Investigation of helium plasma stream parameters in experiments on surface modification

Processing of different constructional materials with pulsed plasma streams is one of prospective methods of surface modification. The main objection of this study is adjustment of plasma treatment regimes for different materials that allows achieving optimal thickness of modified layer with simulta...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Вопросы атомной науки и техники
Дата:2005
Автори: Bandura, A.N., Byrka, O.V., Chebotarev, V.V., Garkusha, I.E., Ladygina, M.S., Marchenko, A.K., Tereshin, V.I., Trubchaninov, S.A., Tsarenko, A.V.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2005
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79783
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Investigation of helium plasma stream parameters in experiments on surface modification / A.N. Bandura, O.V. Byrka, V.V. Chebotarev, I.E. Garkusha, M.S. Ladygina, A.K. Marchenko, V.I. Tereshin, S.A. Trubchaninov, A.V. Tsarenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 104-106. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-79783
record_format dspace
spelling Bandura, A.N.
Byrka, O.V.
Chebotarev, V.V.
Garkusha, I.E.
Ladygina, M.S.
Marchenko, A.K.
Tereshin, V.I.
Trubchaninov, S.A.
Tsarenko, A.V.
2015-04-04T19:06:16Z
2015-04-04T19:06:16Z
2005
Investigation of helium plasma stream parameters in experiments on surface modification / A.N. Bandura, O.V. Byrka, V.V. Chebotarev, I.E. Garkusha, M.S. Ladygina, A.K. Marchenko, V.I. Tereshin, S.A. Trubchaninov, A.V. Tsarenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 104-106. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 52.77.-j
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79783
Processing of different constructional materials with pulsed plasma streams is one of prospective methods of surface modification. The main objection of this study is adjustment of plasma treatment regimes for different materials that allows achieving optimal thickness of modified layer with simultaneously minimal value of surface roughness. With use of optical spectroscopy, detailed information about the basic plasma parameters – electron density, electron and ion temperatures, plasma stream duration and velocity, was obtained. Integrated spectra of plasma radiation were analyzed. The majority of helium and impurity spectral lines were investigated on a subject of Stark broadening. Plasma pressure and energy density values measured with piezodetectors and calorimeters are in good agreement with plasma parameters obtained by optical techniques.
Один з перспективних методів модифікації поверхні – це обробка різних конструкційніх матеріалів імпульсними плазмовими потоками. Головна ціль досліджень є оптимізація режимів плазмової обробки різних матеріалів, що одночасно дозволяє досягати оптимальної товщини модифікованого шару та мінімальної величини шорсткості поверхні. Детальна інформація про основні параметри плазми – електронна густина, електронна та іонна температури, тривалість та швидкість плазмового потоку, була отримана за допомогою оптичної діагностики. Проаналізовані інтегральні спектри випромінювання плазми. Більшість гелієвих та домішкових спектральних ліній досліджувались на предмет Штарківського розширення. П`єзодатчиками та калориметрами виміряні величини тиску та густини енергії плазми, які добре погоджуються з параметрами плазми, отриманими за допомогою оптичної діагностики.
Одним из перспективных методов модификации поверхности является обработка различных конструкционных материалов импульсными плазменными потоками. Главная цель этой работы – оптимизация режимов плазменной обработки для различных материалов, что одновременно позволяет достигать максимальной толщины модифицированного слоя и минимальной величины шероховатости поверхности. Детальная информация об основных плазменных параметрах – электронная плотность, электронная и ионная температуры, длительность генерации и скорость плазменного потока, была получена с помощью оптической диагностики. Проанализированы интегральные спектры излучения плазмы. Большинство гелиевых и примесных спектральных линий исследовались на предмет Штарковского уширения. Пьезодатчиками и калориметрами измерены соответственно величины давления и плотности энергии плазмы, которые хорошо согласуются с параметрами плазмы, полученными с помощью оптической диагностики.
The work is supported in part by STCU grant # 881C.
