Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6

Данная работа посвящена экспериментальному изучению влияния высокочастотного электрического поля на радиальные зависимости плотности тока ионов разряда постоянного тока, а также постоянного напряжения на радиальные зависимости плотности тока высокочастотного разряда. В разрядной камере, содержащей э...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Date:	2009
Main Authors:	Лисовский, В.А., Харченко, Н.Д.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2009
Online Access:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7981
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:	Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6 / В.А. Лисовский, Н.Д. Харченко // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 204-209. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-7981
record_format	dspace
spelling	Лисовский, В.А. Харченко, Н.Д. 2010-04-23T11:20:05Z 2010-04-23T11:20:05Z 2009 Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6 / В.А. Лисовский, Н.Д. Харченко // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 204-209. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7981 529.23 Данная работа посвящена экспериментальному изучению влияния высокочастотного электрического поля на радиальные зависимости плотности тока ионов разряда постоянного тока, а также постоянного напряжения на радиальные зависимости плотности тока высокочастотного разряда. В разрядной камере, содержащей электрод с коллекторами, экспериментально измерены радиальные зависимости плотности ионного тока продольного комбинированного разряда (высокочастотное и постоянное электрическое поля прикладываются к одним и тем же электродам) для разных давлений SF6, а также вольтамперные характеристики разряда. Определены оптимальные условия для проведения технологических процессов, используя комбинированный разряд в SF6. Цю роботу присвячено експериментальному вивченню впливу високочастотного електричного поля на радіальні залежності густини струму іонів розряду постійного струму, а також постійної напруги на радіальні залежності густини струму високочастотного розряду. В розрядній камері, що містить у собі катод з колекторами, були експериментально виміряні радіальні залежності густини струму поздовжнього комбінованого розряду (високочастотне та постійне електричні поля прикладались до одних і тих самих електродів) для різних тисків SF6, а також вольтамперні характеристики розряду. Визначені оптимальні умови для проведення технологічних процесів, що використовують розряд в SF6. This work is devoted to experimental study of the radio frequency (RF) electric field influence to the radial ion current density profiles of the direct current (DC) discharge, and the DC voltage influence to the radial ion current density profiles of the RF discharge. In the discharge chamber, which includes electrode with collectors radial ion current density profiles of the longitudinal combined discharge (RF and DC electric fields were applied to the same electrodes) were measured experimentally for different SF6 pressures, and also current-voltage characteristics of the discharge were obtained. The optimal conditions for plasma technologies using combined discharge in SF6 were defined. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6 Article published earlier
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
title	Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6
spellingShingle	Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6 Лисовский, В.А. Харченко, Н.Д.
title_short	Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6
title_full	Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6
title_fullStr	Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6
title_full_unstemmed	Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6
title_sort	радиальная структура продольного комбинированного разряда в sf6
author	Лисовский, В.А. Харченко, Н.Д.
author_facet	Лисовский, В.А. Харченко, Н.Д.
publishDate	2009
language	Russian
publisher	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
format	Article
description	Данная работа посвящена экспериментальному изучению влияния высокочастотного электрического поля на радиальные зависимости плотности тока ионов разряда постоянного тока, а также постоянного напряжения на радиальные зависимости плотности тока высокочастотного разряда. В разрядной камере, содержащей электрод с коллекторами, экспериментально измерены радиальные зависимости плотности ионного тока продольного комбинированного разряда (высокочастотное и постоянное электрическое поля прикладываются к одним и тем же электродам) для разных давлений SF6, а также вольтамперные характеристики разряда. Определены оптимальные условия для проведения технологических процессов, используя комбинированный разряд в SF6. Цю роботу присвячено експериментальному вивченню впливу високочастотного електричного поля на радіальні залежності густини струму іонів розряду постійного струму, а також постійної напруги на радіальні залежності густини струму високочастотного розряду. В розрядній камері, що містить у собі катод з колекторами, були експериментально виміряні радіальні залежності густини струму поздовжнього комбінованого розряду (високочастотне та постійне електричні поля прикладались до одних і тих самих електродів) для різних тисків SF6, а також вольтамперні характеристики розряду. Визначені оптимальні умови для проведення технологічних процесів, що використовують розряд в SF6. This work is devoted to experimental study of the radio frequency (RF) electric field influence to the radial ion current density profiles of the direct current (DC) discharge, and the DC voltage influence to the radial ion current density profiles of the RF discharge. In the discharge chamber, which includes electrode with collectors radial ion current density profiles of the longitudinal combined discharge (RF and DC electric fields were applied to the same electrodes) were measured experimentally for different SF6 pressures, and also current-voltage characteristics of the discharge were obtained. The optimal conditions for plasma technologies using combined discharge in SF6 were defined.
issn	1999-8074
url	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7981
citation_txt	Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6 / В.А. Лисовский, Н.Д. Харченко // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 204-209. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
work_keys_str_mv	AT lisovskiiva radialʹnaâstrukturaprodolʹnogokombinirovannogorazrâdavsf6 AT harčenkond radialʹnaâstrukturaprodolʹnogokombinirovannogorazrâdavsf6
first_indexed	2025-12-07T21:15:39Z
last_indexed	2025-12-07T21:15:39Z
_version_	1850885684532871168

Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6

Institution

Similar Items