Исследование элементного состава и диффузии компонент тонких пленок железоиттриевого граната - Кириченко, В.Г.; Коваленко, О.В. (Вопросы атомной науки и техники, 2014)
На основе полученных экспериментальных данных по элементному составу тонких пленок железоиттриевых гранатов (ЖИГ) рассчитаны значения коэффициентов диффузии элементов. Проведено сравнение полученных значений коэффициентов диффузии кислорода с известными данными. Анализ и сравнение
полученных значений коэффициентов диффузии позволяют сделать вывод о незначительной роли диффузии
по ускоренным путям в случае ионно-лучевого осаждения монокристаллических тонких пленок ЖИГ. На основі отриманих експериментальних даних з елементного складу тонких плівок залізоітрієвих гранатів (ЗІГ) розраховані значення коефіцієнтів дифузії елементів. Проведено порівняння отриманих значень
коефіцієнтів дифузії кисню з відомими даними. Аналіз і порівняння отриманих значень коефіцієнтів дифузії
дозволяє зробити висновок про незначну роль дифузії за прискореними шляхами в разі іонно-променевого
осадження монокристалічних тонких плівок ЗІГ. On the basis of experimental data on the elemental composition of thin films of YIG the diffusion coefficients of
elements were calculated. A comparison of the values of the coefficients of diffusion of oxygen from the known
data was conducted. Analysis and comparison of the diffusion coefficients suggests a minor role on the diffusion on
accelarative paths in the case of ion-beam deposition of thin films of single-crystal YIG.