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Plasma dynamics and plasma wall interaction
Investigation of helium plasma stream parameters in experiments on surface modification
Дослідження параметрів гелієвих плазмових потоків в експериментах з модифікації поверхні
Исследования параметров гелиевых плазменных потоков в экспериментах по модификации поверхности
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Investigation of helium plasma stream parameters in experiments on surface modification
spellingShingle Investigation of helium plasma stream parameters in experiments on surface modification
Bandura, A.N.
Byrka, O.V.
Chebotarev, V.V.
Garkusha, I.E.
Ladygina, M.S.
Marchenko, A.K.
Tereshin, V.I.
Trubchaninov, S.A.
Tsarenko, A.V.
Plasma dynamics and plasma wall interaction
title_short Investigation of helium plasma stream parameters in experiments on surface modification
title_full Investigation of helium plasma stream parameters in experiments on surface modification
title_fullStr Investigation of helium plasma stream parameters in experiments on surface modification
title_full_unstemmed Investigation of helium plasma stream parameters in experiments on surface modification
title_sort investigation of helium plasma stream parameters in experiments on surface modification
author Bandura, A.N.
Byrka, O.V.
Chebotarev, V.V.
Garkusha, I.E.
Ladygina, M.S.
Marchenko, A.K.
Tereshin, V.I.
Trubchaninov, S.A.
Tsarenko, A.V.
author_facet Bandura, A.N.
Byrka, O.V.
Chebotarev, V.V.
Garkusha, I.E.
Ladygina, M.S.
Marchenko, A.K.
Tereshin, V.I.
Trubchaninov, S.A.
Tsarenko, A.V.
topic Plasma dynamics and plasma wall interaction
topic_facet Plasma dynamics and plasma wall interaction
publishDate 2005
language English
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Дослідження параметрів гелієвих плазмових потоків в експериментах з модифікації поверхні
Исследования параметров гелиевых плазменных потоков в экспериментах по модификации поверхности
description Processing of different constructional materials with pulsed plasma streams is one of prospective methods of surface modification. The main objection of this study is adjustment of plasma treatment regimes for different materials that allows achieving optimal thickness of modified layer with simultaneously minimal value of surface roughness. With use of optical spectroscopy, detailed information about the basic plasma parameters – electron density, electron and ion temperatures, plasma stream duration and velocity, was obtained. Integrated spectra of plasma radiation were analyzed. The majority of helium and impurity spectral lines were investigated on a subject of Stark broadening. Plasma pressure and energy density values measured with piezodetectors and calorimeters are in good agreement with plasma parameters obtained by optical techniques. Один з перспективних методів модифікації поверхні – це обробка різних конструкційніх матеріалів імпульсними плазмовими потоками. Головна ціль досліджень є оптимізація режимів плазмової обробки різних матеріалів, що одночасно дозволяє досягати оптимальної товщини модифікованого шару та мінімальної величини шорсткості поверхні. Детальна інформація про основні параметри плазми – електронна густина, електронна та іонна температури, тривалість та швидкість плазмового потоку, була отримана за допомогою оптичної діагностики. Проаналізовані інтегральні спектри випромінювання плазми. Більшість гелієвих та домішкових спектральних ліній досліджувались на предмет Штарківського розширення. П`єзодатчиками та калориметрами виміряні величини тиску та густини енергії плазми, які добре погоджуються з параметрами плазми, отриманими за допомогою оптичної діагностики. Одним из перспективных методов модификации поверхности является обработка различных конструкционных материалов импульсными плазменными потоками. Главная цель