lymar, A.G., Martynenko, P.A., Pоpоv, V.A.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2005
Schlagworte:	Low temperature plasma and plasma technologies
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79778
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Ion source of reactive gases with decreased neutral gas inleakage / А.G. Lymar, P.А. Mаrtynenko, V.А. Pоpоv // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 173-175. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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