Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems
The high-current pulsed magnetron sputtering system is presented and its operation regimes are studied. The comparative technological trials of the system are carried out at various types of the discharge: stationary magnetron, pulsed magnetron and pulsed arc. A procedure of calculation of dynamics...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2005 |
| Hauptverfasser: | , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2005
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79809 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems / A.A. Bizyukov, A.Ye. Kashaba, E.V. Romashchenko, K.N. Sereda, I.K. Tarasov, S.N. Abolmasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 167-169. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-79809 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Bizyukov, A.A. Kashaba, A.Ye. Romashchenko, E.V. Sereda, K.N. Tarasov, I.K. Abolmasov, S.N. 2015-04-04T20:15:04Z 2015-04-04T20:15:04Z 2005 Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems / A.A. Bizyukov, A.Ye. Kashaba, E.V. Romashchenko, K.N. Sereda, I.K. Tarasov, S.N. Abolmasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 167-169. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.40.Hf https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79809 The high-current pulsed magnetron sputtering system is presented and its operation regimes are studied. The comparative technological trials of the system are carried out at various types of the discharge: stationary magnetron, pulsed magnetron and pulsed arc. A procedure of calculation of dynamics and distribution of temperature in a near surface layer of the target material at heat application to a surface in conditions of low pressures of working gases is described. Описана сильнострумова імпульсна магнетронна розпилювальна система та вивчені режими її роботи. Проведені порівняльні технологічні випробування системи при різних типах розряду: стаціонарному магнетронному, імпульсному магнетронному та імпульсному дуговому. Приведена методика розрахунку динаміки і розподілу температури в приповерхневому шарі матеріалу мішені при підводі тепла до поверхні в умовах низьких тисків робочих газів. Представлена сильноточная импульсная магнетронная распылительная система и изучены режимы ее работы. Проведены сравнительные технологические испытания системы при различных типах разряда: стационарном магнетронном, импульсном магнетронном и импульсном дуговом. Приведена методика вычисления динамики и распределения температуры в приповерхностном слое материала мишени при подводе тепла к поверхности в условиях низких давлений рабочих газов. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Low temperature plasma and plasma technologies Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems Особливості потужнострумових імпульсних режимів у магнетронних розпи¬ лювальних системах Особенности сильноточных импульсных режимов в магнетронных распылительных системах Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems |
| spellingShingle |
Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems Bizyukov, A.A. Kashaba, A.Ye. Romashchenko, E.V. Sereda, K.N. Tarasov, I.K. Abolmasov, S.N. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title_short |
Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems |
| title_full |
Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems |
| title_fullStr |
Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems |
| title_full_unstemmed |
Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems |
| title_sort |
features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems |
| author |
Bizyukov, A.A. Kashaba, A.Ye. Romashchenko, E.V. Sereda, K.N. Tarasov, I.K. Abolmasov, S.N. |
| author_facet |
Bizyukov, A.A. Kashaba, A.Ye. Romashchenko, E.V. Sereda, K.N. Tarasov, I.K. Abolmasov, S.N. |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| publishDate |
2005 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Особливості потужнострумових імпульсних режимів у магнетронних розпи¬ лювальних системах Особенности сильноточных импульсных режимов в магнетронных распылительных системах |
| description |
The high-current pulsed magnetron sputtering system is presented and its operation regimes are studied. The comparative technological trials of the system are carried out at various types of the discharge: stationary magnetron, pulsed magnetron and pulsed arc. A procedure of calculation of dynamics and distribution of temperature in a near surface layer of the target material at heat application to a surface in conditions of low pressures of working gases is described.
Описана сильнострумова імпульсна магнетронна розпилювальна система та вивчені режими її роботи. Проведені порівняльні технологічні випробування системи при різних типах розряду: стаціонарному магнетронному, імпульсному магнетронному та імпульсному дуговому. Приведена методика розрахунку динаміки і розподілу температури в приповерхневому шарі матеріалу мішені при підводі тепла до поверхні в умовах низьких тисків робочих газів.
Представлена сильноточная импульсная магнетронная распылительная система и изучены режимы ее работы. Проведены сравнительные технологические испытания системы при различных типах разряда: стационарном магнетронном, импульсном магнетронном и импульсном дуговом. Приведена методика вычисления динамики и распределения температуры в приповерхностном слое материала мишени при подводе тепла к поверхности в условиях низких давлений рабочих газов.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/79809 |
| citation_txt |
Features of high-current pulsed regimes in regimes in magnetron sputtering systems / A.A. Bizyukov, A.Ye. Kashaba, E.V. Romashchenko, K.N. Sereda, I.K. Tarasov, S.N. Abolmasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 167-169. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT bizyukovaa featuresofhighcurrentpulsedregimesinregimesinmagnetronsputteringsystems AT kashabaaye featuresofhighcurrentpulsedregimesinregimesinmagnetronsputteringsystems AT romashchenkoev featuresofhighcurrentpulsedregimesinregimesinmagnetronsputteringsystems AT seredakn featuresofhighcurrentpulsedregimesinregimesinmagnetronsputteringsystems AT tarasovik featuresofhighcurrentpulsedregimesinregimesinmagnetronsputteringsystems AT abolmasovsn featuresofhighcurrentpulsedregimesinregimesinmagnetronsputteringsystems AT bizyukovaa osoblivostípotužnostrumovihímpulʹsnihrežimívumagnetronnihrozpilûvalʹnihsistemah AT kashabaaye osoblivostípotužnostrumovihímpulʹsnihrežimívumagnetronnihrozpilûvalʹnihsistemah AT romashchenkoev osoblivostípotužnostrumovihímpulʹsnihrežimívumagnetronnihrozpilûvalʹnihsistemah AT seredakn osoblivostípotužnostrumovihímpulʹsnihrežimívumagnetronnihrozpilûvalʹnihsistemah AT tarasovik osoblivostípotužnostrumovihímpulʹsnihrežimívumagnetronnihrozpilûvalʹnihsistemah AT abolmasovsn osoblivostípotužnostrumovihímpulʹsnihrežimívumagnetronnihrozpilûvalʹnihsistemah AT bizyukovaa osobennostisilʹnotočnyhimpulʹsnyhrežimovvmagnetronnyhraspylitelʹnyhsistemah AT kashabaaye osobennostisilʹnotočnyhimpulʹsnyhrežimovvmagnetronnyhraspylitelʹnyhsistemah AT romashchenkoev osobennostisilʹnotočnyhimpulʹsnyhrežimovvmagnetronnyhraspylitelʹnyhsistemah AT seredakn osobennostisilʹnotočnyhimpulʹsnyhrežimovvmagnetronnyhraspylitelʹnyhsistemah AT tarasovik osobennostisilʹnotočnyhimpulʹsnyhrežimovvmagnetronnyhraspylitelʹnyhsistemah AT abolmasovsn osobennostisilʹnotočnyhimpulʹsnyhrežimovvmagnetronnyhraspylitelʹnyhsistemah |
| first_indexed |
2025-12-07T15:58:14Z |
| last_indexed |
2025-12-07T15:58:14Z |
| _version_ |
1850865713573527552 |