этой работы – оптимизация режимов плазменной обработки для различных материалов, что одновременно позволяет достигать максимальной толщины модифицированного слоя и минимальной величины шероховатости поверхности. Детальная информация об основных плазменных параметрах – электронная плотность, электронная и ионная температуры, длительность генерации и скорость плазменного потока, была получена с помощью оптической диагностики. Проанализированы интегральные спектры излучения плазмы. Большинство гелиевых и примесных спектральных линий исследовались на предмет Штарковского уширения. Пьезодатчиками и калориметрами измерены соответственно величины давления и плотности энергии плазмы, которые хорошо согласуются с параметрами плазмы, полученными с помощью оптической диагностики.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79783
citation_txt Investigation of helium plasma stream parameters in experiments on surface modification / A.N. Bandura, O.V. Byrka, V.V. Chebotarev, I.E. Garkusha, M.S. Ladygina, A.K. Marchenko, V.I. Tereshin, S.A. Trubchaninov, A.V. Tsarenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 104-106. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT banduraan investigationofheliumplasmastreamparametersinexperimentsonsurfacemodification
AT byrkaov investigationofheliumplasmastreamparametersinexperimentsonsurfacemodification
AT chebotarevvv investigationofheliumplasmastreamparametersinexperimentsonsurfacemodification
AT garkushaie investigationofheliumplasmastreamparametersinexperimentsonsurfacemodification
AT ladyginams investigationofheliumplasmastreamparametersinexperimentsonsurfacemodification
AT marchenkoak investigationofheliumplasmastreamparametersinexperimentsonsurfacemodification
AT tereshinvi investigationofheliumplasmastreamparametersinexperimentsonsurfacemodification
AT trubchaninovsa investigationofheliumplasmastreamparametersinexperimentsonsurfacemodification
AT tsarenkoav investigationofheliumplasmastreamparametersinexperimentsonsurfacemodification
AT banduraan doslídžennâparametrívgelíêvihplazmovihpotokívveksperimentahzmodifíkacíípoverhní
AT byrkaov doslídžennâparametrívgelíêvihplazmovihpotokívveksperimentahzmodifíkacíípoverhní
AT chebotarevvv doslídžennâparametrívgelíêvihplazmovihpotokívveksperimentahzmodifíkacíípoverhní
AT garkushaie doslídžennâparametrívgelíêvihplazmovihpotokívveksperimentahzmodifíkacíípoverhní
AT ladyginams doslídžennâparametrívgelíêvihplazmovihpotokívveksperimentahzmodifíkacíípoverhní
AT marchenkoak doslídžennâparametrívgelíêvihplazmovihpotokívveksperimentahzmodifíkacíípoverhní
AT tereshinvi doslídžennâparametrívgelíêvihplazmovihpotokívveksperimentahzmodifíkacíípoverhní
AT trubchaninovsa doslídžennâparametrívgelíêvihplazmovihpotokívveksperimentahzmodifíkacíípoverhní
AT tsarenkoav doslídžennâparametrívgelíêvihplazmovihpotokívveksperimentahzmodifíkacíípoverhní
AT banduraan issledovaniâparametrovgelievyhplazmennyhpotokovvéksperimentahpomodifikaciipoverhnosti
AT byrkaov issledovaniâparametrovgelievyhplazmennyhpotokovvéksperimentahpomodifikaciipoverhnosti
AT chebotarevvv issledovaniâparametrovgelievyhplazmennyhpotokovvéksperimentahpomodifikaciipoverhnosti
AT garkushaie issledovaniâparametrovgelievyhplazmennyhpotokovvéksperimentahpomodifikaciipoverhnosti
AT ladyginams issledovaniâparametrovgelievyhplazmennyhpotokovvéksperimentahpomodifikaciipoverhnosti
AT marchenkoak issledovaniâparametrovgelievyhplazmennyhpotokovvéksperimentahpomodifikaciipoverhnosti
AT tereshinvi issledovaniâparametrovgelievyhplazmennyhpotokovvéksperimentahpomodifikaciipoverhnosti
AT trubchaninovsa issledovaniâparametrovgelievyhplazmennyhpotokovvéksperimentahpomodifikaciipoverhnosti
AT tsarenkoav issledovaniâparametrovgelievyhplazmennyhpotokovvéksperimentahpomodifikaciipoverhnosti
first_indexed 2025-12-07T20:26:24Z
last_indexed 2025-12-07T20:26:24Z
_version_ 1850882585345916928