Синтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струму

• Date: 2009
• Main Authors: Зиков, О.В., Яковін, С.Д., Дудін, С.В.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2009
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7982
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Синтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струму / О.В. Зиков, С.Д. Яковін, С.В. Дудін // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 195-203. — Бібліогр.: 12 назв. — укр.

В роботі представлено результати розробки та дослідження технологічного модуля для реактивного синтезу складнокомпозіційних сполук типу оксидів та оксинітридів на базі магнетронного та ВЧ індукційного розрядів. Основна ідея технології полягає в сепарації двох процесів: розпилення металевої мішені за...