Зображення обкладинки

Синтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струму

В роботі представлено результати розробки та дослідження технологічного модуля для реактивного синтезу складнокомпозіційних сполук типу оксидів та оксинітридів на базі магнетронного та ВЧ індукційного розрядів. Основна ідея технології полягає в сепарації двох процесів: розпилення металевої мішені за...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2009
Автори: Зиков, О.В., Яковін, С.Д., Дудін, С.В.
Формат: Стаття
Мова:Українська
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2009
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7982
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Синтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струму / О.В. Зиков, С.Д. Яковін, С.В. Дудін // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 195-203. — Бібліогр.: 12 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Схожі ресурси