Распределение химического состава по глубине в пленках Cr-O-N, полученных методом ионно-стимулированного осаждения

• Date: 2009
• Main Author: Стервоедов, А.Н.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2009
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7980
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Распределение химического состава по глубине в пленках Cr-O-N, полученных методом ионно-стимулированного осаждения / А.Н. Стервоедов // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 210-215. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.

В работе представлены результаты исследования распределения элементного и химического состава по глубине в наноразмерных пленках Cr-O-N, полученных методом ионностимулированного осаждения. Методами оже-электронной и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии показано, что осаждение хрома из паровой...