Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях
У цьому огляді наводяться результати наукових досліджень та прикладних розробок, виконаних у ХНУ імени В.Н. Каразіна НФТЦ МОН та НАН України з середини 70-х років до початку 90-х у галузі фізичних основ плазмових технологій для мікроелектроніки. В этом обзоре приводятся результаты научных исследован...
Gespeichert in:
| Datum: | 2009 |
|---|---|
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainisch |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2009
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7984 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях / В.І. Фаренік // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 166-170. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862742599164493824 |
|---|---|
| author | Фаренік, В.І. |
| author_facet | Фаренік, В.І. |
| citation_txt | Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях / В.І. Фаренік // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 166-170. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| description | У цьому огляді наводяться результати наукових досліджень та прикладних розробок, виконаних у ХНУ імени В.Н. Каразіна НФТЦ МОН та НАН України з середини 70-х років до початку 90-х у галузі фізичних основ плазмових технологій для мікроелектроніки.
В этом обзоре приводятся результаты научных исследований и прикладных разработок, выполненных в ХНУ имени В.Н. Каразина и НФТЦ МОН и НАН Украины с середины 70-х годов до начала 90-х в области физических основ плазменных технологий для микроэлектроники.
In this review the findings of research investigations and applied developments made in both V.N. Karazin KNU and SCPT MES & NAS Ukraine from the end 70 up to the end 90 in the field of a basic physics of plasma technologies for micro- and nanoelectronics are presented.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:25:59Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-7984 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-12-07T20:25:59Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Фаренік, В.І. 2010-04-23T11:23:00Z 2010-04-23T11:23:00Z 2009 Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях / В.І. Фаренік // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 166-170. — укр. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7984 539.23 У цьому огляді наводяться результати наукових досліджень та прикладних розробок, виконаних у ХНУ імени В.Н. Каразіна НФТЦ МОН та НАН України з середини 70-х років до початку 90-х у галузі фізичних основ плазмових технологій для мікроелектроніки. В этом обзоре приводятся результаты научных исследований и прикладных разработок, выполненных в ХНУ имени В.Н. Каразина и НФТЦ МОН и НАН Украины с середины 70-х годов до начала 90-х в области физических основ плазменных технологий для микроэлектроники. In this review the findings of research investigations and applied developments made in both V.N. Karazin KNU and SCPT MES & NAS Ukraine from the end 70 up to the end 90 in the field of a basic physics of plasma technologies for micro- and nanoelectronics are presented. uk Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях Article published earlier |
| spellingShingle | Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях Фаренік, В.І. |
| title | Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях |
| title_full | Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях |
| title_fullStr | Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях |
| title_full_unstemmed | Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях |
| title_short | Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях |
| title_sort | малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/7984 |
| work_keys_str_mv | AT fareníkví maloenergoêmníplazmovítehnologíčnísistemizrozrâdamiukombínovanihelektričnomutamagnítnomupolâh |